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铈、铽和铥的溅射产额模拟及溅射公式的参数 被引量：1
1
作者 金木其乐 李之杰 《内蒙古民族大学学报（自然科学版）》 2012年第1期1-5,共5页
简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式,描述了YAMAMURA半经验公式的发展过程.采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额,并对两种结果进行了对比和分析.由分析结果估计了YAMAMURA半... 简单介绍了Sigmund的理论和一些基于此理论的其它经验公式,描述了YAMAMURA半经验公式的发展过程.采用ACAT模拟程序和YAMAMURA半经验公式模拟和计算了铈、铽和铥等的溅射产额,并对两种结果进行了对比和分析.由分析结果估计了YAMAMURA半经验公式计算铈的经验参数,采用该参数的公式计算和模拟进行了比较,结果符合的很好. 展开更多
关键词 ACAT程序 溅射产额 入射能量 YAMAMURA半经验公式
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