结合区域分块的快速BRISK图像拼接算法 被引量：17

1

作者 赵婷 康海林 张正平 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第3期204-209,共6页

为了解决传统图像拼接算法匹配率低以及拼接速度慢的问题,提出一种结合区域分块的快速BRISK图像拼接算法。采用频域相位相关算法寻找两幅图像间的相似部分,将其均匀划分成N×N′的图像块,计算各图像块的标准差,选择标准差较大且分... 为了解决传统图像拼接算法匹配率低以及拼接速度慢的问题,提出一种结合区域分块的快速BRISK图像拼接算法。采用频域相位相关算法寻找两幅图像间的相似部分,将其均匀划分成N×N′的图像块,计算各图像块的标准差,选择标准差较大且分布在不同位置的两个图像块,用BRISK算法进行特征点粗匹配。获得匹配点对后,构造有向线段并进行邻近线段匹配。通过随机选择的匹配点对计算投影变换矩阵,进行投影误差校正,最后进行加权融合和亮度均衡化完成图像拼接。实验结果表明:该算法能够保证图像拼接的正确率大于90%,并且拼接速度提升63.7%。 展开更多

关键词 图像处理 图像拼接 区域分块 有向线段 投影误差 效率提升

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基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法 被引量：7

2

作者 卢禹先 齐向东 +4 位作者 糜小涛 姜珊 于海利 李晓天 尹禄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期14-23,共10页

光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建立了衍射波前与光栅... 光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建立了衍射波前与光栅拼接误差关系的数学模型,分析了干涉仪测量光栅拼接误差的原理,用ZYGO干涉仪实现拼接光栅0级及-1级衍射波前的数字化定量提取,分析并计算了拼接误差波前,得到五维拼接误差的数值解。利用拼接光栅-2级的衍射波前验证五维拼接误差结果的准确性,实验结果表明由0级、-1级、-2级拼接波前计算的拼接误差具有较好的一致性,为利用波前检测光栅拼接误差并实现自动化闭环调整提供了理论指导。 展开更多

关键词 衍射 光栅拼接 干涉仪 衍射波前 拼接误差

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基于雷达组网拼图的定量降水反演I—动态Z-I关系法 被引量：6

3

作者 纪永明 蒋大凯 +5 位作者 陈传雷 任志杰 孟莹 才奎志 胡鹏宇 张硕 《气象与环境学报》 2018年第4期18-25,共8页

综合利用辽宁省及周边区域9部多普勒天气雷达组网拼图资料与地面加密自动气象站降水观测资料,通过最优化法,建立适合辽宁本地区的动态Z-I关系,实时得到高时空分辨率雷达定量降水反演资料。结果表明:对2011年台风"米雷"和2012... 综合利用辽宁省及周边区域9部多普勒天气雷达组网拼图资料与地面加密自动气象站降水观测资料,通过最优化法,建立适合辽宁本地区的动态Z-I关系,实时得到高时空分辨率雷达定量降水反演资料。结果表明:对2011年台风"米雷"和2012年台风"达维"降水反演表明,动态Z-I关系法可以反演地面降水的主要空间分布特征,但反演的强降水中心存在较大偏差;动态Z-I关系法定量降水反演能力整体优于固定Z-I关系法,但存在高估小雨强度和抑制大雨强度的系统性偏差,特别是对于20.0 mm·h^(-1)以上量级的强降水,平均误差达-10.0 mm以上,平均相对误差超过70.0%;各量级降水样本所占比例的差异与地理区域气候条件的差异,是动态Z-I关系法反演降水产生误差的两个主要原因。 展开更多

关键词 雷达 动态Z-I关系法 最优化法 台风 误差

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大尺寸反射式光栅拼接技术的研究进展 被引量：4

4

作者 杨国军 齐向东 +4 位作者 于海利 李晓天 张善文 糜小涛 于宏柱 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期542-551,共10页

