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磁控溅射制备Ag/TiO_2复合薄膜的光催化降解性能 被引量：8
1
作者 侯亚奇 庄大明 +1 位作者 张弓 吴敏生 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期589-592,608,共5页
为了提高TiO2薄膜的光催化效率,利用中频交流磁控溅射技术,采用Ti和Ag金属靶制备了Ag/TiO2复合薄膜。利用X射线光电子能谱、X射线衍射和扫描电子显微镜分析了复合薄膜的成分、结构和表面形貌,并研究了其光催化降解性能。结果发现:Ag在... 为了提高TiO2薄膜的光催化效率,利用中频交流磁控溅射技术,采用Ti和Ag金属靶制备了Ag/TiO2复合薄膜。利用X射线光电子能谱、X射线衍射和扫描电子显微镜分析了复合薄膜的成分、结构和表面形貌,并研究了其光催化降解性能。结果发现:Ag在厚度较薄时以聚集颗粒形式存在;在Ag膜厚度为15nm时,Ag/TiO2复合薄膜与TiO2薄膜相比其光催化效率可提高2倍;Ag/TiO2复合薄膜对亚甲基蓝的光催化降解效率与复合薄膜的透射率均随Ag膜厚度增加逐渐下降,其原因是Ag膜厚度不断增加,最终完全覆盖TiO2薄膜表面,阻挡了TiO2薄膜与污染物的有效接触,Ag作为光生电子捕获剂的有利影响消失。 展开更多
关键词 Ag/TiO2复合薄膜 光催化降解 中频交流磁控溅射 亚甲基蓝 X射线衍射
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退火温度对TiO_2薄膜光学性能的影响 被引量：1
2
作者 侯亚奇 庄大明 +2 位作者 张弓 赵明 吴敏生 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1441-1443,共3页
为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响。利用分光光度计测得石英玻璃基体TiO2薄膜试样的透射谱和反射谱,用包络线法和经验公式法计算出薄膜的光学常数。结果表明:T... 为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响。利用分光光度计测得石英玻璃基体TiO2薄膜试样的透射谱和反射谱,用包络线法和经验公式法计算出薄膜的光学常数。结果表明:TiO2薄膜的折射率随退火温度的上升而增加,低温退火时薄膜消光系数略有减小,500℃退火时TiO2薄膜具有最优的光学性能。 展开更多
关键词 退火温度 二氧化钛薄膜 光学性能 中频交流磁控溅射 薄膜光学
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中频交流反应溅射TiO_2薄膜制备及光催化性能研究 被引量：1
3
作者 侯亚奇 张弓 +1 位作者 庄大明 吴敏生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1073-1079,共7页
利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜,利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌,并利用多种降解对象研究了TiO2薄膜的光催化降解性能.结果发现:利用Ar/O2混合气体反应溅射纯Ti靶制备的TiO2薄膜符合化学计量... 利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜,利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌,并利用多种降解对象研究了TiO2薄膜的光催化降解性能.结果发现:利用Ar/O2混合气体反应溅射纯Ti靶制备的TiO2薄膜符合化学计量比,呈现柱状生长.TiO2薄膜均为锐钛矿相,晶粒随薄膜厚度增加逐渐长大.制得的TiO2薄膜对亚甲基蓝、甲基橙和敌敌畏都具有确实的光催化降解效果,同时具有很好的光催化性能稳定性. 展开更多
关键词 TIO2薄膜 中频交流磁控溅射 光催化降解 亚甲基蓝 甲基橙
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