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软刻蚀——图形转移和微制造新工艺 被引量:17
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作者 潘力佳 何平笙 《微细加工技术》 2000年第2期1-7,共7页
:“软刻蚀”是相对于微制造领域中占据主导地位的刻蚀而言的微图形转移和微制造的新方法 ,总的思路就是把用昂贵设备生成的微图形通过中间介质进行简便而又精确的复制 ,提高微制作的效率 ,包括微接触印刷 ,毛细微模塑 ,溶剂辅助的微模... :“软刻蚀”是相对于微制造领域中占据主导地位的刻蚀而言的微图形转移和微制造的新方法 ,总的思路就是把用昂贵设备生成的微图形通过中间介质进行简便而又精确的复制 ,提高微制作的效率 ,包括微接触印刷 ,毛细微模塑 ,溶剂辅助的微模塑 ,转移微模塑 ,微模塑 ,近场光刻蚀等。这些方法工艺简单 ,对实验室条件要求不高 ,又能在曲面上进行操作 。 展开更多
关键词 软刻蚀 图形转移 微制造工艺
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纳米器件制备的新方法——微接触印刷术 被引量:18
2
作者 潘力佳 何平笙 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2000年第12期12-17,48,共7页
微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微... 微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法 ,能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米 -微米量级的精细结构 ,印制导电高分子微电路 ,以及制作三维结构微制品。该方法精确重复 ,工艺简单 ,对实验室条件要求也不高 ,在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。 展开更多
关键词 微接触印刷术 自组装膜 微模塑 聚二甲基硅氧烷
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软刻蚀技术及其应用 被引量:6
3
作者 陈长琦 王艳 +1 位作者 王旭迪 汪力 《真空》 CAS 北大核心 2003年第6期11-14,共4页
软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5nm100μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低... 软刻蚀是通过表面带图案的弹性模板来实现图案的转移的图形复制技术,作为非光刻微米和纳米量级微加工方法,加工的分辨率可以达到5nm100μm,它克服了传统光刻技术的缺陷,为形成和制作平面和曲面上的微米和纳米图案提供了简便、有效的低成本途径。本文将主要介绍微接触印刷、近场光刻蚀、纳米压印等软刻蚀方法的原理、方法以及面临的问题,并简介了它们在微米和纳米加工、微电子学、材料科学、光学、微电子机械系统、表面化学等方面应用。 展开更多
关键词 软刻蚀 图形复制技术 微接触印刷 近场光刻蚀 纳米压印
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微接触印刷法构造金属银的二维和准三维微图纹结构 被引量:6
4
作者 刘建平 何平笙 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1143-1145,共3页
以聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机硅橡胶为弹性印章,以十八烷基三氯硅烷(OTS)正已烷溶液为“墨水”,用微接触印刷分别在普通盖玻片表面和直径为20mm的试管外表面直接盖印,以及在直径为10mm的玻璃棒表面进行滚动式微接触印刷盖印.将这些盖好... 以聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机硅橡胶为弹性印章,以十八烷基三氯硅烷(OTS)正已烷溶液为“墨水”,用微接触印刷分别在普通盖玻片表面和直径为20mm的试管外表面直接盖印,以及在直径为10mm的玻璃棒表面进行滚动式微接触印刷盖印.将这些盖好印的基材放在化学镀银液中进行选择性镀银沉积,得到金属银在平面上的二维微结构和在曲面上的准三维微结构.这些微结构的显微照片显示,采用微接触印刷法制备的微图纹结构,图纹转移效率高,精细度很好,特别是微接触印刷操作方法灵活多变,适用于多种形态的表面,是一类实用的微制造方法. 展开更多
关键词 微接触印刷法 金属银 二维微图纹 三维微图纹 微结构 化学沉积 软刻蚀
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利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层 被引量:4
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作者 陆广 曹召良 +5 位作者 卢振武 李伟 姚计敏 张刚 杨柏 沈家骢 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期2390-2392,共3页
A novel method using a combination of microcontact printing(μCP) technique, surface-directed condensation and surface- directed dewetting has been developed to fabricate patterned polymer films on gold substrates. Th... A novel method using a combination of microcontact printing(μCP) technique, surface-directed condensation and surface- directed dewetting has been developed to fabricate patterned polymer films on gold substrates. These patterned polymer films can serve as resists in the argon ion etching effectively to transfer patterns into the underlying gold substrates. This method is flexible in controlling the shape and feature size of the patterns in the polymer resists by simply adjusting the concentration of polymer solution, and especially it also provides a route to sub-micrometer sized features by using an original template with micrometer sized features. 展开更多
