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Optical coatings:trends and challenges 被引量:2
1
作者 Norbert Kaiser Torsten Feigl +1 位作者 Olaf Stenzel Ulrike Schulz 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期389-396,共8页
New applications in optoelectronics, photonics, telecommunication, displays, optical data processing, biomedicine, sensors, energy control, automobile, aerospace, and architecture stimulation are important development... New applications in optoelectronics, photonics, telecommunication, displays, optical data processing, biomedicine, sensors, energy control, automobile, aerospace, and architecture stimulation are important developments in physics and technology of optical coatings. This paper will focus on the latest advances in the areas of new optical film systems and devices, new optical coating materials and film fabrication techniques, process control and monitoring, and different advanced applications. Particularly, focus is on optical films that combine optical design with microstructural features tailored on the nanometer and micrometer scales. Evaluation of film stability and integrity in harsh industrial environments and their compatibility with organic polymers are important as well. 展开更多
关键词 光学涂覆技术 光电子技术 光学仪器 光学材料
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基板表面锚泊对液晶全漏导模影响的理论研究 被引量:1
2
作者 孙婷婷 袁瑞 +3 位作者 李振杰 朱吉亮 邢红玉 叶文江 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期483-489,共7页
平行排列向列相液晶盒基板表面锚泊能可以影响液晶盒内液晶分子指向矢的分布,光学上将导致液晶导模结构的变化。为了研究基板表面锚泊对液晶全漏导模的影响,首先基于液晶弹性理论推导了液晶指向矢在外加电压下满足的平衡态方程,随后由... 平行排列向列相液晶盒基板表面锚泊能可以影响液晶盒内液晶分子指向矢的分布,光学上将导致液晶导模结构的变化。为了研究基板表面锚泊对液晶全漏导模的影响,首先基于液晶弹性理论推导了液晶指向矢在外加电压下满足的平衡态方程,随后由差分迭代方法数值计算液晶指向矢。最后,基于液晶多层光学理论推导了液晶导波反射率和透射率公式,并通过数值计算得到了平行排列向列相液晶全漏波导反射率Rss随内角变化的理论曲线。计算结果表明,相对于强锚泊情形(1×10^(-3) J/m^2),不同锚泊能强度(5×10^(-5) J/m^2~1×10^(-3) J/m^2)下的理论曲线会发生左移现象,移动距离与锚泊能强度有关。由曲线移动的距离可以确定液晶盒基板表面锚泊能的强度。该研究为进一步利用光导波技术测量液晶盒基板表面锚泊能强度提供了理论依据。 展开更多
关键词 锚泊 全漏导模 平行排列向列相 液晶弹性理论 多层光学理论
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增透膜的遗传算法设计 被引量:15
3
作者 徐江峰 陈秋灵 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1271-1275,共5页
用遗传算法设计了多层光学膜。设计时只要事先确定最大层数,算法就可自动优化选择合适的层数,同样每层的镀膜材料及厚度也由算法自动优化选择。设计中采用了不同以往的评价函数。在LBO(LiB3O5)晶体上用两种评价函数设计了1064nm,53... 用遗传算法设计了多层光学膜。设计时只要事先确定最大层数,算法就可自动优化选择合适的层数,同样每层的镀膜材料及厚度也由算法自动优化选择。设计中采用了不同以往的评价函数。在LBO(LiB3O5)晶体上用两种评价函数设计了1064nm,532nm二倍频增透膜。前一种评价函数设计的增透膜在1064nm和532nm处的透射率分别达到99.98%和99.99%,后一种评价函数设计的增透膜在两处的透射率均达到100.00%。在K9玻璃上设计了可见光宽带增透膜,450~650nm范围的宽带增透膜的透射率均超过99.91%,390~780nm范围的宽带增透膜的透射率均超过99.30%。采用的评价函数对膜系结构的变化敏感时,用遗传算法设计才有效。 展开更多