大尺寸反射式光栅是提高天文光谱仪分辨率和啁啾脉冲放大系统输出能量的核心元件。随着天文和激光核聚变技术的发展,大尺寸反射式光栅的研制已成为国内外学者研究的热点。相较于单块大尺寸反射式光栅的研制,拼接法以其难度系数低、制作... 大尺寸反射式光栅是提高天文光谱仪分辨率和啁啾脉冲放大系统输出能量的核心元件。随着天文和激光核聚变技术的发展,大尺寸反射式光栅的研制已成为国内外学者研究的热点。相较于单块大尺寸反射式光栅的研制,拼接法以其难度系数低、制作成本低和待拼接的小光栅易制作、质量高等优点成为了制作大尺寸反射式光栅的主要方法。本文介绍了大尺寸反射式光栅拼接技术的基本原理,详细综述了光栅拼接技术的研究进展,包括光栅拼接误差检测理论、光栅拼接误差分离、拼接光栅波前相位校正、光栅拼接误差维数的削减和光栅拼接装置,最后总结了光栅拼接技术的优缺点并指出了其未来的发展方向。 展开更多

关键词 光栅拼接 误差检测 误差分离 相位校正 拼接装置

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高精度大幅面图纸分块扫描拼接技术研究 被引量：3

5

作者 谢士杰 冯学智 《测绘学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期356-361,共6页

针对当前大幅面图纸分块扫描拼接中存在的问题,提出一种基于改正扫描仪误差的大幅图纸整体平差的拼接方法。该方法通过平移黑白相间的格网板建立扫描仪的误差模型,同时利用少量的控制点及连接点,然后通过整体平差来直接解求各扫描图像... 针对当前大幅面图纸分块扫描拼接中存在的问题,提出一种基于改正扫描仪误差的大幅图纸整体平差的拼接方法。该方法通过平移黑白相间的格网板建立扫描仪的误差模型,同时利用少量的控制点及连接点,然后通过整体平差来直接解求各扫描图像块的几何变换参数。实践证明这种方法具有拼接精度高、速度快以及可不限图幅大小等优点。 展开更多

关键词 分块 扫描仪 大幅面 格网 连接点 扫描图像 图纸 整体平差 图幅 改正

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飞思IQ180相机的组合相机设计与分析 被引量：3

6

作者 秦向南 王慧 +2 位作者 程挺 李烁 满丹 《测绘科学技术学报》 CSCD 北大核心 2016年第5期490-495,共6页

针对当前大多UAV搭载单个数码相机进行摄影测量时存在的实际问题,详细分析了多面阵组合相机的结构设计。以飞思IQ180相机为例,通过比较双拼组合相机与三拼组合相机的组合方式及各自成像特点,对其相机的组合参数以及相应关系进行探讨;并... 针对当前大多UAV搭载单个数码相机进行摄影测量时存在的实际问题,详细分析了多面阵组合相机的结构设计。以飞思IQ180相机为例,通过比较双拼组合相机与三拼组合相机的组合方式及各自成像特点,对其相机的组合参数以及相应关系进行探讨;并通过对拼接误差与高程精度的影响分析,得出组合相机对高程精度的提高、增大像幅、提高作业效率等方面有明显的优越性,对多面阵数码相机的设计具有一定的指导意义。 展开更多

关键词 数码相机 多面阵组合相机 飞思IQ180 拼接误差 高程精度

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光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响 被引量：1

7

作者 丛敏 齐向东 +3 位作者 糜小涛 于海利 李晓天 卢禹先 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3027-3033,共7页

设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接... 设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路。针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问题,分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响。建立了光栅拼接误差模型,分析了五维拼接误差的容限要求。按照光栅复制拼接光路的要求,设计了一种干涉仪角度调节装置。根据误差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系。结果显示:入射光角度误差为1°,拼接光路中绕x轴,y轴的转动误差Δθx,Δθy和沿z轴的位移误差Δz的计算值与实际值之间分别相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm时,引起波前差为2.590 1nm。根据这一计算结果,给出了干涉仪角度调节装置的设计指标,即设置角度调节分度为0.1°时,可满足大尺寸光栅复制拼接要求。 展开更多