关键词 支湿现象 制备 聚合物保护层 聚合物薄膜 微接触印刷 自组装单层膜 离子刻蚀 表面图案化
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微反应器和微聚合反应器 被引量:2
6
作者 刘建平 刘莉 何平笙 《化学通报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第11期758-761,共4页
微反应器是指容量仅为零点几 μm3 或宽度为 1 μm左右的反应“容器” ,反应在这个微小区域内有控地进行。以表面科学与微制造技术为核心 ,新型微反应器近年来发展很快。本文介绍五种微反应器 ,即反相胶束微反应器、聚合物微反应器、固... 微反应器是指容量仅为零点几 μm3 或宽度为 1 μm左右的反应“容器” ,反应在这个微小区域内有控地进行。以表面科学与微制造技术为核心 ,新型微反应器近年来发展很快。本文介绍五种微反应器 ,即反相胶束微反应器、聚合物微反应器、固体模板微反应器、微条纹反应器和微聚合反应器 ,以及它们在各高科技领域中的可能应用。 展开更多
关键词 微聚合反应器 反相胶束微反应器 聚合物微反应器 固体模板微反应器 微条纹反应器 软刻蚀 微接触印刷
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硅基图案化TiO_2表面微结构的制备和表征 被引量:4
7
作者 管飞 陈淼 +2 位作者 张瑞 梁山 薛群基 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期599-602,共4页
结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
关键词 微图案 微接触印刷术 TiO2微结构
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CdSe薄膜的制备及其图形化 被引量:4
8
作者 王慧丽 马晓东 +1 位作者 钱雪峰 朱子康 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期119-122,共4页
用化学浴沉积的方法,以CdCl2·2.5H2O为镉源,Na2SeSO3为硒源,柠檬酸钠为络合剂,60℃下反应制备CdSe薄膜,并用XRD、FESEM、UV-Vis等方法进行了表征,研究表明生成的薄膜由粒径分布均匀的粒子组成。进一步以PDMS为印章,以OTS-甲苯溶液... 用化学浴沉积的方法,以CdCl2·2.5H2O为镉源,Na2SeSO3为硒源,柠檬酸钠为络合剂,60℃下反应制备CdSe薄膜,并用XRD、FESEM、UV-Vis等方法进行了表征,研究表明生成的薄膜由粒径分布均匀的粒子组成。进一步以PDMS为印章,以OTS-甲苯溶液为“墨水”,用微接触印刷的方法制备了CdSe薄膜的图形。 展开更多
关键词 CdSe化学浴沉积法 图形化 微接触印刷
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微接触印刷术——制备纳米器件的新技术 被引量:3
9
作者 崔婧怡 马莒生 王广龙 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2005年第8期56-59,共4页
介绍了纳米结构制作的一种新方法——微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素。它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制作平面和曲面上的纳米–微米量级的精细结构。精确重复,工... 介绍了纳米结构制作的一种新方法——微接触印刷术的工艺流程和关键技术,并简要分析了影响微印刷技术的几个因素。它克服了传统光刻技术的缺陷,能在金、银、硅片等多种基材上制作平面和曲面上的纳米–微米量级的精细结构。精确重复,工艺简单,对实验室条件要求不高,加工成本低,生产效率高。 展开更多
关键词 电子技术 微接触印刷术 弹性印章 聚二甲基硅氧烷 自组装膜
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软光刻技术制备液晶显示用定向层 被引量:5
10
作者 和亚宁 刘斌 +1 位作者 任鸿烽 王晓工 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2006年第7期908-911,共4页
以偶氮聚合物光致表面起伏光栅为模板,制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性印章,再以可溶性聚酰亚胺(PI)为“墨水”,在石英玻璃上压印出具有规则起伏结构的PI薄膜.由此制备的PI薄膜显示出很好的使液晶分子定向排列的效果.此方法成本低、效率高... 以偶氮聚合物光致表面起伏光栅为模板,制备聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性印章,再以可溶性聚酰亚胺(PI)为“墨水”,在石英玻璃上压印出具有规则起伏结构的PI薄膜.由此制备的PI薄膜显示出很好的使液晶分子定向排列的效果.此方法成本低、效率高,是一种实用的液晶定向层薄膜制备方法. 展开更多
关键词 聚二甲基硅氧烷 起伏光栅 微接触压印 定向层
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几种纳米加工技术的原理、特点及其应用 被引量:1
11
作者 赵保军 王英 张亚非 《纳米科技》 2007年第3期44-48,59,共6页
从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳米复制加工技术,以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。
关键词 纳米加工 掩膜 浸笔纳米印刷 微接触印刷 纳米压印
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微接触印刷技术在ITO基底上快速转移Au纳米粒子图案 被引量:4
12
作者 汤儆 庞文辉 +3 位作者 任禾 陈巧兰 宋子旺 林建航 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第3期612-618,共7页
