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表面改性非球面碳化硅反射镜的加工 被引量:17
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作者 张峰 徐领娣 +2 位作者 范镝 高劲松 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2479-2484,共6页
为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si... 为了获得高质量光学表面的非球面碳化硅(SiC)反射镜,对碳化硅反射镜表面改性技术以及离子束辅助沉积(IBAD)Si改性后的非球面碳化硅反射镜的加工技术进行了研究。介绍了碳化硅反射镜表面改性技术以及本文所采用的离子束辅助沉积(IBAD)Si的改性方法。然后,采用氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)以及二氧化硅(SiO2)等各种抛光液对离子束辅助沉积(IBAD)Si的碳化硅样片进行抛光实验。最后,在上述实验的基础上,采用计算机控制光学表面成型(CCOS)技术对尺寸为650mm×200mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工。实验结果表明:CeO2抛光液的抛光效率较高;使用SiO2抛光液抛光后的样片表面质量最好;表面改性离轴非球面碳化硅反射镜加工后的最终检测结果为:实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.6328μm),表面粗糙度为0.85nm(Rq值)。反射镜的加工结果满足设计技术指标的要求。 展开更多
关键词 离轴非球面 碳化硅反射镜 计算机控制光学表面成型 表面改性
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超轻离轴反射镜及柔性支撑优化设计 被引量:11
2
作者 胡洋 李季 贾学志 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第19期170-179,共10页
针对多光谱相机的整机设计秉承集成化、小型化和超轻质的设计理念,提出一种结合最小尺寸约束的变密度拓扑优化与多目标集成优化的设计方法,并借助此途径完成空间离轴微晶反射镜及背部支撑结构(消热芯轴、柔节和背板)的优化设计。对于尺... 针对多光谱相机的整机设计秉承集成化、小型化和超轻质的设计理念,提出一种结合最小尺寸约束的变密度拓扑优化与多目标集成优化的设计方法,并借助此途径完成空间离轴微晶反射镜及背部支撑结构(消热芯轴、柔节和背板)的优化设计。对于尺寸为218 mm×166 mm的反射镜,质量为0.917 kg,轻量化率为71.3%,并对加工装配好的反射镜组件开展工程环境试验和面形干涉检测。试验结果表明,环境试验前后的反射镜镜面面形的方均根值均优于1/50λ,检测波长λ=632.8 nm,基频为397.8 Hz,满足光学系统的设计要求以及卫星平台对光学载荷的要求,验证所提方法的可行性和正确性。 展开更多
关键词 光学器件 空间遥感器 离轴反射镜 集成优化 面形检测 力学试验
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高分辨率投影光刻机光瞳整形技术 被引量:11
3
作者 胡中华 杨宝喜 +5 位作者 朱菁 肖艳芬 曾爱军 黄立华 赵永凯 黄惠杰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第11期38-45,共8页
在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种... 在高分辨光学光刻技术中,光瞳整形技术针对不同的掩模图形产生特定的光瞳光强分布模式,从而实现分辨力增强,获得更好的成像性能。概述了高分辨率投影光刻机照明系统中基于衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)和微反射镜阵列(MMA)的3种光瞳整形技术,并对这些技术的工作原理、设计制作方法和性能特点进行了归纳与总结。 展开更多
关键词 光学制造 光刻 离轴照明 光瞳整形 衍射光学元件 微透镜阵列 微反射镜阵列
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大口径、离轴凸双曲面反射镜的补偿检验 被引量:7
4
作者 胡明勇 王鹏 +2 位作者 郝沛明 江庆五 刘文清 《光学技术》 EI CAS CSCD 2004年第2期240-241,244,共3页
大口径、大相对孔径凸非球面镜的加工一直都是很困难的。从三级像差理论出发,设计出了离轴凸双曲面反射镜的Null补偿检验系统,克服了采用Hindle球检验口径过大的问题。从设计的结果可以看出,凸双曲面反射镜的像差已经得到了很好的校正,... 大口径、大相对孔径凸非球面镜的加工一直都是很困难的。从三级像差理论出发,设计出了离轴凸双曲面反射镜的Null补偿检验系统,克服了采用Hindle球检验口径过大的问题。从设计的结果可以看出,凸双曲面反射镜的像差已经得到了很好的校正,从而使检验变得更加方便。 展开更多
关键词 离轴 凸双曲面反射镜 三级像差理论 补偿检验 Hindle球 空间光学
