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压阻式压力传感器零点输出及其温漂研究 被引量：3
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作者 许东华 林惠旺 +2 位作者 张兆华 谭智敏 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期188-191,共4页
零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它... 零点输出及零点温漂是传感器制造中的重要指标。结合设计制作的压阻式压力传感器重点分析了零点输出的产生机理,并对其接头和布线失配、复合层结构造成的应力分布、光刻随机误差造成的电阻失配及其他效应进行了量的分析。同时分析了它们对零点温漂的影响。最后,给出了一种整体设计流程来控制零点输出与提高成品率。 展开更多
关键词 压阻式 压力传感器 零点输出 零点温漂
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