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微结构器件宏模型的建模方法 被引量：1
1
作者 章绍东 林谢昭 《机电工程》 CAS 2007年第1期71-73,共3页
主要描述了微机械器件宏模型的构建问题。以微悬臂梁为例子,阐述了等效电路法、节点分析法、S—空间矩匹配方法、模态—Galerkin方法构建微机械宏模型的研究概况以及各个宏建模方法的优、缺点。
关键词 宏模型 等效电路 节点分析法 矩匹配 galerkin方法
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