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平面面形绝对检验技术测量误差分析 被引量:17
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作者 徐洋 唐锋 +3 位作者 王向朝 徐静浩 范李立 程欣 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期204-209,共6页
绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面... 绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。 展开更多
关键词 测量 干涉测量 绝对检验 奇偶函数法 旋转对称法 镜面对称法
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First-Principles Study on Switching Performance and Spin Filtering Efficiency of Dimethyldihydropyrene/Cyclophanediene Single-Molecule Devices with Zigzag Graphene Nanoribbon Electrodes
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作者 Chang-Feng Zheng Yan-Qi Mu +1 位作者 Zong-Liang Li Guang-Ping Zhang 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第5期644-652,I0066-I0072,I0100,共17页
Moleculardeviceswith highswitchingperformance and/or the perfect spin filtering effect have always been the pursuit with the development of molecular electronics.Hereb,yusingthe 2001.0V nonequilibrium.Green's func... Moleculardeviceswith highswitchingperformance and/or the perfect spin filtering effect have always been the pursuit with the development of molecular electronics.Hereb,yusingthe 2001.0V nonequilibrium.Green's function method in combination with the density functionaltheory,the switching performance and spin filtering properties of dimethyldihydropyrene(DHP)/cyclophanediene(CPD)photoswitchable molecule connected by carbon atomic chains(CACs)to two zigzag graphene nanoribbon electrodes have been theoretically investigated.The results show that DHP is more conductive than CPD and therefore an evident switching effect is demonstrated,and the switching ratio(RON/OFF)can reach 4.5×103.It is further revealed that the RoON/OF of DHP/CPD closely depends on the length of CACs.More specifically,the RoN/OFF values of DHP/CPD with odd-numbered CACs are larger than those with even-numbered CACs.More interestingly,a high or even perfect spin filtering effect can be obtained in these investigated DHP/CPD single-molecule devices.Our study is helpful for future design of single-molecule switches and spin filters and provides a way to optimize their performance by means of varying the length of bridging CACs. 展开更多
关键词 Single-molecule switch Spin filtering effect odd-even effect Nonequilibrium Green's function method Density functional theory
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基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究 被引量:1
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作者 李若琨 陈磊 +4 位作者 马致遥 张喆 胡晨辉 郑东晖 胡志豪 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2022年第6期684-689,共6页
奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测... 奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法。在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析,并对100mm口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验,将面形恢复结果与液面法测量结果对比,结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm,N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm。结果表明存在重力影响时,N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法。仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响,结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法。 展开更多
关键词 干涉测量 平面绝对检验 奇偶函数法 N次旋转法 有限元分析
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