关键词 薄膜 增透膜 遗传算法 二倍频 宽带 膜系设计
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基于灵敏度控制的光学薄膜膜系主动设计方法 被引量:10
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作者 黄云 吴素勇 杨开勇 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期284-288,共5页
基于斜入射薄膜制备实践中镀膜误差对光谱性能的严重退化影响的认识,提出了一种基于灵敏度控制的主动膜系设计方法,深入分析了镀膜中膜层结构参数误差的分布规律,建立了膜系灵敏度的定量计算模型,并在大角度高精度消偏振增透膜的设计实... 基于斜入射薄膜制备实践中镀膜误差对光谱性能的严重退化影响的认识,提出了一种基于灵敏度控制的主动膜系设计方法,深入分析了镀膜中膜层结构参数误差的分布规律,建立了膜系灵敏度的定量计算模型,并在大角度高精度消偏振增透膜的设计实验中验证了灵敏度控制思想在膜系设计中的可行性和有效性。结果表明,这一设计方法不会显著增加程序时间消耗,能获得具有良好可镀制性能的薄膜,可以避免昂贵的失败试镀和采样,缩短新薄膜的生产周期,对于高精度斜入射薄膜的重复性制备具有显著意义。 展开更多
关键词 薄膜光学 膜系设计 灵敏度控制 大角度膜 遗传算法
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非线性包层多量子阱波导的TE波:方均根近似法 被引量:4
5
作者 佘守宪 张思炯 《量子电子学报》 CAS CSCD 1999年第3期269-275,共7页
本文给出了用以分析非线性包层多量子阱波导的TE模光学非线性与双稳性的方均根近似法,导出了理论公式及其计算方法.与精确分析法相比较,方均根近似法的计算大为简化.数值计算表明:当芯区的多量子层达到一定数目时,方均根近似法... 本文给出了用以分析非线性包层多量子阱波导的TE模光学非线性与双稳性的方均根近似法,导出了理论公式及其计算方法.与精确分析法相比较,方均根近似法的计算大为简化.数值计算表明:当芯区的多量子层达到一定数目时,方均根近似法与精确分析法的分析结果相当符合.利用本文的方法分析了模折射率与波导总功率的依赖关系,芯区功率与总功率之间的双稳性以及模场分布与模折射率的关系,讨论了波导参数对光学非线性、双稳性及模场分布的影响. 展开更多
关键词 非线性光波导 多量子阱波导 光学非线性 MQW
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非线性包层多量子阱波导的TE波 被引量:2
6
作者 佘守宪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期57-62,共6页
给出用以分析非线性包层多量子阱波导TE模光学非线性与双稳性的理论公式与计算方法。指出用均方根等效折射率法解本征方程是有效的简化方法。用本文方法分析了模折射率对波导总功率的依赖关系,芯区功率与总功率之间的双稳性以及模场... 给出用以分析非线性包层多量子阱波导TE模光学非线性与双稳性的理论公式与计算方法。指出用均方根等效折射率法解本征方程是有效的简化方法。用本文方法分析了模折射率对波导总功率的依赖关系,芯区功率与总功率之间的双稳性以及模场分布与模折射率的关系,讨论了波导参数对光学非线性、双稳性及模场分布的影响。 展开更多
关键词 非线性 光波导 多量子阱波导 模折射率 TE波
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激光诱导多层光学薄膜损伤分析与仿真 被引量:3
7
作者 郑梦珂 李杰 +1 位作者 张蓉竹 柴立群 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期273-280,共8页
提出一种全面分析光学薄膜损伤特性的方法,根据热传导理论与电子增殖理论建立激光辐照下多层介质膜的损伤理论模型。以HfO_(2)/SiO_(2)多层高反膜为例,计算红外纳秒脉冲激光作用下膜系内部的温度场、应力场以及自由电子数密度分布,对其... 提出一种全面分析光学薄膜损伤特性的方法,根据热传导理论与电子增殖理论建立激光辐照下多层介质膜的损伤理论模型。以HfO_(2)/SiO_(2)多层高反膜为例,计算红外纳秒脉冲激光作用下膜系内部的温度场、应力场以及自由电子数密度分布,对其热学特性与电子增殖特性进行综合评估后,得到不同输入条件下膜系的损伤阈值。结果表明,薄膜材料的损伤特性会受到驻波场的影响,在1064 nm波长的激光辐照下HfO_(2)/SiO_(2)多层介质薄膜的热致应力损伤效应先于热熔融效应先于场效应发生,且薄膜中SiO_(2)层发生热损伤,而薄膜并未发生场损伤,此外薄膜的损伤阈值随着激光脉宽的增大而增大。 展开更多
关键词 薄膜 多层光学薄膜 热传导 光子电离 脉冲激光
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Guided Wave Studies of Reflective MTN Liquid Crystal Cell
8
作者 Zhidong Zhang Libin Si +2 位作者 Wenjiang Ye Xuan Zhou Li Jiang 《Journal of Modern Physics》 2012年第10期1586-1591,共6页
