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题名MEMS负电晕放电气体传感器
被引量：2
- 1
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作者
张金英
杨天辰
何秀丽
高晓光
贾建
李建平
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《微纳电子技术》
北大核心
2016年第8期508-514,共7页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61471341)
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文摘
设计并制备了一种基于负电晕放电原理及微机电系统(MEMS)技术的多针-板型气体传感器。研究了电极间距对传感器放电特性的影响,综合考虑起晕电压、信号输出范围及稳定放电范围,优化电极间距为120μm。测试了传感器在体积分数均为6×10^(-4)的乙酸、异丙醇、乙醇和丙酮四种有机气体中的放电特性,传感器对乙酸气体响应最灵敏。测试了传感器在-0.91 kV放电电压下对乙酸气体的敏感特性。结果表明,该传感器对不同体积分数的乙酸气体的响应具有较好的线性关系,对体积分数为10^(-6)的乙酸气体的响应约为0.61 mV,理论检测限(三倍噪声)约为1.2×10^(-5)。传感器对乙酸气体响应灵敏度高、重复性好。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
气体传感器
硅尖阵列
负电晕放电
多针-板结构
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Keywords
micro-electromechanical system（MEMS）
gas sensor
silicon tip array
negative corona discharge
multi-pin plate structure
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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题名基于硅尖阵列的SF_6传感器制备及特性研究
被引量：1
- 2
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作者
李璐
张金英
杨天辰
何秀丽
陈硕
郑天祥
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机构
全球能源互联网研究院
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第7期15-19,共5页
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文摘
针对电气设备中SF_6气体泄漏监测的需求,设计制备了基于硅尖阵列的SF_6传感器。完成了基于硅尖阵列的多针-板型负电晕放电气体传感器结构设计,主要包括硅尖阵列负电极、Au平板正电极、绝缘隔离层3部分。利用物理场有限元仿真软件COMSOL分析了针尖高度、针尖距离及电极间距对电场分布的影响,优化了器件结构参数。介绍了硅尖阵列负电极及Au平板正电极的MEMS工艺流程,完成了传感器的封装。搭建了测试系统,在不同湿度条件下测试了器件对0~100 ppm SF_6气体的响应。结果表明,设计制备的基于硅尖阵列的多针-板型电晕放电传感器可用于SF_6气体检测。
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关键词
硅尖阵列
多针-板
MEMS
负电晕放电
SF6传感器
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Keywords
silicon tips array
multi-pin plate structure
MEMS
negative corona discharge
SF6 sensor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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