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碳纳米管/金刚石复合材料的场发射特性 被引量:5
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作者 董建会 单云 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期595-598,共4页
采用微波烧结方法制备了碳纳米管/金刚石复合材料。将碳纳米管和纳米金刚石粉末混合后研磨压片,然后在微波等离子气相沉积系统中采用微波烧结。利用扫描电镜对复合材料的表面形貌和微观结构进行了分析,结果显示碳纳米管比较均匀地分散... 采用微波烧结方法制备了碳纳米管/金刚石复合材料。将碳纳米管和纳米金刚石粉末混合后研磨压片,然后在微波等离子气相沉积系统中采用微波烧结。利用扫描电镜对复合材料的表面形貌和微观结构进行了分析,结果显示碳纳米管比较均匀地分散于复合材料中,并在表面形成了发射微尖。利用二极管结构在动态真空室中对复合材料的场发射特性进行了研究,复合材料有较好的场发射特性,电流密度接近15mA/cm^2。 展开更多
关键词 碳纳米管 金刚石 复合材料 微波烧结 场发射
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应用于微波场的温度测量方法的研究进展 被引量:4
2
作者 周萌 毛岩鹏 +3 位作者 王文龙 宋占龙 赵希强 高一博 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2022年第11期221-235,共15页
在微波加热过程中,由于温度的准确性会直接影响到化学反应速率与制备样品的性能,所以微波场中温度的准确测量具有十分重要的意义。综述了微波场中传统的温度测量方法包括热电偶测温、光纤测温和红外测温方式在微波场中应用时的局限性。... 在微波加热过程中,由于温度的准确性会直接影响到化学反应速率与制备样品的性能,所以微波场中温度的准确测量具有十分重要的意义。综述了微波场中传统的温度测量方法包括热电偶测温、光纤测温和红外测温方式在微波场中应用时的局限性。鉴于传统测温手段的局限性,一种新型的温度测量方式-有机金属框架材料(MOFs)温度计因具有高度的可调性以及纳米级的MOFs颗粒能够实现微米级甚至亚微米级的温度测量而受到了广泛的关注,对近年来双发射MOFs温度计以及膜式温度计的研究成果进行了分析,并综述了优化MOFs温度计的方法,讨论了微波场测温技术未来的发展方向。 展开更多
关键词 微波场 温度测量 荧光 双发射MOFs
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真空微电子微波管 被引量:2
3
作者 庄学曾 《真空电子技术》 北大核心 1996年第2期9-12,共4页
本文在扼要地提及真空微电子学的主要进展(如:场发射阵列,场发射显示器和微波毫米波器件等)后,主要叙述了发展真空微电子微波管的主要内容、问题及其意义。场发射阵列的三个重要特点(冷阴极、高发射能力和栅极控制)可用于发展新... 本文在扼要地提及真空微电子学的主要进展(如:场发射阵列,场发射显示器和微波毫米波器件等)后,主要叙述了发展真空微电子微波管的主要内容、问题及其意义。场发射阵列的三个重要特点(冷阴极、高发射能力和栅极控制)可用于发展新一代的高频率、高效率、高功率、超小型和长寿命的面向21世纪的高性能微波管:真空微电子微波管。双栅极场发射阵列、电子流的形成与维持、与其相匹配的互作用电路、特殊的器件结构和相关的制管工艺技术等,是发展真空微电子微波管的主要课题。 展开更多
关键词 真空微电子学 微波管 毫米波管 真空电子器件
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Synthesis,field emission and microwave absorption of carbon nanotubes filled with ferromagnetic nanowires 被引量:3
4
作者 LV RuiTao1,KANG FeiYu1,GU JiaLin1,WANG KunLin2 & WU DeHai2 1 Laboratory of Advanced Materials,Department of Materials Science and Engineering,Tsinghua University,Beijing 100084,China 2 Department of Mechanical Engineering,Tsinghua University,Beijing 100084,China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2010年第6期1453-1459,共7页
Carbon nanotubes filled with ferromagnetic metal nanowires (M-CNTs) were synthesized by using chlorine-contained benzene (e.g.trichlorobenzene) as precursor.The wall thicknesses of M-CNTs synthesized by trichlorobenze... Carbon nanotubes filled with ferromagnetic metal nanowires (M-CNTs) were synthesized by using chlorine-contained benzene (e.g.trichlorobenzene) as precursor.The wall thicknesses of M-CNTs synthesized by trichlorobenzene are much thinner than those by precursor without Cl (e.g.benzene).As-synthesized thin-walled M-CNTs exhibit remarkably enhanced field electron emission performance with a low turn-on field of 0.3 V/μm and better field-emission stability.Microwave-absorption coatings were made by dispersing as-synthesized M-CNTs into epoxy resin matrix.It is found that the reflection losses in S-band (2-4 GHz),C-band (4-8 GHz) and X-band (8-12 GHz) are enhanced in the order of FeCoNi-CNTs 【 FeNi-CNTs【 FeCo-CNTs.The areal density of as-prepared coatings is only 2.35 kg/m2 when the coating thickness is 2.0 mm.This demonstrates that M-CNTs are promising to be used as lightweight and wide-band microwave absorbers. 展开更多