The fully-leaky guided wave technique has been used to study the reflective 90? MTN liquid crystal cell used for LCOS. The cell is comprised of upper substrate with indium-tin-oxide coating and lower substrate with al... The fully-leaky guided wave technique has been used to study the reflective 90? MTN liquid crystal cell used for LCOS. The cell is comprised of upper substrate with indium-tin-oxide coating and lower substrate with aluminum coating. Reflective angle-dependent signals (Rss, Rpp, Rsp and Rps) were recorded over a range of angles of incidence with the cell under application of 0 - 7 Vrms ac electric fields. From the recorded experimental data, we found the reflective signals are quite strong, especially the polarization conversion signals. Fitting the data in reflection with the results of the modeling-program gives the information about the pre-tilt and twist of the director as well as the parameters of different optical layers. We found that the pre-tilt angle on the upper substrate is different from that on the bottom in the best fits, which suggests that the indium-tin-oxide and the aluminum coatings have different effects on the alignment layers. 展开更多
关键词 Fully-Leaky GUIDED WAVE Liquid CRYSTAL MTN Cell multilayer optical Theory
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Study on superprism effect in the multilayer optical thin film stack 被引量:2
9
作者 SUN Xue-zheng GU Pei-fu CHEN Hai-xing JIN Bo LI Hai-feng LIU Xu 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期454-458,共5页
Researches show that multilayer optical thin film stack can exhibit superprism effect due to their large abnormal dispersions. We investigated and simulated this effect numerically in a 1-D non-periodic film structure... Researches show that multilayer optical thin film stack can exhibit superprism effect due to their large abnormal dispersions. We investigated and simulated this effect numerically in a 1-D non-periodic film structure-Fabry-Perot filters (FPF), which possess drastic change in phase and large group delay around wavelength of peak transmittance, and fabricated this device to realize remarkable superprism effect. We tested experimentally with the maximum spatial separation shift up to 65 μm, and the experimental result is in good agreement with the theory. Compared with the traditional prism, the total thickness of our structure is only 3.3 μm, and our prism shows a stronger angular resolution of 1.8°/nm. 展开更多
