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并联电容式RF MEMS开关的系统级设计与分析
被引量：
2
1
作者
有德义
任波
郝永平
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第4期1-3,共3页
针对传统设计方法分析RF MEMS开关的周期比较长的缺点,提出了一种基于静电控制的低压并联MEMS开关的系统级设计分析方法,实现了并联电容式RF MEMS开关的快速设计与优化分析。该方法采用Coventorware软件ARCHITECT模块搭建并联电容式RF M...
针对传统设计方法分析RF MEMS开关的周期比较长的缺点,提出了一种基于静电控制的低压并联MEMS开关的系统级设计分析方法,实现了并联电容式RF MEMS开关的快速设计与优化分析。该方法采用Coventorware软件ARCHITECT模块搭建并联电容式RF MEMS开关系统级模型,分析了多物理耦合场下并联电容式RF MEMS开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线。仿真结果表明:系统级分析便于在不同层面上分析和解决问题,结合MEMS器件还可以做相关工艺设计版图分析,便于多次调整参数分析。
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关键词
系统级仿真
微机电系统
驱动电压
频域分析
直流分析
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职称材料
题名
并联电容式RF MEMS开关的系统级设计与分析
被引量：
2
1
作者
有德义
任波
郝永平
机构
沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第4期1-3,共3页
文摘
针对传统设计方法分析RF MEMS开关的周期比较长的缺点,提出了一种基于静电控制的低压并联MEMS开关的系统级设计分析方法,实现了并联电容式RF MEMS开关的快速设计与优化分析。该方法采用Coventorware软件ARCHITECT模块搭建并联电容式RF MEMS开关系统级模型,分析了多物理耦合场下并联电容式RF MEMS开关的动态响应特性,得到位移和电压大小的对应关系曲线。仿真结果表明:系统级分析便于在不同层面上分析和解决问题,结合MEMS器件还可以做相关工艺设计版图分析,便于多次调整参数分析。
关键词
系统级仿真
微机电系统
驱动电压
频域分析
直流分析
Keywords
system
-level
simulation
microelectromechical
system
（
mems
）
actuation
voltage
frequency
analysis
DC
analysis
分类号
TM564.6 [电气工程—电器]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
并联电容式RF MEMS开关的系统级设计与分析
有德义
任波
郝永平
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014
2
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