关键词 carbon NANOTUBES FERROMAGNETIC NANOWIRES field emission microwave absorption
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Enhanced field emission characteristics of thin-Au-coated nano-sheet carbon films 被引量:2
5
作者 顾广瑞 伊藤利道 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第10期4547-4551,共5页
This paper reports that the nano-sheet carbon films (NSCFs) were fabricated on Si wafer chips with hydrogen- methane gas mixture by means of quartz-tube-type microwave plasma chemical vapour deposition (MWPCVD). I... This paper reports that the nano-sheet carbon films (NSCFs) were fabricated on Si wafer chips with hydrogen- methane gas mixture by means of quartz-tube-type microwave plasma chemical vapour deposition (MWPCVD). In order to further improve the field emission (FE) characteristics, a 5-nm Au film was prepared on the samples by using electron beam evaporation. The FE properties were obviously improved due to depositing Au thin film on NSCFs. The FE current density at a macroscopic electric field, E, of 9 V/μm was increased from 12.4 mA/cm2 to 27.2 mA/cm2 and the threshold field was decreased from 2.6 V/μm to 2.0 V/μm for Au-coated carbon films. A modified F-N model considering statistic effects of FE tip structures in the low E region and a space-chavge-limited-current effect in the high E region were applied successfully to explain the FE data of the Au-coated NSCF. 展开更多
关键词 nano-sheet carbon films field emission microwave plasma chemical vapour deposition space-charge-limited-current
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Electron field emission characteristics of nano-catkin carbon films deposited by electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapour deposition 被引量:2
6
作者 顾广瑞 吴宝嘉 +1 位作者 金哲 Ito Toshimichi 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第2期716-720,共5页
This paper reported that the nano-catkin carbon films were prepared on Si substrates by means of electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapour deposition in a hydrogen and methane mixture. The surface ... This paper reported that the nano-catkin carbon films were prepared on Si substrates by means of electron cyclotron resonance microwave plasma chemical vapour deposition in a hydrogen and methane mixture. The surface morphology and the structure of the fabricated films were characterized by using scanning electron microscopes and Raman spectroscopy, respectively. The stable field emission properties with a low threshold field of 5V/μm corresponding to a current density of about 1μA/cm^2 and a current density of 3.2mA/cm^2 at an electric field of 10V/μm were obtained from the carbon film deposited at CH4 concentration of 8%. The mechanism that the threshold field decreased with the increase of the CH4 concentration and the high emission current appeared at the high CH4 concentration was explained by using the Fowler-Nordheim theory. 展开更多
关键词 field emission carbon films nano-catkin microwave plasma chemical vapour deposition
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气体流动方式对MPCVD金刚石薄膜均匀性的影响 被引量:3
7