关键词 薄膜 涂覆技术 多层膜 FPF
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极紫外光学元件表面碳污染模型的建立 被引量:1
10
作者 鹿国庆 卢启鹏 +1 位作者 彭忠琦 龚学鹏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期358-364,共7页
为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表面碳沉积的复杂理论模型,描述了残留碳氢化合物在光学表面的传输,在极紫外光子和二次电子激发下引起... 为有效评估和预测在极紫外光辐照下,极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况,建立了光学元件表面碳沉积的复杂理论模型,描述了残留碳氢化合物在光学表面的传输,在极紫外光子和二次电子激发下引起的分子分解,并在光学表面形成碳沉积层的过程。模型预测结果和实验数据吻合得很好。理论分析表明引起碳氢化合物分解的主要原因是光子分解而不是二次电子分解。碳层的增长依赖于碳氢化合物气体偏压和极紫外光强,具有较轻分子量的碳氢化合物(〈~100 amu)对污染的贡献很小。同时当基底温度适度增加时(~30 ℃),能够加速表面碳氢化合物分子的解吸附,可有效减少碳污染。 展开更多
关键词 光学器件 极紫外光刻 碳氢化合物污染模型 多层膜光学元件 二次电子
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基于有效折射率法的多层光波导模式数值分析
11
作者 何伟 蒋忠君 +1 位作者 陈经纬 王亮 《光通信研究》 2023年第3期60-65,共6页
文章针对具有实际使用价值的多层光波导计算了有损耗波导准横电(Quasi-TE)模、准横磁(Quasi-TM)模有效折射率与横电/横磁(TE/TM)模电磁场曲线分布。计算了6层损耗波导TE/TM模式,分析了多层波导模式的有效射折率和电磁场曲线分布与波导... 文章针对具有实际使用价值的多层光波导计算了有损耗波导准横电(Quasi-TE)模、准横磁(Quasi-TM)模有效折射率与横电/横磁(TE/TM)模电磁场曲线分布。计算了6层损耗波导TE/TM模式,分析了多层波导模式的有效射折率和电磁场曲线分布与波导结构的内在关系,并且利用有效折射率法完成Quasi-TE/TM模式的有效折射率计算,得到了TM模式有效折射率与模式阶数非单调递减、损耗波导模式更为丰富等结论。文章的研究工作可以为实际光波导器件设计、制作及应用提供理论基础。 展开更多
关键词 有效折射率法 色散方程 多层光波导 准横电/横磁模
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一种增强波导多层光盘跟踪信号的方法
12
作者 陈坤 梁忠诚 《金陵科技学院学报》 2006年第2期24-26,39,共4页
波导多层光盘存储系统是基于新原理的存储系统。基于该原理,提出了波导多层光盘的设计思路。自动聚焦和信道跟踪信号是光盘驱动器中的关键信号,用来纠正光盘在旋转中产生的跳动、偏心等误差。针对波导多层光盘的特点,提出了跟踪信号增... 波导多层光盘存储系统是基于新原理的存储系统。基于该原理,提出了波导多层光盘的设计思路。自动聚焦和信道跟踪信号是光盘驱动器中的关键信号,用来纠正光盘在旋转中产生的跳动、偏心等误差。针对波导多层光盘的特点,提出了跟踪信号增强的方法,该方法通过控制光盘内层信息面的反射率来提高聚焦和信道跟踪信号的强度。分析结果表明,该方法可以显著提高跟踪信号的平均强度,解决波导多层光盘技术中聚焦寻迹信号微弱的问题。 展开更多
关键词 光存储 波导多层光盘 自动跟踪 信号增强
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缺陷态全介质多层光纤在DWDM系统中的应用
13
作者 刘辉 蔡祥宝 《江西科学》 2005年第4期396-398,440,共4页
由亥姆霍兹方程得到的解,应用传输矩阵法,对加入缺陷的全介质多层光纤的径向滤波特性进行了计算和仿真,最终设计了一种加入缺陷的全介质多层光纤,通道间隔B约为0.8nm,可以很好地抑制四波混频效应,能很好地用于DWDM系统,也可以用于N通道... 由亥姆霍兹方程得到的解,应用传输矩阵法,对加入缺陷的全介质多层光纤的径向滤波特性进行了计算和仿真,最终设计了一种加入缺陷的全介质多层光纤,通道间隔B约为0.8nm,可以很好地抑制四波混频效应,能很好地用于DWDM系统,也可以用于N通道波分复用—解复用滤波器。 展开更多
关键词 全介质多层光纤 缺陷 DWDM
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二维条码在波导多层光卡中的应用
14
作者 钱云平 林传佳 +1 位作者 顾敏芬 梁忠诚 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期733-737,共5页
针对波导多层光卡(WMOC)的特点,结合Data Matrix二维编码的特性,由此采用二维编码作为WMOC信息存储的方式,并提出一种寻址方法来满足信息的随机读取。结果表明:以Data Matrix编码形式存储在光卡上的信息能够随机存取,并能被准确解译。
关键词 DATA Matrix二维条码 波导多层光卡(WMOC) 寻址
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利用MODIS数据反演多层云光学厚度和有效粒子半径 被引量:19