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红外离轴系统金属反射镜设计与分析 被引量:9
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作者 范磊 赵勇志 曹玉岩 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第5期374-379,共6页
随着单刃金刚石数控车削技术的不断提高,越来越多的红外系统选用金属作为反射镜材料以提高系统的性价比。同共轴光学系统相比,离轴光学系统的反射镜结构和装调更为复杂,为了深入研究金属反射镜在红外离轴系统中的应用,提出了一种集Kinem... 随着单刃金刚石数控车削技术的不断提高,越来越多的红外系统选用金属作为反射镜材料以提高系统的性价比。同共轴光学系统相比,离轴光学系统的反射镜结构和装调更为复杂,为了深入研究金属反射镜在红外离轴系统中的应用,提出了一种集Kinematic定位和柔性去应力相结合的轻量化金属反射镜结构。首先从金属结构件的加工特点出发,分析了金属反射镜的轻量化形式和安装结构;接着针对某离轴反射系统中口径最大的离轴主镜,按照各设计要素建立了金属反射镜结构模型;最后采用有限元仿真分析方法,在各种工况下,对该主反射镜进行了详细的分析,结果均满足光学设计要求。 展开更多
关键词 离轴反射系统 金属镜 柔性结构 Kinematic定位 有限元方法
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离轴二镜平行光管的光学设计 被引量:8
6
作者 车驰骋 李英才 +1 位作者 樊学武 胡永明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1793-1796,共4页
介绍了大口径长焦距离轴二镜平行光管的设计过程,给出了系统初始结构的求解方程,并分析了主次镜同轴设计方法的缺陷.为提高系统像质,提出了在主次镜同轴方法的基础上对次镜绕主镜焦点旋转的离轴化方法.以一个离轴二镜平行光管作为设计实... 介绍了大口径长焦距离轴二镜平行光管的设计过程,给出了系统初始结构的求解方程,并分析了主次镜同轴设计方法的缺陷.为提高系统像质,提出了在主次镜同轴方法的基础上对次镜绕主镜焦点旋转的离轴化方法.以一个离轴二镜平行光管作为设计实例,计算了次镜离轴对系统像质的影响,通过次镜的离轴优化,得到了成像质量良好的光学系统设计结果. 展开更多
关键词 平行光管 离轴 非球面反射镜 光学设计
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一种离轴使用的同轴三反射系统的设计和装调 被引量:7
7
作者 张祥翔 傅雨田 +1 位作者 韩昌佩 王成良 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期118-123,共6页
本文设计了一种视场角为3°的离轴使用的同轴三反射系统,并从理论上分析了焦平面如何离焦补偿像差、反射镜倾斜和偏心之间的补偿关系。通过采取离焦、折镜的平动或转动、反射镜本身的偏心和倾斜相互补偿的方法,来补偿反射镜的装调... 本文设计了一种视场角为3°的离轴使用的同轴三反射系统,并从理论上分析了焦平面如何离焦补偿像差、反射镜倾斜和偏心之间的补偿关系。通过采取离焦、折镜的平动或转动、反射镜本身的偏心和倾斜相互补偿的方法,来补偿反射镜的装调误差。事实证明,比普通离轴三反射系统的装调容易实现,精确度高。 展开更多
关键词 光学设计 空间相机 离轴 同轴三反射 调制传递函数 装调
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非球面反射型扩束器的研究 被引量:7
8
作者 孔祥蕾 郝沛明 +1 位作者 周士康 李海洋 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第B12期40-44,共5页
非球面反射型扩束器由于其独特的优点得到了广泛的应用.本文分析了两种最常用形式的结构和像差特点,提出了一种利用两个不同锥体反射镜的组合实现光束转换的办法,从而消除了系统由于中心遮拦而带来的能量损失.文章还对各种非球面反... 非球面反射型扩束器由于其独特的优点得到了广泛的应用.本文分析了两种最常用形式的结构和像差特点,提出了一种利用两个不同锥体反射镜的组合实现光束转换的办法,从而消除了系统由于中心遮拦而带来的能量损失.文章还对各种非球面反射型扩束器和折射型扩束器的特点进行了比较. 展开更多
关键词 非球面 激光扩束器 锥体反射镜 激光雷达
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离轴非球面无光焦度系统的设计 被引量:6
9
作者 刘秀梅 李红光 《红外》 CAS 2010年第7期14-17,共4页
以三级像差理论为基础,对反射式无光焦度系统的像差进行了分析。得出的结论为:在主、次镜均为抛物面的前提下,反射式无光焦度系统可以同时消除四种像差。以此结论为基础,综合离轴反射系统的优点,得出了一套离轴反射式无光焦度系统。以... 以三级像差理论为基础,对反射式无光焦度系统的像差进行了分析。得出的结论为:在主、次镜均为抛物面的前提下,反射式无光焦度系统可以同时消除四种像差。以此结论为基础,综合离轴反射系统的优点,得出了一套离轴反射式无光焦度系统。以光束口径为φ100mm、缩束倍率β=5、主镜离轴量h=150mm的离轴反射式无光焦度系统为例,根据系统的像差结果可以看出,三级像差理论的分析结果是正确的。 展开更多