关键词 光栅拼接 光栅复制 拼接误差 误差分析

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结合块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法 被引量：2

8

作者 王洋 邵利平 陆海 《中国图象图形学报》 CSCD 北大核心 2020年第1期43-59,共17页

目的搜索式无载体信息隐藏容量低,涉及大量载体密集传输;纹理合成无载体隐藏只能生成简单质地的纹理图像;马赛克拼图信息隐藏尽管能产生有意义图像,但需修改嵌入参数。针对以上问题,提出一种结合块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法。... 目的搜索式无载体信息隐藏容量低,涉及大量载体密集传输;纹理合成无载体隐藏只能生成简单质地的纹理图像;马赛克拼图信息隐藏尽管能产生有意义图像,但需修改嵌入参数。针对以上问题,提出一种结合块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法。方法将灰度图像进行圆形化并添加随机转角构建马赛克,通过随机坐标决定秘密信息的隐藏位置;在隐藏位置,根据密钥和放置位置来放置代表秘密比特串的圆形图像和施加认证转角,对于非隐藏位置则放置最接近圆形图像来掩盖秘密信息;将放置过程产生的偏差通过误差扩散分散给周围未处理像素。在提取时,结合质心旋转匹配提取秘密比特并进行转角认证。结果采用圆形图像表达秘密信息而不涉及修改式嵌入,通过马赛克拼图产生有意义含密掩体,可通过质心旋转匹配提取秘密比特并进行转角认证。对密钥严格依赖,在遭受质量因子为5080的JPEG压缩和随机转角攻击时,秘密信息可完整恢复,在遭受强度为8%20%的椒盐噪声攻击时,提取信息的误码率低于5%,且对秘密信息的认证成功率均在80%以上。结论所提方法具有较好的抗攻击能力,可抵御信道攻击且具备较高的安全性。 展开更多

关键词 图像马赛克 无载体 生成式隐藏 质心旋转匹配 误差扩散 随机转角认证

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改进块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法 被引量：2

9

作者 赵运营 邵利平 +1 位作者 王洋 陆海 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期673-690,共18页

结合块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法通过在嵌密位置放置与待隐藏秘密信息相关的圆形图像对秘密信息进行表达,会导致生成的马赛克图像的视觉质量较差,而较差的视觉质量也容易导致隐藏的秘密信息发生泄漏.为避免该问题,提出一种改进... 结合块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法通过在嵌密位置放置与待隐藏秘密信息相关的圆形图像对秘密信息进行表达,会导致生成的马赛克图像的视觉质量较差,而较差的视觉质量也容易导致隐藏的秘密信息发生泄漏.为避免该问题,提出一种改进块旋转和马赛克拼图的生成式伪装方法.在该方法中,首先将多个灰度图像转换为圆形图像并按像素均值增序排列作为编码图像,将掩体图像直接通过误差扩散预处理转化为多级半色调图像;其次,通过随机坐标序列来决定秘密信息的隐藏位置,通过生成随机加密映射矩阵对秘密信息进行加密映射处理;最后,遍历掩体图像选取像素值对应的编码图像,对于隐藏和非隐藏位置,分别将编码图像旋转与秘密信息相关角度和随机角度,进而生成马赛克图像.在提取时,根据密钥结合质心旋转匹配策略以及区间认证策略对秘密信息进行认证以提高秘密信息认证的精度.实验表明,所提方法直接用编码圆形图像的旋转角度来表达秘密信息,在放置过程中始终选取以掩体像素值相对应的编码圆形图像来表达秘密信息,因而不会产生任何偏差,也不会导致任何视觉质量下降,具有良好的视觉质量.该方法引入了区间认证策略,具有较高的认证精度,所提方法具有较强的抗攻击鲁棒性且提取过程完全依赖于密钥,具有较高的安全性. 展开更多

关键词 马赛克拼图 误差扩散 加密映射 区间扩展 生成式隐藏

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基于标准控制场的机器视觉测量方法 被引量：1

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作者 陈海林 熊芝 +1 位作者 宋小春 夏清沛 《测控技术》 CSCD 2015年第10期150-153,156,共5页

