真空获得技术面临的挑战与对策 被引量：10

1

作者 姜燮昌 《真空》 CAS 北大核心 2007年第2期1-7,共7页

为了适应不同应用场合的需要,本文在分析各类真空泵的结构、特性基础上,提出了各种解决方案。最后指出了我国真空获得设备的发展方向。

关键词 真空泵 真空机组 有害气体抽除 无油清洁真空

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无油真空检漏系统在空间环境模拟试验中的应用 被引量：1

2

作者 孙立臣 汪力 《真空》 CAS 北大核心 2005年第2期45-48,共4页

介绍了我国某小型空间环境模拟无油检漏试验设备,并就无油真空系统、检漏系统灵敏度和反应时间等问题作了详细介绍,大量试验证明该无油检漏系统的设计是合理和正确的。

关键词 检漏 空间环境模拟 无油真空

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Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

3

作者 晁阳 左云芝 卢维美 《电工电能新技术》 CSCD 北大核心 1996年第2期56-60,共5页

本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”... 本Ｂｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法。其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术──“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空。同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。 展开更多

关键词 电子束曝光 故障诊断 无油真空系统

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往复立式无油真空泵撞缸故障处理 被引量：1

4

作者 杨林 《大氮肥》 CAS 2017年第6期399-400,418,共3页

分析往复立式无油真空泵撞缸的故障原因,认为造成撞缸故障的直接原因为活塞杆锁紧背帽发生松脱,针对锁紧背帽松脱制定相应解决措施,保障设备的安全平稳运行。

关键词 无油真空泵 撞缸 活塞杆 止点间隙

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大型空间环模试验设备研制

5

作者 彭光东 陈丽 +3 位作者 李宏宇 张世一 陶晶亮 艾卓 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期767-772,共6页

大型空间环模试验设备主要用于为卫星、飞船、探月飞行器的整星真空热试验与大尺寸天线真空低温环境下展开试验提供高真空、全吸收的冷黑背景及空间热辐射环境。该系统设计配备了外热流模拟测控系统、无油真空系统、真空罐、中央控制系... 大型空间环模试验设备主要用于为卫星、飞船、探月飞行器的整星真空热试验与大尺寸天线真空低温环境下展开试验提供高真空、全吸收的冷黑背景及空间热辐射环境。该系统设计配备了外热流模拟测控系统、无油真空系统、真空罐、中央控制系统、热沉、氮系统等组成部分。本文概要介绍了本空间环模试验设备的主要性能指标、系统组成以及主要参数设计。 展开更多

关键词 无油真空系统 真空罐 真空热试验 热沉

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大型空间环境模拟器真空系统配置技术研究 被引量：4

6

作者 张磊 王军伟 付春雨 《装备环境工程》 CAS 2018年第6期1-6,共6页

分别对国内外大型空间环境模拟器的真空系统配置进行了介绍,并对真空系统各个子系统的配置与技术特点进行了分析,重点针对大型空间环境模拟器真空系统中所需的真空抽气策略进行了研究,为后续超大型环境试验设备的研制和试验测试提供了... 分别对国内外大型空间环境模拟器的真空系统配置进行了介绍,并对真空系统各个子系统的配置与技术特点进行了分析,重点针对大型空间环境模拟器真空系统中所需的真空抽气策略进行了研究,为后续超大型环境试验设备的研制和试验测试提供了参考。 展开更多