关键词 三级像差理论 离轴反射镜 无光焦度系统 光学设计
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利用离焦光斑的离轴望远镜失调校正方法研究 被引量:3
10
作者 田思恒 黄永梅 +4 位作者 徐杨杰 南新元 吴琼雁 向春生 唐薇 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期19-31,共13页
离轴反射式望远镜主要应用于空间天文观测等领域。离轴两反望远镜的成像质量对镜片的失调敏感,且在工作环境下失调后使用激光干涉仪进行校准较为困难。针对这一难题,本文提出了一种利用系统对无穷远点目标的离焦光斑图并使用Swin-Transf... 离轴反射式望远镜主要应用于空间天文观测等领域。离轴两反望远镜的成像质量对镜片的失调敏感,且在工作环境下失调后使用激光干涉仪进行校准较为困难。针对这一难题,本文提出了一种利用系统对无穷远点目标的离焦光斑图并使用Swin-Transformer网络计算次镜横向失调量的方法。通过理论计算分析,可以避免多解问题的相机离焦位置,并利用仿真探究了不同离焦量对校正精度的影响,最后搭建实验平台进行验证,训练好的网络使用失调系统的一帧离焦光斑图便可进行失调量的估计。仿真分析与实验结果均验证了该方法的有效性,可实现工作环境中失调望远镜系统的高精度和快速校正。 展开更多
关键词 光学成像系统 离轴望远镜 次镜 离焦光斑 神经网络 快速调整
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离轴四反射镜衍射成像光学系统设计 被引量:4
11
作者 何传王 汪利华 +2 位作者 黄鹏 董小春 范斌 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2019年第11期82-90,共9页
本文基于Schupmann消色差理论,介绍了一种离轴四反射镜衍射成像光学系统设计方法。设计了口径1 m、F数为8、视场0.12°、波段582.8nm?682.8nm的离轴四反射镜衍射成像光学系统。设计结果表明,该光学系统的色差得到有效校正,系统调制... 本文基于Schupmann消色差理论,介绍了一种离轴四反射镜衍射成像光学系统设计方法。设计了口径1 m、F数为8、视场0.12°、波段582.8nm?682.8nm的离轴四反射镜衍射成像光学系统。设计结果表明,该光学系统的色差得到有效校正,系统调制传递函数(MTF)在50 lp/mm范围内优于0.53,弥散斑半径的均方根值小于艾里斑半径,成像质量接近衍射极限。分析了平面衍射物镜和曲面衍射校正镜可分别采用二元光刻工艺和金刚石车削技术制作的原因。对设计结构进行公差分析,确定公差误差主要来源于中继反射镜的倾斜角度,为装调过程提供指导。设计的系统为宽波段、高像质的反射式衍射成像光学系统发展提供了参考。 展开更多
关键词 光学设计 衍射成像 离轴 四反射镜
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Φ380mm薄镜面预应力研磨及检测研究 被引量:1
12
作者 姜自波 陈哲 +2 位作者 刘星涛 焦晓洁 陈坤新 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第16期160-167,共8页
由于大口径望远镜主镜的拼接子镜为离轴非球面,所以增加了镜面的加工和检测难度。为了进一步提高离轴非球面子镜的加工效率和缩短抛光周期,本文利用预应力加载方法和基于蓝牙传输的接触式二维位移传感器阵列检测方法与相关装置,完成Φ38... 由于大口径望远镜主镜的拼接子镜为离轴非球面,所以增加了镜面的加工和检测难度。为了进一步提高离轴非球面子镜的加工效率和缩短抛光周期,本文利用预应力加载方法和基于蓝牙传输的接触式二维位移传感器阵列检测方法与相关装置,完成Φ380mm口径的离轴非球面子镜的研磨实验。首先介绍预应力镜面加工的原理,接下来介绍Φ380mm微晶玻璃镜面预应力研磨技术的检测方法和加载实验结果,然后介绍预应力研磨的收敛特性,最后利用三坐标测量机和接触式二维位移传感器阵列两种检测方法对研磨镜面的最终面形进行交叉检验。实验结果表明,预应力研磨方法具有可行性和较高的加工效率。 展开更多
关键词 光学制造 预应力研磨 离轴非球面 接触式检测 拼接子镜 蓝牙
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离轴非球面反射镜设计与超精密加工技术 被引量:1
13
作者 温凌峰 姚亚斌 +2 位作者 周启飚 赵军 孙红岩 《新技术新工艺》 2017年第2期75-78,共4页
离轴非球面反射镜的设计与加工涉及到零件非球面设计,工艺路线的安排,工装夹具设计,以及超精密加工设备的使用、检测等多方面技术,加工难度大,在国内属于先进的加工技术。通过进行工艺攻关,应用Pro/E软件进行零件三维曲面设计,优化了夹... 离轴非球面反射镜的设计与加工涉及到零件非球面设计,工艺路线的安排,工装夹具设计,以及超精密加工设备的使用、检测等多方面技术,加工难度大,在国内属于先进的加工技术。通过进行工艺攻关,应用Pro/E软件进行零件三维曲面设计,优化了夹具设计,在减轻夹具质量的同时,保证了其具备足够的刚度、强度,从而减少了切削时的振动影响。在加工过程中,通过调整加工参数,保证了曲面的表面粗糙度和面形要求。运用三坐标测量装置对零件进行了精密测量,验证了零件的尺寸精度符合设计要求。该技术的使用对加工同类型非球面离轴反射镜具有很好的借鉴和推广作用。 展开更多
