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双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶硅的表面 被引量:7
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作者 任英明 张志宇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第7期212-219,共8页
单晶硅是一种重要的半导体材料。通常,铸锭切片后的单晶硅表面易产生较深的沟槽、凹坑和裂纹等缺陷。针对这一问题,提出了一种双步激光辐射的方法,其在修复表面缺陷的同时,可以降低表面粗糙度。首先,通过有限元法模拟对不同激光参数下... 单晶硅是一种重要的半导体材料。通常,铸锭切片后的单晶硅表面易产生较深的沟槽、凹坑和裂纹等缺陷。针对这一问题,提出了一种双步激光辐射的方法,其在修复表面缺陷的同时,可以降低表面粗糙度。首先,通过有限元法模拟对不同激光参数下可修复的缺陷深度进行预测。然后,在0.50 J/cm^(2)的较高能量密度下,利用较深的表面层熔化修复各种深度的表面缺陷。然而,由于高能量密度下引发的热毛细管流易造成高频特征残留在表面上,故会导致表面粗糙度增加。接着,使用一个0.20 J/cm^(2)的低能量密度再次辐射同一表面,可有效消除残留的高频特征。最终,原始表面粗糙度为1.057μm的表面经过双步激光辐射后可获得一个表面粗糙度为26 nm的无缺陷光滑表面。 展开更多
关键词 激光光学 单晶硅表面缺陷 纳秒激光辐射 有限元模拟 毛细管流动 表面张力
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Formation and Growth of Silver Nanocubes upon Nanosecond Pulsed Laser Irradiation: Effects of Laser Intensity and Irradiation Time 被引量:1
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作者 Umair Yaqub Qazi Zameer Shervani +2 位作者 Rahat Javaid Shinji Kajimoto Hiroshi Fukumura 《Advances in Nanoparticles》 2017年第4期148-157,共10页
Silver nanoparticles (AgNPs) were fabricated by repetitive irradiation of near ultraviolet (UV) nanosecond laser pulses (355 nm, 5 ns) in an aqueous solution of silver nitrate in the absence of stabilizing agents. A b... Silver nanoparticles (AgNPs) were fabricated by repetitive irradiation of near ultraviolet (UV) nanosecond laser pulses (355 nm, 5 ns) in an aqueous solution of silver nitrate in the absence of stabilizing agents. A broad absorption peak was observed in the visible region showing the formation of a variety of AgNPs in the solution. Among the variety of products, it was found that silver nanocubes (AgNCs) grew in size with longer laser irradiation time. The size of AgNCs also increased with higher laser intensity. The average size of AgNCs, investigated by a scanning electron microscope (SEM) was in the range of 75 - 200 nm. The number of reduced atoms in AgNCs as a function of laser intensity showed that the AgNCs are apparently produced by a four photon process, implying that the formation of dimer silver atoms is essential for the formation. 展开更多
关键词 nanosecond laser SILVER NANOCUBES NANOPARTICLE Synthesis laser INTENSITY irradiation Time
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波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响 被引量:1
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作者 袁春华 李晓红 +1 位作者 唐多昌 杨宏道 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期647-649,共3页
为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空... 为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空气中形成的微结构较真空和N_2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF_6和真空中产生的锥形结构比N_2和空气中要更为显著,但SF_6中形成的微结构上有絮状物的结果。结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同。该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的。 展开更多
关键词 激光物理 表面微结构 纳秒激光辐照
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Time-resolved K-shell x-ray spectra of nanosecond laser-produced titanium tracer in gold plasmas
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作者 何贞岑 张继彦 +2 位作者 杨家敏 闫冰 胡智民 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第1期51-55,共5页
