期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
新型的可调谐微环谐振器的设计（英文） 被引量：8
1
作者 应毓海 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期221-226,共6页
为了改进微机电系统中的传感器应用范围和特性参数，采用微纳光纤制作了环形谐振腔结构，设计的结构具有尺寸小、损耗低，品质因素高等优点。理论上分析了微纳光纤的光传输模式特性，通过电场的传数矩阵推导了谐振腔中的速度变化与光强... 为了改进微机电系统中的传感器应用范围和特性参数，采用微纳光纤制作了环形谐振腔结构，设计的结构具有尺寸小、损耗低，品质因素高等优点。理论上分析了微纳光纤的光传输模式特性，通过电场的传数矩阵推导了谐振腔中的速度变化与光强变化间的关系，得到了加速度作用下微环谐振腔的谐振波长、周长、有效折射率的变化值间的函数关系。仿真结果分析表明：设计的微环波导电场波动明显，耦合效率较好；光谱强度和3dB带宽变化较小，Q值达到104；在质量块每增加10g时，输出光谱图约向右漂移3nm；加速度与谐振波长漂移量基本呈线性关系，可以通过谐振波长的漂移量来实现对加速度的测量。研究结果能够为全光网络和微机电系统提供实现多种功能的光波导器件。 展开更多
关键词 微纳光纤 折射率 谐振腔 加速度
下载PDF
光学腔的共振线型 被引量：4
2
作者 甘雪涛 赵建林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期91-103,共13页
光学腔借助其特殊的共振线型,成为激光、精密检测、光传感、光开关等技术中尤为重要的光波器件。对已报道的光学腔中几种不同共振线型(洛伦兹型尖峰、洛伦兹型凹谷、不对称Fano型等)进行评述,并分析形成机制。最后,以硅基微环腔为例,提... 光学腔借助其特殊的共振线型,成为激光、精密检测、光传感、光开关等技术中尤为重要的光波器件。对已报道的光学腔中几种不同共振线型(洛伦兹型尖峰、洛伦兹型凹谷、不对称Fano型等)进行评述,并分析形成机制。最后,以硅基微环腔为例,提出调控这些共振线型的方法和相关器件结构。 展开更多
关键词 光学器件 光学腔 共振线型 微环腔
原文传递
氮化铝微环谐振腔临界耦合条件及制备工艺研究 被引量：3
3
作者 韩毅帅 孙天玉 +6 位作者 贾慧民 唐吉龙 房丹 王登魁 王晓华 张宝顺 魏志鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第5期86-94,共9页
针对氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件困难的问题,设计并制备了氮化铝弯曲耦合微环谐振腔。分析了微环谐振腔耦合系数公式,分别阐述了多种提高耦合强度方案的优势和劣势,最终选用弯曲耦合结构来增强耦合强度,得到了在宽耦合间隙下,实... 针对氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件困难的问题,设计并制备了氮化铝弯曲耦合微环谐振腔。分析了微环谐振腔耦合系数公式,分别阐述了多种提高耦合强度方案的优势和劣势,最终选用弯曲耦合结构来增强耦合强度,得到了在宽耦合间隙下,实现临界耦合条件的解决方案。在蓝宝石衬底上生长了高质量的氮化铝单晶薄膜,选用导电胶克服材料的不导电性,并利用电子束曝光系统将弯曲角度为40°、耦合间隙0.19μm、波导宽度0.41μm的微环谐振腔图形化,分析优化多项氮化铝刻蚀参数,最终将图形转移至氮化铝层,得到了耦合间隙均匀、侧壁平整的弯曲耦合氮化铝微环谐振腔。该研究为氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件提供了选择参考。 展开更多
关键词 氮化铝 微环谐振腔 临界耦合 弯曲耦合 电子束曝光
下载PDF
一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备 被引量：2
4
作者 李鹏 张宇光 +5 位作者 王丽 刘正 严英占 仝晓刚 薛晨阳 闫树斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期839-842,共4页
根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层... 根据锥形光纤与平面环型微腔耦合原理,使用L-Edit版图设计软件设计并优化了锥形光波导与微腔耦合系统。利用MEMS工艺对SOI圆晶片进行加工,从而实现了锥形光波导与跑道型以及环型光波导微腔的集成。其中,光波导以及微腔通过ICP刻蚀顶层硅而成,矩形槽通过RIE刻蚀衬底硅而成。光波导两侧的矩形凹槽可方便光纤接入以及对出射光的探测,从而提高了光波导微腔耦合系统的稳定性。 展开更多
关键词 锥形光波导 耦合 ICP RIE 跑道型微腔 环型微腔
下载PDF
双微环波导互耦合系统的耦合模理论研究 被引量：2
5
作者 宋鸿飞 翁娜 +1 位作者 张凯 周见红 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2014年第5期44-47,共4页
微环谐振腔由于具有结构简单、易于集成的优点,通过控制谐振模式与波导之间的耦合,可以制备许多光学器件,受到人们越来越多的重视。利用耦合模理论,计算了双环波导互耦合系统的光学特性,给出此系统的透过率表达式,并分析了系统的透过率... 微环谐振腔由于具有结构简单、易于集成的优点,通过控制谐振模式与波导之间的耦合,可以制备许多光学器件,受到人们越来越多的重视。利用耦合模理论,计算了双环波导互耦合系统的光学特性,给出此系统的透过率表达式,并分析了系统的透过率特点。同时利用时域有限差分的方法模拟了系统的透过率和不同模式的场分布特性。两种方法得到的结论完全一致,表明耦合模理论处理双环耦合是可靠的。 展开更多
关键词 微环谐振腔 波导 藕合模理论 时域有限差分
下载PDF
面向倏逝波传感的微槽式谐振腔设计及制备 被引量：1
6
作者 祝敏 崔建功 +6 位作者 余亚鑫 楚晓霞 张国军 杨玉华 王任鑫 何常德 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2022年第11期1205-1210,共6页
针对二氧化硅波导腔在倏逝波传感领域的应用,研制了一种微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔结构。基于耦合模理论,分析了微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔的传输特性和特征参量,优化了结构参数。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电感... 针对二氧化硅波导腔在倏逝波传感领域的应用,研制了一种微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔结构。基于耦合模理论,分析了微槽式二氧化硅光波导微环谐振腔的传输特性和特征参量,优化了结构参数。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术进行了器件的加工。搭建了测试系统并对制备得到的谐振腔进行品质因数(Q)测试以及声传感测试。测试结果表明,Q值可达1.69×10^(6),在1 kHz、5 Pa的声压下,信噪比可达22.975 dB。相较于传统的掩埋式微环谐振腔结构,此设计的微槽式微环谐振腔倏逝场效应更强,在倏逝波传感领域有着更好的应用潜力。 展开更多
关键词 微环谐振腔 光波导 倏逝场效应 微纳加工 品质因数
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部