15
作者 叶晶 李万彪 严卫 《气象学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期613-622,共10页
利用卫星资料反演云微物理参数不仅有助于对天气变化的监测和预报,而且对人工影响天气的研究十分有益。目前卫星反演云微物理参数的算法一般是假设视场中只有一层云,但是实际环境中多层云出现很频繁。文中研究了多层云的光学厚度和有效... 利用卫星资料反演云微物理参数不仅有助于对天气变化的监测和预报,而且对人工影响天气的研究十分有益。目前卫星反演云微物理参数的算法一般是假设视场中只有一层云,但是实际环境中多层云出现很频繁。文中研究了多层云的光学厚度和有效粒子半径微物理参数的反演算法,主要针对薄的冰云覆盖在低层水云的多层云情形。算法利用中分辨率成像光谱仪(MODIS)吸收通道和非吸收通道同时进行反演,在此基础上利用SBDART辐射传输模式模拟冰云覆盖在低层水云上的多层云对云微物理参数反演的影响,模拟表明反演时将多层云作为单层云处理会使反演结果产生较大误差。为此,文中提出了云光学厚度和有效粒子半径反演算法中要考虑多层云的因素,并设计了一套云光学厚度和有效粒子半径反演方案。该方案使用SBDART辐射传输模式建立不同观测几何条件、下垫面类型、大气环境等条件下以光学厚度和有效粒子半径为函数变量的多层云、水云和冰云辐射查找表。经过云检测、云相态识别和多层云检测后,在该查找表的基础上,对MODIS通道1和通道7的数据采用最小方差拟合法反演光学厚度、有效粒子半径。利用该方案对2006年7月12日TERRA卫星MODIS数据进行反演试验,反演结果与NASA发布的MOD06产品中云的光学厚度和有效粒子半径的结果较一致,表明方案具有合理性。 展开更多
关键词 SBDART 多层云 光学厚度 有效粒子半径
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偏心误差对长波红外波段多层衍射光学元件衍射效率的影响 被引量:9
16
作者 高龙 薛常喜 +1 位作者 杨红芳 聂鑫 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期294-300,共7页
基于衍射光学元件的相位延迟和衍射效率表达式,推导出了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率表达式。建立了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率的数学模型,分析了偏心误差对多层衍射光学元件衍射效率及多色光积分衍射效率的影... 基于衍射光学元件的相位延迟和衍射效率表达式,推导出了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率表达式。建立了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率的数学模型,分析了偏心误差对多层衍射光学元件衍射效率及多色光积分衍射效率的影响。以在8-12μm波段内的硫化锌(Zn S)和锗(Ge)为基底材料构成的多层衍射光学元件为例,其设计波长对为8.79μm、11.11μm,构成多层衍射光学元件的两层谐衍射元件微结构高度为78.3391μm、34.6076μm,当多层衍射光学元件的环带宽度分别为500μm和1000μm时,其衍射效率达到95%以上时,偏心误差须分别控制在5.8μm和11.17μm以内。该含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率分析模型对于多层衍射光学元件的设计与加工具有重要意义。 展开更多
关键词 光学器件 多层衍射光学元件 红外波段 衍射效率 偏心误差
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宽光谱大视场角的高衍射效率多层衍射元件 被引量:7
17
作者 范长江 赵亚辉 +1 位作者 应朝福 吴浩伟 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期232-236,共5页
提出一种新颖的多层衍射元件(MLDOE),由具有不同折射率和色散性质的光学材料构成,第一层和最后一层为高折射率低色散和低折射率高色散光学材料的组合,中间填充层为阿贝数较小的光学塑料。此MLDOE在最大光束全视场角为110°情况下,... 提出一种新颖的多层衍射元件(MLDOE),由具有不同折射率和色散性质的光学材料构成,第一层和最后一层为高折射率低色散和低折射率高色散光学材料的组合,中间填充层为阿贝数较小的光学塑料。此MLDOE在最大光束全视场角为110°情况下,设计波段内的各个波长的衍射效率高达90%以上,可有效提高折-衍混合光学系统的能量利用率,提高成像质量。 展开更多
关键词 光学设计 衍射光学 多层衍射光学元件 衍射效率
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含多层衍射光学元件的折/衍射混合头盔目镜 被引量:4
18
作者 赵亚辉 范长江 +1 位作者 应朝福 徐建程 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期402-406,共5页
