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激光干涉光刻法制作100nm掩模 被引量:8
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作者 陈欣 赵青 +2 位作者 方亮 王长涛 罗先刚 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期806-810,共5页
介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自... 介绍了一种利用激光干涉光刻技术得到特征图形,并通过离子束刻蚀将图形转移到铬层上,从而获得掩模的方法。针对掩模透光率以及对干涉图形对比度可能产生影响的两个参数分别进行了数值仿真,从而证明此方法的可行性和参数的优化选择。自搭干涉光刻实验系统,用257 nm的激光光源实现光刻,得到特征尺寸为100 nm的图形,再经过离子束刻蚀,最终得到周期200 nm、线宽100 nm的掩模。 展开更多
关键词 激光干涉光刻 离子束刻蚀 纳米光刻 微纳结构制造
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利用STM构建金属有机材料的纳米结构和改变电学性质 被引量:3
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作者 严学俭 吉小松 +4 位作者 李旭 邱伟民 张群 王伟军 华中一 《真空电子技术》 2003年第5期49-51,53,共4页
 研究和开发利用扫描隧道显微镜(STM)对材料进行纳米尺度加工的功能,藉助于STM针尖和样品之间的强电场在金属有机络合物Ag TCNQ薄膜表面构建了纳米点、纳米点阵和纳米线等纳米结构。伏安(I U)特性曲线和扫描隧道的测试表明,在针尖强场...  研究和开发利用扫描隧道显微镜(STM)对材料进行纳米尺度加工的功能,藉助于STM针尖和样品之间的强电场在金属有机络合物Ag TCNQ薄膜表面构建了纳米点、纳米点阵和纳米线等纳米结构。伏安(I U)特性曲线和扫描隧道的测试表明,在针尖强场作用后材料表面的局域电子态密度迅速增大,在电学上由高阻态转变为低阻态,这种效应可能归因于金属原子和有机分子之间的电荷转移。这些纳米结构展示了用作高密度存储器和纳米导线的可能性,有机导电材料将是未来纳米电子材料的理想候选者,而STM则将成为纳米电子学微细加工的有力工具。 展开更多
关键词 构建纳米结构 电学改性 金属有机材料 扫描隧道显微镜
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用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析 被引量:1
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作者 陈献忠 姚汉民 陈旭南 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期2645-2652,共8页
用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出... 用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度.用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布.提出几种改进试验的方法. 展开更多
关键词 完全非共振激光驻波场 原子聚焦 纳米结构制作 原子光刻试验
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Single crystal erbium compound nanowires as high gain material for on-chip light source applications 被引量:1
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作者 Zhicheng LIU Hao SUN +3 位作者 Leijun YIN Yongzhuo LI Jianxing ZHANG Cun-Zheng NING 《Frontiers of Optoelectronics》 EI CSCD 2016年第2期312-317,共6页
Integrated photonics requires high gain optical materials in the telecom wavelength range for optical amplifiers and coherent light sources. Erbium (Er) containing materials are ideal candidates due to the 1.5 μm e... Integrated photonics requires high gain optical materials in the telecom wavelength range for optical amplifiers and coherent light sources. Erbium (Er) containing materials are ideal candidates due to the 1.5 μm emission from Era+ ions. However, the Er density in typical Er-doped materials is less than 10^20 cm-3, thus limiting the maximum optical gain to a few dB/cm, too small to be useful for integrated photonic applications. Er compounds could potentially solve this problem since they contain much higher Era+ density. So far the existing Er compounds suffer from short lifetime and strong upconversion effects, mainly due to poor crystal qualities. Recently, we explore a new Er compound: erbium chloride silicate (ECS, Er3(SiO4)2C1) in the form of nanowire, which facilitates the growth of high quality single crystal with relatively large Era+ density 0.62 ×10^22 cm^-3). Previous optical results show that the high crystal quality of ECS material leads to a long lifetime up to 1 ms. The Er lifetime-density product was found to be the largest among all the Er containing materials. Pump-probe experiments demonstrated a 644 dB/cm signal enhancement and 30 dB/cm net gain per unit length from a single ECS wire. As a result, such high-gain ECS nanowires can be