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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
被引量：
9
1
作者
马炳和
赵建国
+1 位作者
邓进军
苑伟政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1971-1977,共7页
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从...
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。
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关键词
镍
柔性热膜传感器阵列
电阻温度系数
微加工
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职称材料
皮肤成纤维细胞制备微构组织的聚团过程及数值模拟
2
作者
梅洋
汤强
+1 位作者
周燕
谭文松
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期702-709,共8页
微构组织的聚团尺寸影响其内部的细胞活性及体外构建大型工程化组织。采用转瓶系统,考察了皮肤成纤维细胞(human fibroblast,HF)接种密度、微载体浓度和添加抗坏血酸磷酸酯盐(L-ascorbic acid 2-phosphate,简称Vc)对微构组织形成及聚团...
微构组织的聚团尺寸影响其内部的细胞活性及体外构建大型工程化组织。采用转瓶系统,考察了皮肤成纤维细胞(human fibroblast,HF)接种密度、微载体浓度和添加抗坏血酸磷酸酯盐(L-ascorbic acid 2-phosphate,简称Vc)对微构组织形成及聚团尺寸的影响,并建立了微构组织聚团的数学模型。结果表明,微构组织的聚团过程可分为迟滞期、突跃期和稳定期,随着细胞接种密度、微载体浓度提高以及Vc的添加,微构组织的平均聚团尺寸增大,建立的数学模型能够模拟不同操作条件下微构组织形成的过程和聚团尺寸,模拟结果与实测值基本相符,为进一步调控微构组织聚团和大型工程化组织制备奠定基础。
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关键词
组织工程
微构组织
聚团
数学模型
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职称材料
题名
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
被引量：
9
1
作者
马炳和
赵建国
邓进军
苑伟政
机构
西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期1971-1977,共7页
基金
国家自然科学基金航空飞行器重大研究计划项目(No.90305017)
航空科学基金项目(No.04I53074)
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z347)
文摘
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。
关键词
镍
柔性热膜传感器阵列
电阻温度系数
微加工
Keywords
nickel
flexible hot film sensor array
temperature coefficient of resistance
mierofabrication
分类号
TP212.11 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
皮肤成纤维细胞制备微构组织的聚团过程及数值模拟
2
作者
梅洋
汤强
周燕
谭文松
机构
华东理工大学生物反应器工程国家重点实验室
出处
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期702-709,共8页
基金
国家自然科学基金项目(20576036
20776044)~~
文摘
微构组织的聚团尺寸影响其内部的细胞活性及体外构建大型工程化组织。采用转瓶系统,考察了皮肤成纤维细胞(human fibroblast,HF)接种密度、微载体浓度和添加抗坏血酸磷酸酯盐(L-ascorbic acid 2-phosphate,简称Vc)对微构组织形成及聚团尺寸的影响,并建立了微构组织聚团的数学模型。结果表明,微构组织的聚团过程可分为迟滞期、突跃期和稳定期,随着细胞接种密度、微载体浓度提高以及Vc的添加,微构组织的平均聚团尺寸增大,建立的数学模型能够模拟不同操作条件下微构组织形成的过程和聚团尺寸,模拟结果与实测值基本相符,为进一步调控微构组织聚团和大型工程化组织制备奠定基础。
关键词
组织工程
微构组织
聚团
数学模型
Keywords
tissue engineering
mierofabr
icated tissue
aggregation
mathematical model
分类号
Q81 [生物学—生物工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化
马炳和
赵建国
邓进军
苑伟政
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
9
下载PDF
职称材料
2
皮肤成纤维细胞制备微构组织的聚团过程及数值模拟
梅洋
汤强
周燕
谭文松
《化工学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
已选择
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