针对常规机器视觉测量中累积误差过大的问题,提出了一种基于外加标准控制场的拼接模型,并对控制场中控制点的分布方式、公共点个数对测量精度的影响以及控制场的加工可行性等进行分析,找到了最合适的控制场设计形式。实验结果表明,基于... 针对常规机器视觉测量中累积误差过大的问题,提出了一种基于外加标准控制场的拼接模型,并对控制场中控制点的分布方式、公共点个数对测量精度的影响以及控制场的加工可行性等进行分析,找到了最合适的控制场设计形式。实验结果表明,基于外加控制场的拼接模型在汽车大梁上装配孔孔位测量中适应性很好,消除了累积误差的影响,使整体测量精度大大提高,同时还能弥补因工件自身几何特征稀少而不能进行图像拼接的不足。 展开更多

关键词 图像拼接 控制场 累积误差 误差消除

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基于相对定向的图像拼接算法 被引量：1

11

作者 赵卧龙 黄婷婷 《河南城建学院学报》 CAS 2017年第5期86-92,共7页

针对在现有多张图像拼接过程中,存在匹配误差较大、图像畸形等问题,引入摄影测量学三维相对定向方法,通过解析立体像对进行标定进而求解定向参数,进而生成模型理想像对,再利用视差均值方法对理想像对进行一维配准校准,实现了基于理想像... 针对在现有多张图像拼接过程中,存在匹配误差较大、图像畸形等问题,引入摄影测量学三维相对定向方法,通过解析立体像对进行标定进而求解定向参数,进而生成模型理想像对,再利用视差均值方法对理想像对进行一维配准校准,实现了基于理想像对模型拼接算法。经大量实验结果显示,该算法可有效地减小配准误差和图像配准的计算量,并降低三维物体在二维平面上的图像拼接难度。可见在二维图像拼接中引入该算法是有效的。 展开更多

关键词 图像拼接 相对定向 视差均值 配准误差 理想像对

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济南市1∶10000数字高程模型的生成工艺

12

作者 王鸿 田永明 《城市勘测》 2014年第5期93-95,共3页

数字高程模型(DEM)作为基础地理信息数据之一,在城市规划和管理中有着广泛的应用,本文简单介绍了利用适普软件公司的VirtuoZo软件制作济南市1∶10 000数字高程模型(DEM)的过程,并利用现有的各种地形图数据、二级导线点成果、控制测量成... 数字高程模型(DEM)作为基础地理信息数据之一,在城市规划和管理中有着广泛的应用,本文简单介绍了利用适普软件公司的VirtuoZo软件制作济南市1∶10 000数字高程模型(DEM)的过程,并利用现有的各种地形图数据、二级导线点成果、控制测量成果对其精度进行分析,检测结果表明其精度满足国家相关规范要求,可为其他测绘单位生产数字高程模型(DEM)提供参考。 展开更多

关键词 数字高程模型(DEM) VIRTUOZO DEM镶嵌 中误差

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采用PCNN对马赛克进行检测

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作者 陆旭 丁洪伟 +2 位作者 程海杰 王涌 郭嘉 《实验科学与技术》 2015年第2期219-221,共3页

质量监管技术作为交互式网络电视、手机电视监管技术的一个重要部分,在一定程度上决定着人们观看视频的质量。质量监管是从业务质量的层面对传输质量、质量内容和用户体验质量等进行监管。文中针对节目内容监管中的马赛克检测做相应的... 质量监管技术作为交互式网络电视、手机电视监管技术的一个重要部分,在一定程度上决定着人们观看视频的质量。质量监管是从业务质量的层面对传输质量、质量内容和用户体验质量等进行监管。文中针对节目内容监管中的马赛克检测做相应的研究。考虑到马赛克的错误区域和其邻域存在不光滑的界面,故马赛克的检测采用脉冲耦合神经网络的灰度图像边缘检测进行。仿真的结果表明,提取出的图像有很清晰的矩形框或方格状,与其他部位明显不同。 展开更多