关键词 非球面 离轴 反射镜 超精密加工
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Configuration optimization of off-axis parabolic mirror for enhancing the focusability of a laser beam 被引量:1
14
作者 Xiahui Zeng 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第3期80-85,共6页
We demonstrate a configuration optimization process of an off-axis parabolic mirror to maximize the focused peak intensity based on a precise knowledge of the tight focusing properties by using a full vector-diffracti... We demonstrate a configuration optimization process of an off-axis parabolic mirror to maximize the focused peak intensity based on a precise knowledge of the tight focusing properties by using a full vector-diffraction theory and obtain an optimum configuration scaling rule, which makes it possible to achieve the maximum peak intensity. In addition, we also carry out an assessment analysis of the offset and off-axis angle tolerances corresponding to a 5% drop of the maximum focused peak intensity and present scaling laws for the tolerances of the offset and off-axis angle. Understanding these scaling laws is important to enhance the focusability of a laser beam by an off-axis parabolic mirror in the optimum configuration, in particular, which is valuable for structural design and selection of an off-axis parabolic mirror in ultrashort and ultraintense laser–matter interaction experiments. 展开更多
关键词 off-axis parabolic mirror laser focusing vector-diffraction theory configuration optimization
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φ160×116×45离轴抛物面镜的磨制
15
作者 王延路 王建国 《应用光学》 CAS CSCD 1991年第1期44-46,共3页
叙述了三块离轴量为140mm,表面波差≤λ/10离轴抛物面镜的磨制工艺及工艺参数,并对此工艺进行讨论。
关键词 离轴量 抛物面镜 磨制
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大离轴量凹面取样镜的设计
16
作者 李红光 张彭舜 达争尚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期851-854,共4页
根据系统的使用要求以及椭球面特有的成像性质,提出使用离轴椭球面来完成光束取样和完善成像的设计方式.利用设计输入,计算出镜面的初始结构参数,得到离轴椭球面的二次曲线方程,将计算结果带入光学设计软件ZEMAX中验证成像质量.结果表明... 根据系统的使用要求以及椭球面特有的成像性质,提出使用离轴椭球面来完成光束取样和完善成像的设计方式.利用设计输入,计算出镜面的初始结构参数,得到离轴椭球面的二次曲线方程,将计算结果带入光学设计软件ZEMAX中验证成像质量.结果表明:离轴椭球面不但将物点和像点分开,减小了系统的长度,而且在像点处成完善像,将离轴成像转换为轴上成像,使后续光斑成像系统的高质量成像易于实现. 展开更多
关键词 费马原理 离轴 椭球面 非球面度 光学设计