作者 王斌 汪建华 +3 位作者 翁俊 刘繁 王振湉 王蒙 《真空与低温》 2020年第2期108-113,共6页
在实验室自主研制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置上,通过改变气体的进出方式,探讨了气体流动方式对金刚石膜均匀性和质量的影响。结果表明:随着Si基片表面气体分子数增多,等离子体中的H原子和CH活性基团强度增强,扩散到基片表面... 在实验室自主研制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置上,通过改变气体的进出方式,探讨了气体流动方式对金刚石膜均匀性和质量的影响。结果表明:随着Si基片表面气体分子数增多,等离子体中的H原子和CH活性基团强度增强,扩散到基片表面中心的原子H和含碳活性基团增多,基片中心区域的金刚石膜生长速率略微有所提升,由原来的2.5μm/h提高到2.8μm/h,沉积得到的金刚石膜质量和均匀性均得到改善。 展开更多
关键词 微波等离子体 气体流场 等离子体发射光谱 金刚石薄膜
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场致发射阵列阴极电子枪的设计及模拟研究 被引量:3
8
作者 李兴辉 冯进军 +1 位作者 王劲松 廖复疆 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第1期55-58,共4页
讨论了微波管用电子枪的一般参数和要求 ,对于在微波管中应用场发射阵列阴极电子枪的情况作了分析 ,表明其中存在的主要问题是电子注散焦。通过比较场发射电子注聚焦的几种方法 ,利用传统电子枪整体聚焦的思想 ,初步设计了一个场发射阵... 讨论了微波管用电子枪的一般参数和要求 ,对于在微波管中应用场发射阵列阴极电子枪的情况作了分析 ,表明其中存在的主要问题是电子注散焦。通过比较场发射电子注聚焦的几种方法 ,利用传统电子枪整体聚焦的思想 ,初步设计了一个场发射阵列阴极电子枪模型 ,它包括场致发射阵列阴极 ,一个Whelnelt电极 ,一个聚焦电极和一个阳极。通过利用Mafia软件对电子注轨迹的模拟计算 ,对电子枪的聚焦部分进行了改进。 展开更多
关键词 微波管 场致发射阵列阴极 电子枪 设计 模拟 电子注 聚焦结构
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掺氮纳米金刚石薄膜的微观结构对微波场发射性能影响 被引量:2
9
作者 许立 熊鹰 +3 位作者 王兵 韩汶洪 刘兴龙 方利平 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1015-1020,共6页
采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,通过改变CH_4浓度,在单晶Si(100)基底上制备掺氮纳米金刚石(NCD)薄膜,并以所制备的掺氮NCD薄膜为阴极材料,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力扫描探针显微镜(AFM)、Raman光谱和S波段射... 采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)方法,通过改变CH_4浓度,在单晶Si(100)基底上制备掺氮纳米金刚石(NCD)薄膜,并以所制备的掺氮NCD薄膜为阴极材料,通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力扫描探针显微镜(AFM)、Raman光谱和S波段射频电子枪等测试方法系统地研究了掺氮NCD薄膜的微观结构对微波场发射性能的影响。结果表明:在CH_4浓度(体积比)为4%下,制备的掺氮NCD薄膜的颗粒呈多面体,而且颗粒尺寸和表面粗糙度较大,薄膜中金刚石相含量较高,这些微观结构使得微波场发射性能较高,在电场强度(E_0)为67.7 V·μm^(-1)时,发射电流密度(J0)高达144.8 m A·cm^(-2)。当升高CH_4浓度,所制备的掺氮NCD薄膜的颗粒尺寸减小而且连成条状结构,表面粗糙度也逐渐降低,薄膜中金刚石相减少、非金刚石相增加,这些微观结构的改变使得微波场发射性能逐渐降低。如当CH_4浓度增加至6%时,在电场强度E_0=67.7 V·μm^(-1)时,场发射电流密度降至37.9 m A·cm^(-2)。结果表明:低CH_4浓度下,掺氮NCD薄膜所具有的微观结构有利于微波场发射。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 CH4浓度 掺氮纳米金刚石薄膜 微观结构 微波场发射
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Field emission characteristics of nano-sheet carbon films deposited by quartz-tube microwave plasma chemical vapour deposition 被引量:1
10
作者 顾广瑞 金哲 Ito Toshimichi 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第4期1467-1471,共5页
Nano-sheet carbon films are prepared on Si wafers by means of quartz-tube microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD) in a gas mixture of hydrogen and methane. The structure of the fabricated films is invest... Nano-sheet carbon films are prepared on Si wafers by means of quartz-tube microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD) in a gas mixture of hydrogen and methane. The structure of the fabricated films is investigated by using field emission scanning electron microscope (FESEM) and Raman spectroscopy. These nano^carbon films are possessed of good field emission (FE) characteristics with a low threshold field of 2.6 V/μm and a high current density of 12.6 mA/cm^2 at an electric field of 9 V/μm. As the FE currents tend to be saturated in a high E region, no simple Fowler-Nordheim (F-N) model is applicable. A modified F N model considering statistic effects of FE tip structures and a space-charge-limited-current (SCLC) effect is applied successfully to explaining the FE data observed at low and high electric fields, respectively. 展开更多