关键词 马赛克检测 脉冲耦合神经网络 误码 边缘提取

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一种相机标定参数的柱面全景影像拼接方法 被引量：14

14

作者 王冬 刘凤英 +1 位作者 陈天恩 张少鹏 《测绘科学》 CSCD 北大核心 2016年第7期150-154,143,共6页

针对全景影像拼接方法存在批量快速拼接困难、匹配精度低、匹配成功率不高等问题,该文提出一种多拼柱面全景相机影像的严密拼接方法。首先对全景相机进行标定,获取每台相机的内参数和单相机之间的相对外方位元素;再根据摄影距离以及摄... 针对全景影像拼接方法存在批量快速拼接困难、匹配精度低、匹配成功率不高等问题,该文提出一种多拼柱面全景相机影像的严密拼接方法。首先对全景相机进行标定,获取每台相机的内参数和单相机之间的相对外方位元素;再根据摄影距离以及摄影中心、像点与物点三点共线的原则,求出每张影像中像点对应的物方点的坐标;最后根据虚拟摄影中心、物点和虚拟像点三点共线的原则,得出像点在柱面上对应的虚拟像点坐标,经过角度归算和影像间的融合处理,获取柱面全景影像。实验表明,多拼全景相机影像拼接方法达到了严密、快速的拼接效果,可方便实现全景影像和单相机影像之间的坐标变换,为后续全景影像的浏览、量测、真彩激光点云的生成和实景测量等应用提供了一种影像拼接方法。 展开更多

关键词 移动测量 全景相机 柱面投影 严密拼接 虚拟影像误差

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无人机影像的快速拼接及其误差 被引量：6

15

作者 刘庆元 刘有 +1 位作者 邹磊 易柳城 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期889-894,共6页

利用经过差分的DGPS数据和IMU(Inertial measurement unit)获取的外方位元素,经过影像匹配产生的同名点,获得同名点地理坐标,使各个模型在此基础上连接起来。经过影像重采样用地理坐标代替像素坐标,使拼接后的影像具有拍摄时的地理坐标... 利用经过差分的DGPS数据和IMU(Inertial measurement unit)获取的外方位元素,经过影像匹配产生的同名点,获得同名点地理坐标,使各个模型在此基础上连接起来。经过影像重采样用地理坐标代替像素坐标,使拼接后的影像具有拍摄时的地理坐标。实验结果表明:平坦地区投影差较小,可以不进行投影误差改正,直接利用左右影像同名像点进行影像拼接;丘陵山区因为投影误差的影响,影像拼接的误差累积较快,此时应采用分带拼接,避免误差积累。拼接后的影像坐标与拼接精度达到了1-2.5万比例尺影像图的精度。 展开更多

关键词 UAV影像拼接 坐标转换 影像拼接误差

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一种近实时的无人机视频流拼接方法 被引量：6

16

作者 郑晖 姜城 +3 位作者 孙敏 黎晓东 任翔 刘磊 《地理与地理信息科学》 CSCD 北大核心 2015年第5期1-5,共5页

为了解决无人机视频流的快速拼接问题,提出一种近实时的视频流拼接方法。该方法校正了倾斜拍摄带来的变形,改进了ORB算法特征提取和构建描述子的策略,提高了特征点的稳定性和描述子的判别性,在保证较高匹配率和足够匹配点对的同时提高... 为了解决无人机视频流的快速拼接问题,提出一种近实时的视频流拼接方法。该方法校正了倾斜拍摄带来的变形,改进了ORB算法特征提取和构建描述子的策略,提高了特征点的稳定性和描述子的判别性,在保证较高匹配率和足够匹配点对的同时提高了帧间变换模型的精度;最后为降低拼接误差,根据GPS数据和给定重叠度构建平衡二叉树,选取离二叉树节点最近的图像作为参考投影面完成拼接。实验结果表明:该方法减少了级联误差累积带来的影响,提高了拼接影像的质量,可用于无人机视频流的近实时拼接。 展开更多