A study of a nanosecond laser irradiation on the titanium-layer-buried gold planar target is presented. The timeresolved x-ray emission spectra of titanium tracer are measured by a streaked crystal spectrometer. By co... A study of a nanosecond laser irradiation on the titanium-layer-buried gold planar target is presented. The timeresolved x-ray emission spectra of titanium tracer are measured by a streaked crystal spectrometer. By comparing the simulated spectra obtained by using the FLYCHK code with the measured titanium spectra, the temporal plasma states, i.e.,the electron temperatures and densities, are deduced. To evaluate the feasibility of using the method for the characterization of Au plasma states, the deduced plasma states from the measured titanium spectra are compared with the Multi-1D hydrodynamic simulations of laser-produced Au plasmas. By comparing the measured and simulated results, an overall agreement for the electron temperatures is found, whereas there are deviations in the electron densities. The experiment–theory discrepancy may suggest that the plasma state could not be well reproduced by the Multi-1D hydrodynamic simulation, in which the radial gradient is not taken into account. Further investigations on the spectral characterization and hydrodynamic simulations of the plasma states are needed. All the measured and FLYCHK simulated spectra are given in this paper as datasets. The datasets are openly available at http://www.doi.org/10.57760/sciencedb.j00113.00032. 展开更多
关键词 nanosecond laser irradiation time-resolved x-ray spectra characterization of plasma states Multi-1D hydrodynamic simulations
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纳秒脉冲激光照射对多壁碳纳米管薄膜形貌的影响
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作者 孙凤鸣 步伟艳 +4 位作者 王慧 薛涛 姚琲 傅星 崔屾 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2010年第4期307-312,共6页
采用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)自制的碳纳米管阵列为原料,经过研磨、灼烧纯化得到分散的多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs).采用纳秒脉冲激光(波长355 nm),分别在不同条件下对丝网印刷法制备的M... 采用化学气相沉积法(chemical vapor deposition,CVD)自制的碳纳米管阵列为原料,经过研磨、灼烧纯化得到分散的多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes,MWCNTs).采用纳秒脉冲激光(波长355 nm),分别在不同条件下对丝网印刷法制备的MWCNTs薄膜进行照射.扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)表征结果表明,进行相互垂直的双向扫描照射的效果明显好于单向扫描照射的效果,即由前者得到的MWCNTs的网状结构的立体感更明显,单位面积的MWCNTs端点更多;随着脉冲激光能量密度的逐渐增加,突出于表面的MWCNTs端点逐渐增多,以MWCNTs为主的网状分布的轮廓逐渐清晰;脉冲激光重复频率的增加,也有利于改善MWCNTs薄膜表面的形貌.经过脉冲激光能量51.0μJ(1.03 W)、频率20 kHz的脉冲激光照射后,得到以MWCNTs为主的、立体感显著、比较稀疏的网状分布结构,且单位面积的MWCNTs端点数目显著增多. 展开更多
关键词 纳秒脉冲激光 照射 多壁碳纳米管(multi-walled carbon NANOTUBE MWCNT)薄膜 扫描电子显微镜(scan-ningelectron microscope SEM) 形貌
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Doping of Cadmium Telluride by Indium at Nanosecond Laser Irradiation of In/CdTe Structure
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作者 Vitaly Veleschuk Alexander Vlasenko +4 位作者 Elena Gatskevich Volodymyr Gnatyuk Gennadii Ivlev SergeyLevytskyi Toru Aoki 《材料科学与工程(中英文B版)》 2012年第4期230-239,共10页
关键词 量子点结构 CDTE 激光照射 纳秒脉冲 碲化镉 掺杂 ND:YAG激光器 STEFAN问题
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SiC的纳秒脉冲激光烧蚀特性
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作者 张黎 陶彦辉 +4 位作者 黄元杰 殷乾峰 陈加政 张永强 谭福利 《高压物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第6期69-74,共6页
建立了纳秒脉冲激光烧蚀SiC的实验平台和激光烧蚀诱导等离子体的实验测量系统,并采用一维流体力学程序模拟了高功率激光烧蚀SiC的过程和烧蚀过程中产生等离子体射流的动力学过程,获得了纳秒激光对SiC的烧蚀规律,研究了激光烧蚀过程中产... 建立了纳秒脉冲激光烧蚀SiC的实验平台和激光烧蚀诱导等离子体的实验测量系统,并采用一维流体力学程序模拟了高功率激光烧蚀SiC的过程和烧蚀过程中产生等离子体射流的动力学过程,获得了纳秒激光对SiC的烧蚀规律,研究了激光烧蚀过程中产生的等离子体对烧蚀效率的影响。研究结果可为纳秒激光烧蚀材料的相关工程化应用提供参考。 展开更多
关键词 SIC 纳秒脉冲激光烧蚀 激光辐照 激光诱导等离子体
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