关键词 field emission carbon films nano-sheet microwave plasma chemical vapour deposition
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微波强场中的光谱激发现象 被引量:2
11
作者 曾凡光 刘钟栋 富笑男 《光谱实验室》 CAS CSCD 1999年第2期123-125,共3页
本文报道了元素、化合物和放电灯在微波强场中产生的激发现象。介绍了一种在微波强场中产生原子发射光谱的新方法。采用作者自行改制的微波激发装置,既可使固态的元素和化合物产生光谱辐射,也可使各种放电灯和气体光谱管得以激发,用... 本文报道了元素、化合物和放电灯在微波强场中产生的激发现象。介绍了一种在微波强场中产生原子发射光谱的新方法。采用作者自行改制的微波激发装置,既可使固态的元素和化合物产生光谱辐射,也可使各种放电灯和气体光谱管得以激发,用一种装置实现了几种装置的功能。对于该方法存在的问题,文中也作了一定的说明。 展开更多
关键词 微波 强场激发 原子发射光谱 激发装置
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高功率微波源中强场击穿机理探讨 被引量:2
12
作者 宋志敏 孙钧 +1 位作者 曹亦兵 张余川 《现代应用物理》 2016年第1期24-28,共5页
为了研究高功率微波源中强场击穿的"阴极"和"阳极"效应,基于无箔二极管,设计了相应的实验方案。实验中,在金属表面最大电场强度约为1.2 MV·cm^(-1)、导引磁场约为2.5T的条件下,通过对上百次脉冲实验后,"... 为了研究高功率微波源中强场击穿的"阴极"和"阳极"效应,基于无箔二极管,设计了相应的实验方案。实验中,在金属表面最大电场强度约为1.2 MV·cm^(-1)、导引磁场约为2.5T的条件下,通过对上百次脉冲实验后,"阴极"和"阳极"表面形貌的对比分析,发现对于数十纳秒的短脉冲而言,场致爆炸电子发射不会引起明显的结构损伤,在强外加引导磁场约束下,强场致发射电子轰击金属结构表面的"阳极效应"是引起结构破坏的直接原因。 展开更多
关键词 高功率微波 强场击穿 爆炸发射 阳极效应
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Spontaneous emission from a microwave-driven four-level atom in an anisotropic photonic crystal
13
作者 姜丽 万仁刚 姚治海 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第10期164-171,共8页
The spontaneous emission from a microwave-driven four-level atom embedded in an anisotropic photonic crystal is studied. Due to the modified density of state(DOS) in the anisotropic photonic band gap(PBG) and the cohe... The spontaneous emission from a microwave-driven four-level atom embedded in an anisotropic photonic crystal is studied. Due to the modified density of state(DOS) in the anisotropic photonic band gap(PBG) and the coherent control induced by the coupling fields, spontaneous emission can be significantly enhanced when the position of the spontaneous emission peak gets close to the band gap edge. As a result of the closed-loop interaction between the fields and the atom,the spontaneous emission depends on the dynamically induced Autler–Townes splitting and its position relative to the PBG.Interesting phenomena, such as spectral-line suppression, enhancement and narrowing, and fluorescence quenching, appear in the spontaneous emission spectra, which are modulated by amplitudes and phases of the coherently driven fields and the effect of PBG. This theoretical study can provide us with more efficient methods to manipulate the atomic spontaneous emission. 展开更多
关键词 anisotropic photonic crystal spontaneous emission microwave field quantum coherence
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固态微波毫米波、太赫兹器件与电路的新进展 被引量:11
14
作者 赵正平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期897-904,共8页
固态微波毫米波、太赫兹器件与电路是微电子、纳电子领域的战略制高点之一,SiCMOS技术进入纳米加工时代,GaAs,InP材料的"能带工程"(超晶格、异质结),GaN材料的宽禁带和界面特性以及石墨烯纳米级新材料的创新发展都深刻影响着... 固态微波毫米波、太赫兹器件与电路是微电子、纳电子领域的战略制高点之一,SiCMOS技术进入纳米加工时代,GaAs,InP材料的"能带工程"(超晶格、异质结),GaN材料的宽禁带和界面特性以及石墨烯纳米级新材料的创新发展都深刻影响着固态微波毫米波、太赫兹器件与电路的进展。描述了固态微波、毫米波和太赫兹器件与电路当前发展的新亮点,包括纳米加工技术、石墨烯新材料、GaN MMIC功率合成突破3 mm频段百瓦级、三端器件进入太赫兹和两端器件倍频链突破2.7 THz微瓦功率。并重点就当前发展的RF CMOS,SiGe HBT,LDMOS,GaAsPHEMT,GaAs MHEMT,InP HEMT,InP HBT,GaN HEMT,GFET和THz倍频链等10个领域的发展特点、2011年最新发展以及未来发展趋势进行介绍。 展开更多
