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题名半导体表面电学特性微观四点探针测试技术研究进展
被引量：3
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作者
李建昌
王永
简晓慧
巴德纯
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机构
东北大学机械工程与自动化学院真空流体工程研究中心
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2011年第1期1-8,共8页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金资助(N090403001)
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文摘
四探针法是材料学及半导体行业电学表征的常用方法。随着微电子器件尺度持续减小,新型纳米材料研究不断深入,须将探针间距控制到亚微米及其以下范畴才能获得更高的空间分辨率和表面灵敏度。近年来研究人员借助显微技术开发出两类微观四点探针测试系统,即整体式微观四点探针和独立四点扫描隧道显微镜探针系统,随着现代微加工技术的发展,当前探针间距已缩小到几十纳米范围。本文综述了微观四点探针技术近年来的研究进展,主要包括测试理论、系统结构与探针制备。其中,特别详述了涉及探针制备的方法、技术及所面临问题,并展望了微观四点探针研究的发展方向,并给出了一些具体建议。
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关键词
四探针
微观四点探针
探针制备
表面电导率
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Keywords
four-point probes
microscopic four-point probes
probe preparation
surface conductivity
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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题名半导体电学特性四探针测试技术的研究现状
被引量：14
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作者
李建昌
王永
王丹
李永宽
巴德纯
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机构
东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
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出处
《真空》
CAS
北大核心
2011年第3期1-7,共7页
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基金
中央高校基本科研业务费专项资金(N090403001)
教育部留学回国人员科研启动基金(20091341-4)资助
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文摘
四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法,其原理简单,能消除接触电阻影响,具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式,并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同,四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法,其中直线四探针法最为常用,方形四探针多用于微区电阻测量。本文综述了四探针测试技术的基本理论,包括四探针法的分类、原理和修正,并阐述了四探针测试技术在微观领域的发展。
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关键词
四探针法
半导体表征
微观四点探针
电阻率
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Keywords
four-probe method
semiconductor characterization
microscopic four-point probe
resistivity
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分类号
TN307
[电子电信—物理电子学]
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