采用无氰化学镀金法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)印章表面镀金,通过微接触印刷技术将PDMS印章上的Au纳米粒子(AuNPs)分别转移到氧化铟锡(ITO)透明导电膜玻璃,修饰了(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷(MPTMS)的ITO基底(MPTMS/ITO)和表面电镀了铜膜的IT... 采用无氰化学镀金法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)印章表面镀金,通过微接触印刷技术将PDMS印章上的Au纳米粒子(AuNPs)分别转移到氧化铟锡(ITO)透明导电膜玻璃,修饰了(3-巯基丙基)三甲氧基硅烷(MPTMS)的ITO基底(MPTMS/ITO)和表面电镀了铜膜的ITO(Cu/ITO)表面上,同时形成有序的结构或者图案.通过场发射扫描电镜(FE-SEM),原子力显微镜(AFM)和显微共聚焦激光拉曼光谱仪等对实验结果进行表征.结果表明,该转移AuNPs的方法对基底表面特性并无特殊要求,是一种简单、快速、无污染、低成本的AuNPs转移技术,而且转移了AuNPs的ITO基底具有表面增强拉曼光谱(SERS)活性,有望在SERS中有所应用. 展开更多
关键词 微接触印刷技术 金纳米粒子 转移 聚二甲基硅氧烷 表面增强拉曼光谱
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Patterned self-assembled film guided electrodeposition
13
作者 ZHOU Feng1, LI Bin1,2, XU Tao1, CHEN Miao1, HAO Jingcheng1 & LIU Weimin1 1. State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China 2. Department of Chemistry, Shandong Institute of Education, Jinan 250014, China 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2004年第2期120-125,共6页
The paper describes the fabrication of polypyrrole (PPy) microstructures through patterned self-assembled film guided electrodeposition. Thus the patterned self-assembled monolayer is prepared by microcontact printin... The paper describes the fabrication of polypyrrole (PPy) microstructures through patterned self-assembled film guided electrodeposition. Thus the patterned self-assembled monolayer is prepared by microcontact printing (μCP) and used as the template in the electrodeposition of PPy. It has been found that the self-assembled monolayer plays completely different roles on different substrates in directing the deposition of the PPy. Namely, the electrodeposition mainly occurs on the exposed area of the gold substrates patterned with dodecanethiol (DDT) and octadecanelthiol (ODT) and on the indium tin oxide (ITO) substrate patterned with octadecyltrichlorosilane (OTS), while PPy nucleates on the OTS covered area and no deposition is found on the exposed area of a semiconductor substrate (silicon). This is attributed to the co-operative effect between the substrate conductivity and the compatibility of the PPy oligomerwith the covered or exposed area of the substrate surface. 展开更多
关键词 pattern CONDUCTING polymer microcontact printing electrodeposition.
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CuSO_4 Micro-crystal Lattice Produced by Microcontact Printing
14
作者 PAN Li-jia CHEN Lei +3 位作者 HE Ping-sheng TAO Xiao-ming QIAN Yi-tai XIA You-nan 《Chemical Research in Chinese Universities》 SCIE CAS CSCD 2002年第2期221-222,共2页
An elastic stamp was produced by molding poly(dimethylsiloxane)(PDMS) against a master with micro\|patterns on the surface. Then a procedure named microcontact printing was carried out on the glass substrate with the ... An elastic stamp was produced by molding poly(dimethylsiloxane)(PDMS) against a master with micro\|patterns on the surface. Then a procedure named microcontact printing was carried out on the glass substrate with the ink of an octadecylsiloxane(OTS) solution. The OTS reacted with the glass and formed a self\|assembly monolayer, and the process produced hydrophobic micro\|patterns on hydrophilic substrate. Owing to a simple hydrophobic interaction between the CuSO\-4 solution and the monolayer, a regular CuSO\-4 micro\|crystal lattice could be produced. 展开更多