关键词 固态微波 毫米波 太赫兹 RF CMOS 高电子迁移率晶体管 栅控式场发射三 极管
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类球状微米金刚石聚晶膜场发射的稳定性 被引量:10
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作者 高金海 张武勤 张兵临 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期872-876,共5页
在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶膜。通过二极管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、XRD分析了场发射前后薄膜的结构和表面形貌的变化。发现... 在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶膜。通过二极管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、XRD分析了场发射前后薄膜的结构和表面形貌的变化。发现在高场、大电流密度的场发射中,对类球状微米金刚石聚晶薄膜中的金刚石聚晶颗粒影响很小,而对金刚石聚晶颗粒间的非晶碳层影响很大。对类球状微米金刚石聚晶变化机理进行了研究。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 场致电子发射 金刚石聚晶
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碳纤维复合石墨阴极的制备及电子发射性能
16
作者 方东 华叶 +2 位作者 王震 龚瑾瑜 万红 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期149-154,共6页
阴极作为强流电子束的起点,对高功率微波源的性能具有重要影响。石墨是高功率源用爆炸发射阴极的常用材料,具有高压重频条件下运行稳定和长寿命的优点。使用具有高长径比、低发射阈值的碳纤维对石墨阴极进行复合,采用场发射及高功率微... 阴极作为强流电子束的起点,对高功率微波源的性能具有重要影响。石墨是高功率源用爆炸发射阴极的常用材料,具有高压重频条件下运行稳定和长寿命的优点。使用具有高长径比、低发射阈值的碳纤维对石墨阴极进行复合,采用场发射及高功率微波测试平台,对比分析纯石墨阴极及碳纤维复合石墨阴极的场发射性能、强流电子发射性能及输出微波特性,结合阴极的微观结构表征,研究碳纤维复合对石墨阴极电子发射性能的影响规律。研究表明:与鳞片石墨阴极相比,40%(质量分数)碳纤维复合石墨阴极的场发射阈值电场由143 kV/cm降低到119 kV/cm,降低了约16.8%,二极管电压为480 kV时输出的微波脉宽与峰值分别提高了13.5%,5.7%。同时考虑到碳纤维在爆炸电子发射过程中结构稳定性的特点,碳纤维的复合也有利于阴极使用寿命的提高。 展开更多
关键词 高功率微波源 石墨阴极 碳纤维复合 场发射
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Simple method to rapidly fabricate chain-like carbon nanotube films and its field emission properties 被引量:2
17
作者 Zhi-yuan Wu Shuang-qi Hu Zhi-qian Wang 《International Journal of Minerals,Metallurgy and Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第3期371-375,共5页
A simple process to fabricate chain-like carbon nanotube (CNT) films by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) was developed successfully. Prior to deposition, the Ti/Al2O3 substrates were gro... A simple process to fabricate chain-like carbon nanotube (CNT) films by microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) was developed successfully. Prior to deposition, the Ti/Al2O3 substrates were ground with Fe-doped SiO2 powder. The nano-structure of the deposited films was analyzed by scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM), and Raman spectroscopy. The field electron emission characteristics of the chain-like carbon nanotube films were measured under the vacuum of 10-5 Pa. The low turn-on field of 0.80 V/μm and the emission current density of 8.5 mA/cm2 at the electric field of 3.0 V/μm are obtained. Based on the above results, chain-like carbon nanotube films probably have important applications in cold cathode materials and electrode materials. 展开更多
关键词 carbon nanotube (CNT) CHAIN-LIKE film microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition (MPCVD) field emission
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Growth behavior of CVD diamond films with enhanced electron field emission properties over a wide range of experimental parameters 被引量:1
