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液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型
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作者 吴修娟 王红军 +1 位作者 曾永彬 房晓龙 《电加工与模具》 2016年第A01期43-46,共4页
介绍了液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的原理及过程。根据钨棒刻蚀后的几何形状、电化学反应的基本原理及液体表面张力相关理论,建立了纳米电极制备的数学模型,为液膜电化学刻蚀法制备纳米电极奠定了理论基础。
关键词 液膜电化学刻蚀 纳米电极 纳米电解加工 数学模型
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亚微米电解加工的试验研究 被引量:3
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作者 吴修娟 曲宁松 +2 位作者 曾永彬 王玉峰 朱荻 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期777-781,共5页
为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电... 为了增强Ag纳米线在亚微米电解加工中的稳定性,对其表面溅射金属Au.Ag纳米线的稳定性试验结果表明,溅射层越厚,Ag纳米线在电解加工环境中的稳定性越好,但是过厚的溅射层会使纳米线发生弯曲.当溅射层厚度约为55 nm时,溅射层不够致密,电解加工时亚微米工具电极会发生溶解;当溅射层厚度约为310 nm时,溅射层的内应力过大,亚微米工具电极出现弯曲.因此,采用溅射层厚度约为150 nm的亚微米工具电极进行亚微米电解加工.在浓度为0.1mol/L的H2SO4电解液中,施加电压为4 V、周期为50 ns、脉宽为6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,于高温合金试件表面成功加工出亚微米沟槽,沟槽长约30μm,深约80 nm,底部最窄处约为450 nm,入口最宽处约1μm. 展开更多
关键词 微纳电解加工 亚微米电解加工 AG纳米线 工具电极
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基于Ag纳米线的微纳电解加工研究
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作者 吴修娟 曾永彬 +2 位作者 曲宁松 王玉峰 朱荻 《电加工与模具》 2014年第1期24-27,共4页
采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工,对其表面溅射金属Au。试验结果表明,当溅射层厚度为27 nm和55 n... 采用尖端自组装了Ag纳米线的扫描隧道显微镜探针作为微纳工具电极进行电解加工试验研究。加工过程中发现Ag纳米线与电解液发生反应而溶解。为了使Ag纳米线稳定用于电解加工,对其表面溅射金属Au。试验结果表明,当溅射层厚度为27 nm和55 nm时,溅射层不够致密,Ag纳米线仍会发生溶解;当溅射层厚度为310 nm时,过厚的溅射层使Ag纳米线发生弯曲,从而使Ag纳米线与扫描隧道显微镜探针尖端的结合力变小并发生脱落;当溅射层厚度为150 nm和240 nm时,Ag纳米线在电解加工中均能保持稳定。采用溅射层厚度为150 nm的Ag纳米线进行微纳电解加工。在0.1 mol/L的H2SO4电解液中,施加电压4 V、周期50 ns、脉宽6 ns的纳秒脉宽脉冲电流,在高温合金试件表面成功加工出微纳沟槽,沟槽深约110 nm,入口最宽处约1μm。 展开更多
关键词 AG纳米线 微纳工具电极 微纳电解加工 离子溅射
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