potentially fabricated into ultra-compact lasers. Even though a single ECS nanowire naturally serves as good wavegnide, additional feedback mechanism is needed to form an ultra-compact laser. In this work, we demonstrate the direct fabrication of 1D photonic crystal (PhC) air hole array structure on a single ECS nanowire using focused ion beam (FIB). Transmission measurement shows polarization-dependent stop-band behavior. For transverse electric (TE) polarization, we observed stop-band suppression as much as 12 dB with a 9 μm long airholed structure. Through numerical simulation, we showed that Ω-factor as high as 11000 can be achieved at 1.53 μm for a 1D PhC micro-cavity on an ECS nanowire. Such a high Q cavity combined wi 展开更多
关键词 NANOMATERIALS rare-earth-doped materials lasers optical amplifiers nanostructure fabrication micro-cavity devices
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表面浮雕式光纤光栅的新光学特性 被引量:1
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作者 姚雷 《徐州工程学院学报(自然科学版)》 CAS 2016年第2期46-49,共4页
通过计算机模拟研究表面浮雕式光纤布拉格光栅的新性质,得到关于这种新型光纤光栅的新的光学特性,即光纤光栅上刻蚀深度、光纤直径以及外部折射率与反射谱带宽之间的关系.这种新光学特性使得该光栅用于传感器、光通信以及激光泵浦等方... 通过计算机模拟研究表面浮雕式光纤布拉格光栅的新性质,得到关于这种新型光纤光栅的新的光学特性,即光纤光栅上刻蚀深度、光纤直径以及外部折射率与反射谱带宽之间的关系.这种新光学特性使得该光栅用于传感器、光通信以及激光泵浦等方面具有更大的潜在应用价值. 展开更多
关键词 纳米结构 微纳光纤 光纤布拉格光栅
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二维金纳米阵列制备及其光学响应 被引量:1
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作者 白正元 张龙 王康鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期13-18,共6页
有序贵金属纳米结构由于其本身所特有的光学响应及灵活调控能力,在微纳光电子材料与器件研究领域得到了广泛应用。在众多相关研究中,如何实现金(Au)纳米周期结构的大面积快速制备是人们关心的重要问题之一。采用纳米球自组装刻蚀方法,... 有序贵金属纳米结构由于其本身所特有的光学响应及灵活调控能力,在微纳光电子材料与器件研究领域得到了广泛应用。在众多相关研究中,如何实现金(Au)纳米周期结构的大面积快速制备是人们关心的重要问题之一。采用纳米球自组装刻蚀方法,在大孔周期结构模板内部成功制备了新型二维Au纳米阵列,并有效避免了杂散Au纳米颗粒的产生。通过进一步的工艺优化和参量控制,实现了Au纳米颗粒尺寸的灵活调控,并探讨了其结构形成的物理机理。光学测试研究结果揭示了二维Au纳米阵列的表面等离子体吸收与散射响应,并证明其在近红外飞秒脉冲激励下具有显著的双光子吸收(饱和)效应。该研究结果在太阳能电池,光开关及材料微纳制备等领域具有潜在应用。 展开更多
关键词 纳米结构制备 金纳米阵列 自组装 非线性光学吸收
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Hybrid metal-insulator-metal structures on Si nanowires array for surface enhanced Raman scattering 被引量:6
7
作者 Kaichen Xu Chentao Zhang +4 位作者 Tzu Hsiao Lu Puqun Wang Rui Zhou Rong Ji Minghui Hong 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期185-191,共7页
Surface enhanced Raman scattering(SERS)is an efficient technique to detect low concentration molecules.In this work,periodical silicon nanowires(Si NWs)integrated with metal-insulator-metal(MIM)layers are employed as ... Surface enhanced Raman scattering(SERS)is an efficient technique to detect low concentration molecules.In this work,periodical silicon nanowires(Si NWs)integrated with metal-insulator-metal(MIM)layers are employed as SERS substrates.Laser interference lithography(LIL)combined with reactive ion etching(RIE)is used to fabricate large-area periodic nanostructures,followed by decorating the MIM layers.Compared to MIM disks array on Si surface,the SERS enhancement factor(EF)of the MIM structures on the Si NWs array can be increased up to 5 times,which is attributed to the enhanced electric field at the boundary of the MIM disks.Furthermore,high density of nanoparticles and nanogaps serving as hot spots on sidewall surfaces also contribute to the enhanced SERS signals.Via changing the thickness of the insulator layer,the plasmonic resonance can be tuned,which provides a new localized surface plasmon resonance(LSPR)characteristic for SERS applications. 展开更多