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作者 Xinyi Jia Nan Huang +7 位作者 Yuning Guo Lusheng Liu Peng Li Zhaofeng Zhai Bing Yang Ziyao Yuan Dan Shi Xin Jiang 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第12期2398-2406,共9页
In this study, diamond films were synthesized on silicon substrates by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition(CVD) over a wide range of experimental parameters. The effects of the microwave power,CH;/H;... In this study, diamond films were synthesized on silicon substrates by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition(CVD) over a wide range of experimental parameters. The effects of the microwave power,CH;/H;ratio and gas pressure on the morphology, growth rate, composition, and quality of diamond films were investigated by means of scanning electron microscope(SEM), X-ray diffraction(XRD), Raman spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). A rise of microwave power can lead to an increasing pyrolysis of hydrogen and methane, so that the microcrystalline diamond film could be synthesized at low CH;/H;levels. Gas pressure has similar effect in changing the morphology of diamond films, and high gas pressure also results in dramatically increased grain size. However,diamond film is deteriorated at high CH;/H;ratio due to the abundant graphite content including in the films. Under an extreme condition of high microwave power of 10 kW and high CH;concentration, a hybrid film composed of diamond/graphite was successfully formed in the absence of N;or Ar,which is different from other reports. This composite structure has an excellent measured sheet resistance of 10-100 Ω/Sqr. which allows it to be utilized as field electron emitter. The diamond/graphite hybrid nanostructure displays excellent electron field emission(EFE) properties with a low turn-on field of 2.17 V/μm and β= 3160, therefore it could be a promising alternative in field emission applications. 展开更多
关键词 microwave plasma enhanced CVD Diamond films Morphological transformation Electron field emission
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链状碳纳米管的制备及其场发射性能研究 被引量:1
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作者 高金海 张洁 +1 位作者 李成刚 张兵临 《电子器件》 CAS 北大核心 2022年第6期1354-1357,共4页
利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特... 利用微波等离子体化学气相沉积的方法,在钛金属层上快速制备出由众多内部中空、外观呈锥形链状的碳纳米管组成的碳膜。通过扫描电镜、透射电镜、拉曼光谱等仪器分析了碳纳米管的组成。在真空条件下,测量了碳纳米管链薄膜的场电子发射特性。用热动力学过程解释了锥形碳纳米链的生长机理。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米管链 场发射
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碳纳米球薄膜的场发射特性 被引量:2
20
作者 刘智超 李英爱 +2 位作者 王静 顾广瑞 吴宝嘉 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第3期297-302,共6页
利用微波等离子体化学气相沉积法,在Si(100)衬底上制备了碳纳米球薄膜。利用拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜研究了薄膜的结构以及表面形貌,表明碳纳米球薄膜是由约2~3μm长、100nm宽的无定形碳纳米片相互缠绕、交织成球状而构成的。... 利用微波等离子体化学气相沉积法,在Si(100)衬底上制备了碳纳米球薄膜。利用拉曼光谱和场发射扫描电子显微镜研究了薄膜的结构以及表面形貌,表明碳纳米球薄膜是由约2~3μm长、100nm宽的无定形碳纳米片相互缠绕、交织成球状而构成的。在高真空系统中测量了碳纳米球薄膜的场发射特性,结果表明,碳纳米球薄膜具有良好的场发射特性,阈值电场为3.1V/μm,当电场增加到10V/μm时,薄膜的场发射电流密度可达到60.7mA/cm2。通过三区域电场模型合理地解释了碳纳米球薄膜在低电场、中间电场和高电场区域的场发射特性。 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 碳纳米球薄膜 场发射
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