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大口径离轴反射镜四点热锁辅助支撑设计与验证
17
作者 王春雨 伏瑞敏 +6 位作者 王聪 牛锦川 张超 赵英龙 张生杰 黄阳 崔程光 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期168-176,共9页
针对大口径离轴反射镜组件高面形精度、高可靠性和高稳定性支撑的要求,设计了一种中心筒支撑配合四点可自由加、解热锁辅助支撑的离轴反射镜新型复合支撑方案,热锁部件在力学试验和发射过程中锁紧,地面测试及在轨时释放,在保证面形的同... 针对大口径离轴反射镜组件高面形精度、高可靠性和高稳定性支撑的要求,设计了一种中心筒支撑配合四点可自由加、解热锁辅助支撑的离轴反射镜新型复合支撑方案,热锁部件在力学试验和发射过程中锁紧,地面测试及在轨时释放,在保证面形的同时,有效提升了反射镜组件基频及抗力学性能,并在某空间遥感器706 mm×560 mm口径离轴反射镜组件研制中进行了验证,结果表明采用四点热锁辅助支撑的反射镜组件在加锁后动态性能优良,满足基频大于120 Hz、静载30 g条件下胶应力≤3 MPa的要求,且加锁前及解锁后面形均满足RMS优于λ/40(λ=632.8 nm)的要求,验证了该设计的有效性。 展开更多
关键词 离轴反射镜 空间遥感器 高稳定性 热锁 复合支撑 动态性能
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长焦距大视场光学系统的光机结构设计 被引量:56
18
作者 李志来 薛栋林 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2485-2490,共6页
为了实现某长焦距大视场轻型离轴三反空间相机的光机结构设计,基于SiC材料空间反射镜,采用适合于轻型高分辨空间相机的桁架结构,对离轴TMA系统的支撑结构进行了静力学、动力学建模,优化了结构形式。采用光机热集成分析方法,指导、评价... 为了实现某长焦距大视场轻型离轴三反空间相机的光机结构设计,基于SiC材料空间反射镜,采用适合于轻型高分辨空间相机的桁架结构,对离轴TMA系统的支撑结构进行了静力学、动力学建模,优化了结构形式。采用光机热集成分析方法,指导、评价和优化相机光机结构设计过程,提高结构固有频率,增强相机热稳定性适应范围。相机结构设计基频>93Hz,在±4℃均匀温变工况和重力作用下,相机光学系统传递函数(MTF)达到0.37;反射镜组件加速度响应最大放大倍数<6倍。结果表明,采用该方法设计的相机结构固有频率高,重力变形、抗振性能、热变形等方面均能满足使用要求。 展开更多
关键词 光学遥感器 长焦距 大视场 离轴三反光学系统 支撑结构 桁架
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国外空间用三反离轴相机发展分析与思考 被引量:48
19
作者 张科科 阮宁娟 傅丹鹰 《航天返回与遥感》 2008年第3期63-70,共8页
空间用三反离轴光学系统自20世纪70年代提出,从90年代开始在多个国家的卫星光学有效载荷中已经或计划得到应用并快速发展,技术基本成熟,领域涉及到对地观测、空间目标探测、天文观测、多光谱热成像、立体测绘等,但是普遍认为制造装调技... 空间用三反离轴光学系统自20世纪70年代提出,从90年代开始在多个国家的卫星光学有效载荷中已经或计划得到应用并快速发展,技术基本成熟,领域涉及到对地观测、空间目标探测、天文观测、多光谱热成像、立体测绘等,但是普遍认为制造装调技术比较难。文章通过广泛调研国外三反离轴系统在空间的应用和发展现状,并按应用情况、系统参数和系统构型进行了分类比较,分析其发展趋势,为中国空间相机发展三反离轴光学系统提供借鉴。 展开更多
关键词 三反离轴 光学系统 空间相机
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利用Zernike系数对离轴三反射系统进行计算机辅助装调 被引量:42
20
作者 巩盾 田铁印 王红 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1754-1759,共6页
针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法。采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Sei... 针对离轴三反光学系统检测和装调的复杂性,提出了一套结合了干涉测量技术的计算机辅助装调方法。采用多视场ZYGO干涉仪自准干涉检验各种失调量产生的残余像差,得到表征系统失调量引起残余像差的一系列Zernike系数,利用Zernike系数与Seidel像差系数之间的相关性将之转化为几何像差作为校正对象。由光学设计软件求得与系统失调量相关的灵敏度矩阵,并确定对残余像差影响最敏感的失调量。当失调量被确定后,将调整后的结果再次代入光学设计软件进行验证。多次迭代后,得到系统的RMS值<0.04λ的良好结果,证明了这种指导装调的方法是行之有效的。 展开更多
关键词 离轴三反系统 计算机辅助装调 干涉检验 灵敏度矩阵
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