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成像干涉光刻技术与离轴照明光刻技术的对比分析 被引量:4
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作者 刘娟 张锦 冯伯儒 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1480-1484,共5页
作为分辨率增强技术(RET)之一,离轴照明技术(OAI)通过调整照明方式,不但能提高分辨率还能很好地改善焦深.成像干涉光刻技术(IIL)利用多次曝光分别记录物体空间频率的不同部分,极大地提高了成像质量,其中大角度倾斜照明是对OAI的扩展.从... 作为分辨率增强技术(RET)之一,离轴照明技术(OAI)通过调整照明方式,不但能提高分辨率还能很好地改善焦深.成像干涉光刻技术(IIL)利用多次曝光分别记录物体空间频率的不同部分,极大地提高了成像质量,其中大角度倾斜照明是对OAI的扩展.从成像原理和频域范围的角度对IIL和OAI进行了理论研究、计算模拟和对比分析.结果表明,在同样条件下,IIL相对于OAI可更好地分辨细微特征. 展开更多
关键词 倾斜照明 成像干涉光刻技术 离轴照明技术 光刻技术
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像散对周期性局域空心光束的影响 被引量:4
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作者 李冬 吴逢铁 +1 位作者 李攀 谢晓霞 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第13期414-419,共6页
无衍射贝塞尔光束经轴棱锥线聚焦后可以产生周期性局域空心光束,基于菲涅耳一基尔霍夫衍射理论分别分析了椭圆加工误差和光束斜人引起的像散对轴棱锥聚焦无衍射贝塞尔光束产生的局域空心光束的影响。当椭圆加工误差或者贝塞尔光束的倾... 无衍射贝塞尔光束经轴棱锥线聚焦后可以产生周期性局域空心光束,基于菲涅耳一基尔霍夫衍射理论分别分析了椭圆加工误差和光束斜人引起的像散对轴棱锥聚焦无衍射贝塞尔光束产生的局域空心光束的影响。当椭圆加工误差或者贝塞尔光束的倾斜入射角度控制在一定的小范围内时,像散对周期性局域空心光束的特性影响不大,局域空心光束还保持它的周期性和封闭性,轴棱锥的折射率或底角越大这个范围就越小,局域空心光束就容易受到椭圆加工误差或者光束斜人射引入的像散的影响。该研究结果对周期局域空心光束的应用具有指导意义。 展开更多
关键词 物理光学 周期性局域空心光束 像散 椭圆轴棱锥 斜入射
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Measuring surface geometry of adherent cells using oblique transillumination
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作者 Shinji Deguchi Haruhisa Bamba 《Advances in Bioscience and Biotechnology》 2011年第5期359-363,共5页
We present a new technique for estimating cell surface geometry. A dish supporting adherent cells is observed using oblique transillumination and rotated in the horizontal plane using a stepping motor. The stage rotat... We present a new technique for estimating cell surface geometry. A dish supporting adherent cells is observed using oblique transillumination and rotated in the horizontal plane using a stepping motor. The stage rotation-dependent movements of the start and end points of a shadow formed behind the illuminated cells uniquely determine the relative height differences between points along the cell surface. Thus, using custom-made apparatuses and living endothelial cells, we demonstrate that the combination of a rotating stage and oblique lighting allows for the evaluation of three-dimensional surface geometry of adherent cells. As compared to confocal microscopy and atomic force microscopy, which are commonly used for measuring cell surface geometry, this approach can be performed rapidly and is especially suitable for the observation of unstained cells over a large surface covering multiple cells at a time. 展开更多
关键词 3D Cell Morphology oblique illumination ROTATING STAGE MICROSCOPY
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扩展傅里叶衍射理论在相移掩模中的应用
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作者 刘佳 张晓萍 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期40-44,共5页
针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该... 针对现代光刻中,超大数值孔径的情况下,通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确,必须得考虑倾斜照明带来的阴影效应。因此本文针对交替式相移掩模,提出了一种考虑阴影效应的近似模型。重新定义了阴影比率的公式。该方法是傅里叶衍射理论的扩展,是一种依赖于入射角的函数。分别给出了交替式相移掩模空间域和空间频率域的传递函数的表达式。并对提出的近似模型的衍射效率以及干涉场光强分布进行了仿真。结果表明,衍射效率和干涉场的强度分布是随着入射角的改变而改变的,不同线宽的衍射效率也不同。并且衍射效率是关于零度入射角对称分布。 展开更多
关键词 超大数值孔径 相移掩模 离轴照明 阴影效应 傅里叶衍射理论
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激光倾斜照明法测量钢板厚度 被引量:8
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作者 王丹 赵斌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第10期2033-2036,共4页
提出了一种激光倾斜照明的方法来测量钢板厚度,利用激光光束斜射到待测板侧面,用工业摄像机将被测板上的激光光斑成像于CCD靶面上,基于光斑像高与被测板厚度的几何关系计算出待测板厚度。由于被测物面不垂直于光轴、钢板沿宽度方向的运... 提出了一种激光倾斜照明的方法来测量钢板厚度,利用激光光束斜射到待测板侧面,用工业摄像机将被测板上的激光光斑成像于CCD靶面上,基于光斑像高与被测板厚度的几何关系计算出待测板厚度。由于被测物面不垂直于光轴、钢板沿宽度方向的运动均对测量结果有影响,对此作了分析并进行了修正。实验表明该方法可广泛应用于实际工业在线测量中。 展开更多
关键词 钢板厚度测量 倾斜照明法 激光三角法
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斜照法与VanHerick法筛查浅前房患者 被引量:1
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作者 余梓逵 周绍荣 《中国煤炭工业医学杂志》 1999年第2期105-106,共2页
目的 探讨斜照法与VanHerick 法筛查浅前房的合理判断标准。方法 对63 只眼分别行斜照法与VanHerick 法分级检查,将检查结果和房角镜检查结果相比较,统计各分级判断标准的敏感性、特异性及准确性,选择最适合... 目的 探讨斜照法与VanHerick 法筛查浅前房的合理判断标准。方法 对63 只眼分别行斜照法与VanHerick 法分级检查,将检查结果和房角镜检查结果相比较,统计各分级判断标准的敏感性、特异性及准确性,选择最适合的判断标准。结果 在斜照法,以投照亮区小于2/3 鼻侧虹膜,在VanHerick 法,以周边前房小于1/2CT 来筛查浅前房较合理。结论 只要正确掌握这二种简便的检查方法,均能较准确快速地筛查浅前房患者。 展开更多
关键词 斜照法 VanHerick法 浅前房 筛查
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