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用拼接法获取大面积衍射光栅 被引量：23
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作者 赵博 郝德阜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第5期503-507,共5页
近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件 ,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标 ,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史 ,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状 ,说明了拼接光栅... 近年来大面积衍射光栅已成为许多大型高技术工程项目的关键元件 ,它的获取方法也一直是光栅界探求的目标 ,本文简要回顾衍射光栅研制技术的发展历史 ,介绍了衍射光栅的发展趋势以及国内外研制大面积衍射光栅的技术现状 ,说明了拼接光栅的原理、方法以及利用这种方法来获取大面积衍射光栅的诸多优点。目前拼接光栅中各小光栅的衍射波阵面的位相还没有做到完全一致 ,要做到一致还需做很多工作 ,但用拼接手段来获取大面积光栅已是一种非常有效的方法。 展开更多
关键词 衍射光栅 拼接光栅 大面积衍射光栅
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