关键词 无人机 视频流拼接 倾斜拍摄 几何校正 级联误差

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一种测量亚像元CCD拼接误差的方法 被引量：3

17

作者 汶德胜 王虎 乔卫东 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第1期40-42,共3页

　提出一种利用高倍率显微计算机系统(由工具显微镜、CCD摄像头、配有图像采集卡的计算机及相关软件等组成)测量亚像元CCD拼接误差的方法。建立了测量模型,并对实测结果进行了统计分析处理。

关键词 亚像元CCD 拼接 精密测量 误差 电荷耦合器件

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全景图像镶嵌中累积误差的分析与减少方法研究 被引量：2

18

作者 吴琼 李良福 +1 位作者 汪之涛 肖樟树 《计算机工程与科学》 CSCD 北大核心 2016年第11期2268-2274,共7页

针对全景图像镶嵌中累积误差的问题,提出了一种基于多次柱面投影的变换基准图策略。首先,为了将累积误差有效地分散到各相邻图像之间,并减少柱面投影变换的计算量,算法利用相位相关和多分辨率分解法对柱面投影算法进行了改进;然后,利用... 针对全景图像镶嵌中累积误差的问题,提出了一种基于多次柱面投影的变换基准图策略。首先,为了将累积误差有效地分散到各相邻图像之间,并减少柱面投影变换的计算量,算法利用相位相关和多分辨率分解法对柱面投影算法进行了改进;然后,利用改进变换基准图的分层匹配策略对图像序列进行镶嵌,避免了误差的单向累积;最后,运用拉普拉斯算子对镶嵌图像分级融合,消除了镶嵌缝隙。实验结果表明,该方法可以大大减弱镶嵌过程中累积误差的影响,提高图像的镶嵌精度。 展开更多

关键词 改进柱面投影 全景图像镶嵌 累积误差 分散误差

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局部坐标系的嫦娥二号月面影像自动拼接方法 被引量：2

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作者 杨阿华 李学军 +1 位作者 谢剑薇 刘涛 《测绘学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期52-59,共8页

针对嫦娥二号影像分辨率高、数据量大的特点,提出一种的投影坐标系——局部坐标系。该坐标系建立过程简单,便于数据管理,投影后的影像变形极小。通过转换可将单轨的DOM和DEM进行分解,并生成各局部坐标系对应的分块DOM和DEM。创建了分块... 针对嫦娥二号影像分辨率高、数据量大的特点,提出一种的投影坐标系——局部坐标系。该坐标系建立过程简单,便于数据管理,投影后的影像变形极小。通过转换可将单轨的DOM和DEM进行分解,并生成各局部坐标系对应的分块DOM和DEM。创建了分块数据后,基于重叠影像同名像点,以有理多项式作为校正模型,采用一种全局优化方法来校正重叠影像坐标偏差,使校正后各影像能够很好地配准。校正只在影像子网内进行,各子网间互不影响,有效地控制了误差的传递。试验结果表明,该拼接方法可在微机上有效地对海量月表影像进行拼接处理,并达到很好的拼接效果,最终生成全景三维月球图。 展开更多

关键词 嫦娥二号 局部坐标系 配准 拼接 全局优化 误差传递控制

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阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术

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作者 王瑞 韩建 +5 位作者 肖东 叶慧琪 唐靓 郝俊 翟洋 郝志博 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第18期111-119,共9页

共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响... 共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响,并基于干涉测量原理,提出了一种基于迈克耳孙干涉系统,利用白光和双波长测量技术相结合的光栅拼接位移误差检测调整方法。通过对比不同调整量下干涉条纹位移变化的模拟计算结果与纳米位移平台实验结果,分析了傅里叶分析算法的计算精度,进而实现了位移误差的精确调整。实验计算结果表明,白光双波长测量技术实现的拼接光栅位移误差Δz小于6 nm,可满足大尺寸拼接光栅的共相检测要求。 展开更多

关键词 测量 拼接光栅 共相调整 纵向位移误差 调整精度

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