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超精密纳米胶体射流抛光试验研究
被引量：
7
1
作者
宋孝宗
张勇
+1 位作者
张飞虎
栾殿荣
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第21期2521-2524,共4页
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系...
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。
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关键词
超精密加工
纳米胶体射流加工
抛光
纳米颗粒
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职称材料
纳米胶体射流抛光技术综述
被引量：
4
2
作者
张勇
王星
张飞虎
《航空科学技术》
2013年第3期65-67,共3页
纳米胶体射流抛光技术是一种超光滑表面加工方法,加工范围广,具有广泛的应用前景。本文回顾了纳米胶体射流抛光技术的提出以及目前的研究现状,最后对其今后的发展进行了简单展望。
关键词
纳米胶体射流抛光
超光滑表面
无损加工
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职称材料
TiO_2纳米颗粒在单晶硅表面的吸附
被引量：
5
3
作者
宋孝宗
高贵
+2 位作者
周有欣
王宏刚
龚俊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1694-1702,共9页
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平...
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平面波赝势计算方法研究了纳米颗粒胶体射流加工中TiO_2分子团簇在单晶硅表面化学吸附的表面构型结构及其体系能量。最后,开展了TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面间的吸附实验。实验结果表明:胶体中的OH基团在TiO_2团簇表面及单晶硅表面分别发生化学吸附,在TiO_2纳米颗粒及单晶硅表面吸附过程中形成了新的Ti-O-Si键及化学吸附的H_2O分子。红外光谱实验结果显示:TiO_2纳米颗粒与单晶硅界面间存在新生成的Ti-O-Si键。这种界面间的相互作用证实了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光过程可实现材料去除的化学作用机理。
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关键词
TIO2纳米颗粒
超光滑表面
单晶硅表面
化学吸附
紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工
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职称材料
题名
超精密纳米胶体射流抛光试验研究
被引量：
7
1
作者
宋孝宗
张勇
张飞虎
栾殿荣
机构
哈尔滨工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第21期2521-2524,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50375040
50805039)
+2 种基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(新教师基金)(20070213049)
中国博士后科学基金资助项目(20070410899)
哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目(HIT.NSRIF.2008.40)
文摘
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。
关键词
超精密加工
纳米胶体射流加工
抛光
纳米颗粒
Keywords
ultra-precision
machining
nanoparticle
colloid
jet
machining
polishing
nanoparticle
colloid
分类号
TG664 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
纳米胶体射流抛光技术综述
被引量：
4
2
作者
张勇
王星
张飞虎
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
出处
《航空科学技术》
2013年第3期65-67,共3页
基金
航空科学基金(2009ZE77008)项目资助
文摘
纳米胶体射流抛光技术是一种超光滑表面加工方法,加工范围广,具有广泛的应用前景。本文回顾了纳米胶体射流抛光技术的提出以及目前的研究现状,最后对其今后的发展进行了简单展望。
关键词
纳米胶体射流抛光
超光滑表面
无损加工
Keywords
nanoparticle
colloid
jet
machining
,
ultra-smooth
surface,
non-damage
machining
分类号
TS933.5 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
TiO_2纳米颗粒在单晶硅表面的吸附
被引量：
5
3
作者
宋孝宗
高贵
周有欣
王宏刚
龚俊
机构
兰州理工大学机电工程学院
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1694-1702,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51205180
No.51565031)
高等学校博士学科点专项科研基金项目(No.20126201120001)
文摘
为了实现亚纳米级超光滑表面的加工,建立了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工系统,同时研究了加工过程中纳米颗粒与工件表面间的相互作用机理。首先,对实验所用锐钛矿TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面进行表征测量。然后,用第一性原理的平面波赝势计算方法研究了纳米颗粒胶体射流加工中TiO_2分子团簇在单晶硅表面化学吸附的表面构型结构及其体系能量。最后,开展了TiO_2纳米颗粒及单晶硅工件表面间的吸附实验。实验结果表明:胶体中的OH基团在TiO_2团簇表面及单晶硅表面分别发生化学吸附,在TiO_2纳米颗粒及单晶硅表面吸附过程中形成了新的Ti-O-Si键及化学吸附的H_2O分子。红外光谱实验结果显示:TiO_2纳米颗粒与单晶硅界面间存在新生成的Ti-O-Si键。这种界面间的相互作用证实了紫外光诱导纳米颗粒胶体射流抛光过程可实现材料去除的化学作用机理。
关键词
TIO2纳米颗粒
超光滑表面
单晶硅表面
化学吸附
紫外光诱导纳米颗粒胶体射流加工
Keywords
TiO2
nanoparticle
ultra
smooth
surface
monocrystalline
silicon
surface
chemical
adsorption
ultraviolet
induced
nanoparticle
colloid
jet
machining
分类号
TB302 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB383
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精密纳米胶体射流抛光试验研究
宋孝宗
张勇
张飞虎
栾殿荣
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
7
下载PDF
职称材料
2
纳米胶体射流抛光技术综述
张勇
王星
张飞虎
《航空科学技术》
2013
4
下载PDF
职称材料
3
TiO_2纳米颗粒在单晶硅表面的吸附
宋孝宗
高贵
周有欣
王宏刚
龚俊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
下载PDF
职称材料
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