基于对多层衍射元件的衍射效率的理论分析,设计了用于头盔显示器的含有多层衍射元件的60°视场折/衍射混合目镜系统。系统在设计波段和整个视场范围内衍射效率均在90%以上,提高了光能利用率和像面对比度。目镜的出瞳距离为22mm,出... 基于对多层衍射元件的衍射效率的理论分析,设计了用于头盔显示器的含有多层衍射元件的60°视场折/衍射混合目镜系统。系统在设计波段和整个视场范围内衍射效率均在90%以上,提高了光能利用率和像面对比度。目镜的出瞳距离为22mm,出瞳直径为8mm。调制传递函数(MTF)在25lp/mm时全视场均在0.38以上,满足VGA分辨率要求。目镜中畸变为4.8%,垂轴色差最大为10μm。整个系统结构紧凑,镜头总长26.8mm,最大直径16mm,全系统质量仅8g,实现了光学系统的轻小型化。 展开更多
关键词 光学 光学设计 头盔目镜 衍射混合 多层衍射光学元件
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Investigation of multilayer domains in large-scale CVD monolayer graphene by optical imaging 被引量:2
19
作者 Yuanfang Yu Zhenzhen Li +4 位作者 Wenhui Wang Xitao Guo Jie Jiang Haiyan Nan Zhenhua Ni 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2017年第3期69-75,共7页
CVD graphene is a promising candidate for optoelectronic applications due to its high quality and high yield.However,multi-layer domains could inevitably form at the nucleation centers during the growth.Here,we propos... CVD graphene is a promising candidate for optoelectronic applications due to its high quality and high yield.However,multi-layer domains could inevitably form at the nucleation centers during the growth.Here,we propose an optical imaging technique to precisely identify the multilayer domains and also the ratio of their coverage in large-scale CVD monolayer graphene.We have also shown that the stacking disorder in twisted bilayer graphene as well as the impurities on the graphene surface could be distinguished by optical imaging.Finally,we investigated the effects of bilayer domains on the optical and electrical properties of CVD graphene,and found that the carrier mobility of CVD graphene is seriously limited by scattering from bilayer domains.Our results could be useful for guiding future optoelectronic applications of large-scale CVD graphene. 展开更多
关键词 CVD graphene multilayer domain optical contrast imaging mobility
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基于复合带宽积分平均衍射效率的倾斜误差研究 被引量:2
20
作者 杨亮亮 刘成林 +3 位作者 陆法林 童巧英 赵勇兵 郭仁甲 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期17-23,共7页
在系统装调过程中引入的倾斜误差会影响衍射光学元件(DOEs)的衍射效率。入射角度的增大也会影响DOEs的衍射效率。基于多层衍射光学元件(MLDOEs)的相位延迟表达式,提出了斜入射时衍射效率和带宽积分平均衍射效率(BIADE)与倾斜误差的理论... 在系统装调过程中引入的倾斜误差会影响衍射光学元件(DOEs)的衍射效率。入射角度的增大也会影响DOEs的衍射效率。基于多层衍射光学元件(MLDOEs)的相位延迟表达式,提出了斜入射时衍射效率和带宽积分平均衍射效率(BIADE)与倾斜误差的理论关系模型。分析了斜入射时倾斜误差对衍射效率和BIADE的影响。建立了工作在一定入射角度范围内的复合BIADE与倾斜误差的关系。当工作在8~12μm波段的MLDOEs的入射角度范围为0°~20°时,若要实现98%的复合BIADE,倾斜误差角度应控制在0.25°范围内。进一步分析了存在偏心误差和相对微结构高度误差等其他误差因素时,要达到一定的复合BIADE,所需对应的倾斜误差大小。该方法和结论可以用于指导混合光学系统中MLDOEs的设计与装调。 展开更多
关键词 衍射光学 衍射效率 倾斜误差 斜入射 多层衍射光学元件
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