关键词 空间环境模拟 真空系统 抽气技术 无油真空

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干式螺杆真空泵转子温度场的有限元分析 被引量：11

7

作者 刘春姐 徐成海 祖文文 《真空》 CAS 北大核心 2006年第1期17-20,共4页

利用有限元建立了计算干式螺杆真空泵转子温度场的数值方法,考虑了热传导及转子表面与工作介质的对流换热因素对温度场的影响,采用相似准则方程—迪特斯-玻尔特(D ittus-Boe lter)公式计算了对流换热系数。计算结果表明:转子温度场由进... 利用有限元建立了计算干式螺杆真空泵转子温度场的数值方法,考虑了热传导及转子表面与工作介质的对流换热因素对温度场的影响,采用相似准则方程—迪特斯-玻尔特(D ittus-Boe lter)公式计算了对流换热系数。计算结果表明:转子温度场由进气端至排气端近似为线性增长,排气端温度约为120℃。随着转子转速降低,排气端温度迅速降低,当转速在2000 r/m in以下时,转子由进气端至排气端的温度变化在30℃以下。实验结果验证了上述结论,误差在15%以内。本文的研究工作不仅提供了干式螺杆真空泵转子的温度分布,也为进一步研究转子的热变形,合理确定泵腔内各密封间隙提供了理论与实验依据。 展开更多

关键词 干式真空泵 螺杆 有限元 温度场

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镁热还原蒸馏联合法生产海绵钛——大型设备装备水平的改进 被引量：9

8

作者 李家荫 吴卫岩 《钛工业进展》 CAS 2010年第4期25-29,共5页

重点对钛产业链中镁法还原、蒸馏联合法生产海绵钛的关键设备——倒U型大型还原蒸馏联合装置提出了一些改进措施。其中为解决还原、蒸馏周期长和产品致密化(硬心)问题,介绍和论述了两项职务发明专利技术——反应器内部热交换和加料联合... 重点对钛产业链中镁法还原、蒸馏联合法生产海绵钛的关键设备——倒U型大型还原蒸馏联合装置提出了一些改进措施。其中为解决还原、蒸馏周期长和产品致密化(硬心)问题,介绍和论述了两项职务发明专利技术——反应器内部热交换和加料联合装置以及蒸馏-冷凝连接过道的高温阀门装置。 展开更多

关键词 海绵钛 倒U型联合装置 产品致密 内部热交换器 高温阀门 无油式真空机组

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程控无油超高真空排气台的研制 被引量：3

9

作者 米伦 李晓勇 +1 位作者 王远 李建 《真空与低温》 2005年第3期170-174,共5页

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功... 由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。 展开更多

关键词 无油超高真空系统 真空度 程控工艺

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在70m^3容器中获得5×10^(-8)Pa 的超高真空 被引量：1

10

作者 邹定忠 陈欣昔 《航天器环境工程》 1999年第4期17-26,共10页

KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新... KM3设备是一个容积为70m^3的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵的无油抽气系统,并将系统的空载极限真空由9.3×10^(-7)Pa 提高到5×10^(-8)Pa。该系统不仅填补了国内新一代大型无油超高真空系统的空白,而且在国际上也属领先水平。在设计中采用了分压强的概念,深入分析了各种气体成分的影响,成功地解决了所遇到的一系列理论和实际问题,为今后无油系统的设计提供了经验。文中详细介绍了按系统内各种不同气体的分压来进行设计的方法和为获得超高真空所采取的主要技术措施。 展开更多

关键词 无油超高真空系统 制冷机低温泵

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无油涡旋真空泵内部流场的数值模拟

11

作者 李博睿 张兴 杨广衍 《真空》 CAS 2016年第5期7-10,共4页

在深入理解无油涡旋真空泵的工作原理基础上,对真空泵的主要部件进行三维实体造型,划分了若干月牙形工作压缩腔在不同角度的二维图,作为分析的控制容积。结合真空泵压缩腔的特点建立一系列控制方程,并对建立的数学模型进行了合理的简化... 在深入理解无油涡旋真空泵的工作原理基础上,对真空泵的主要部件进行三维实体造型,划分了若干月牙形工作压缩腔在不同角度的二维图,作为分析的控制容积。结合真空泵压缩腔的特点建立一系列控制方程,并对建立的数学模型进行了合理的简化和条件假设。利用FLUENT模拟真空泵内部流场,并对模拟结果进行了的分析和研究,得出无油涡旋真空泵内部流场的分布,获得无油涡旋真空泵流量场的流速场、压强场等重要信息。为无油涡旋真空泵的强度校核等优化设计提供一定参考。 展开更多

关键词 无油涡旋真空泵 内部流场 数值模拟 FLUENT

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