关键词 surface-enhanced Raman scattering nanostructure fabrication PLASMONICS metal-insulator-metal
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AAO为模板软印模法构建大面积高性能SERS基底(英文)
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作者 陈宗强 齐继伟 +1 位作者 杨明 孙骞 《南开大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期31-36,共6页
以双通多孔氧化铝(AAO)为模板用软印模法制作出硅胶(PDMS)纳米线团簇结构,用离子束溅射沉积法在硅胶纳米面条衬底上镀一层50nm的金膜,制成大面积、超高灵敏的SERS基底.以不同孔径的AAO为模板,制作出不同直径的纳米线.用罗丹明6G为探针分... 以双通多孔氧化铝(AAO)为模板用软印模法制作出硅胶(PDMS)纳米线团簇结构,用离子束溅射沉积法在硅胶纳米面条衬底上镀一层50nm的金膜,制成大面积、超高灵敏的SERS基底.以不同孔径的AAO为模板,制作出不同直径的纳米线.用罗丹明6G为探针分子,通过对不同直径纳米线形成的团簇SERS基底进行拉曼信号测量发现,所有SERS基底都显示出可观的拉曼信号增强效应,平均拉曼增强因子随着纳米线直径的增大而增大,最大的增强因子超过2×107.如此大的拉曼信号增强归因于大量纳米线间隙中的超强电磁增强效应. 展开更多
关键词 表面等离子共振 表面增强拉曼散射 纳米结构制作
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Development of new classes of plasmon active nano-structures and their application in bio-sensing and energy guiding 被引量:1
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作者 Ondrej Stranik Jacqueline Jatschka Andrea Csaki Wolfgang Fritzsche 《Frontiers of physics》 SCIE CSCD 2014年第5期652-664,共13页
Metal nanostructures exhibit special optical resonance modes originating fronl tile subwavelengt.h confinement of conductive electrons in the material. These resonance modes represent a strong research focus due to th... Metal nanostructures exhibit special optical resonance modes originating fronl tile subwavelengt.h confinement of conductive electrons in the material. These resonance modes represent a strong research focus due to their application potential in optics and sensing application, in this short review recent achievements of our group in this field are highlighted. A wet-chemistry approach synthesis of advanced metallic nanostruetures will be introduced and their exact positioning and manipulation by electric field is shown. Next. the application of these nanostructures for a detection of small molecules will be described in several examples. Also, it will be shown that inetal nanostruetures can be used for sub-wavelength light focusing and for efficient energy coupling into polymer chains. 展开更多
关键词 PLASMONICS SENSING nanostructures fabrication energy guiding
原文传递
亚稳态氦原子束在纳米结构制作中的应用 被引量:3
10
作者 陈献忠 姚汉民 陈旭南 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第9期919-922,共4页
 介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原...  介绍两种用亚稳态氦原子束制作纳米结构的新方法。亚稳态原子束从原子源喷出后首先对其进行横向激光冷却,准直后的原子束穿过与之垂直的激光驻波场时发生淬火过程,原子的密度分布出现沟道化效应,给出基于光掩模制作纳米图形的基本原理、理论分析及模拟结果。介绍基于物理掩模制作纳米图形的原理和SAM抗蚀剂,利用沉积在基底上的亚稳态原子破坏基底上的SAM膜,结合刻蚀技术可制作出纳米量级的图形。 展开更多
关键词 亚稳态原子束 纳米结构制作 光掩模 光驻波淬火 自组装单分子膜抗蚀剂
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纳米印刷光刻技术
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作者 陈献忠 姚汉民 +2 位作者 陈旭南 李展 石建平 《微纳电子技术》 CAS 2002年第12期36-39,共4页
介绍了纳米结构制作的一种新方法———纳米印刷光刻的基本原理、总体方案。该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点。介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷光刻技术制作纳米结构的加工步... 介绍了纳米结构制作的一种新方法———纳米印刷光刻的基本原理、总体方案。该技术与其它微刻印技术相比,具有成本低、生产效率高、可批量生产、工艺过程简单等优点。介绍了SiC模板的制作方法、用纳米印刷光刻技术制作纳米结构的加工步骤及刻印结果。结果表明该技术可制作特征尺寸小于100nm的图形。本文还展望了其应用于微电子学等领域的前景。 展开更多
关键词 纳米印刷光刻 纳米结构制作 批量生产 高效率 低成本 SiC模板
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纳米材料(NSM)的制作方法及其应用 被引量:1
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作者 韩顺昌 《材料开发与应用》 CAS 1998年第2期31-34,39,共5页
介绍了NSM的主要制作方法,包括气相凝固法、机械合金化法和喷雾转化法等。并概述了NSM在工业和尖端科学技术领域里的应用状况和前景。
关键词 纳米材料 制备 气相凝固法 机械合金化法
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