关键词 microcontact printing Poly(dimethylsiloxane) Octadecylsiloxane Cupric sulphate Micro-crystal lattice
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空间结构在真皮组织微观化重建中的作用研究 被引量:2
15
作者 姜育智 丁桂甫 +2 位作者 原博 王志勇 陆树良 《上海交通大学学报(医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期312-315,共4页
目的探讨空间结构对真皮组织成纤维细胞的形态及生物学行为的影响。方法采用微纳制造技术设计并制作细胞调控点,微接触印刷术制备基膜,细胞接种后分别行细胞形态学观察;免疫组化检测细胞α-平滑肌肌动蛋白(α-SMA)表达;MTT试验分析细胞... 目的探讨空间结构对真皮组织成纤维细胞的形态及生物学行为的影响。方法采用微纳制造技术设计并制作细胞调控点,微接触印刷术制备基膜,细胞接种后分别行细胞形态学观察;免疫组化检测细胞α-平滑肌肌动蛋白(α-SMA)表达;MTT试验分析细胞活力;ELISA法测定细胞培养上清中羟脯氨酸含量。以单纯细胞培养皿培养的细胞作为对照组。结果与对照组比较,经细胞调控点调控的细胞形态多样,呈现类圆形,伪足更长;α-SMA表达上调;细胞活力降低;细胞培养上清中羟脯氨酸含量显著增加;统计学分析表明,组间比较差异均有统计学意义(P<0.05)。结论细胞生物学行为呈现结构依赖性,空间结构可调控细胞生物学行为。 展开更多
关键词 空间结构 细胞调控 微接触印刷术 细胞生物学行为
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一种蛋白质阵列芯片新技术的研究 被引量:1
16
作者 韩欢欢 于晓波 +2 位作者 吕任极 何为 许丹科 《分析试验室》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期107-110,共4页
将微印刷技术与银增强法相结合,建立了一种蛋白质阵列芯片制备与检测的新方法。通过定量分析证明了蛋白质可以被均匀地转印至固相载体表面,采用银增强法对蛋白质的直接法检测和夹心法检测的最低检测量分别可达0.33和0.13 fmol。此新方... 将微印刷技术与银增强法相结合,建立了一种蛋白质阵列芯片制备与检测的新方法。通过定量分析证明了蛋白质可以被均匀地转印至固相载体表面,采用银增强法对蛋白质的直接法检测和夹心法检测的最低检测量分别可达0.33和0.13 fmol。此新方法应用于蛋白质阵列上具有灵活、灵敏及成本低廉等特点。 展开更多
关键词 蛋白阵列芯片 微印刷技术 银增强检测
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钛表面蛋白质微图形的构建及其对人体成骨细胞粘附行为的影响 被引量:1
17
作者 季士委 潘长江 聂煜东 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期27-29,42,共4页
利用微接触印刷术在表面改性的钛薄膜表面构建了纤连蛋白细胞外基质微图形,激光共聚焦扫描显微镜及原子力显微镜的结果表明微图形形态规整,蛋白质层厚度约为5nm。人体成骨细胞的粘附实验表明,蛋白质微图形的尺度对细胞的粘附行为具有明... 利用微接触印刷术在表面改性的钛薄膜表面构建了纤连蛋白细胞外基质微图形,激光共聚焦扫描显微镜及原子力显微镜的结果表明微图形形态规整,蛋白质层厚度约为5nm。人体成骨细胞的粘附实验表明,蛋白质微图形的尺度对细胞的粘附行为具有明显影响,通过控制微图形的尺度可以有效调控细胞的粘附与铺展行为,从而影响细胞的功能。 展开更多
关键词 微接触印刷术 生物材料 蛋白质
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微接触印刷法制备图形化自组装膜 被引量:2
18
作者 何会新 黄维 +4 位作者 曾雳 李启广 张华 李房有 刘忠范 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期48-52,共5页
利用微接触印刷技术成功地制备了由不同末端官能团组成的图形化自组装膜。详细讨论了“印章”上图案的高度以及作为“印泥”的自组装分子的性质对制备图形化自组装膜的影响。结果表明,选择具有低蒸气压、在金表面非反应铺展的自斥性硫... 利用微接触印刷技术成功地制备了由不同末端官能团组成的图形化自组装膜。详细讨论了“印章”上图案的高度以及作为“印泥”的自组装分子的性质对制备图形化自组装膜的影响。结果表明,选择具有低蒸气压、在金表面非反应铺展的自斥性硫醇分子溶液作“印泥”有利于自组装膜只在接触区形成。“印章”上图案的凸起应有一定高度,否则“图形”难以形成。 展开更多
关键词 图形化自组装膜 微接触印刷 薄膜
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图案化TiO2薄膜的制备技术 被引量:2
19
作者 梁山 陈淼 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1659-1665,共7页
按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法3大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等;硬质模板法也称... 按图案的生成方式可分为图案的直接生成、掩膜复制法和硬质模板复制法3大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法和光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法和光敏凝胶膜法等;硬质模板法也称软刻蚀技术,分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。本文综述了图案化TiO2薄膜的制备技术,对每类方法的优缺点作了评述,对今后图案化TiO2薄膜制备的研究方向提出了一些建议。 展开更多
关键词 图案化TiO2膜 自组装 光刻胶 光敏膜 软刻蚀 微接触印刷
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液晶化学传感器制备及在有机磷农药检测中的应用研究 被引量:2
20
作者 王普红 余建华 +1 位作者 李志军 郑清元 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第10期1386-1390,共5页
采用微接触印刷法在普通玻璃基底表面制备具有微沟槽结构的功能性有机膜,通过自组装法组装活性位点,采用铜网固定液晶膜制备成了新型的液晶化学传感器。研究结果表明,当传感器用于检测有机磷农药时,液晶分子E7由垂直排列状态向平行排列... 采用微接触印刷法在普通玻璃基底表面制备具有微沟槽结构的功能性有机膜,通过自组装法组装活性位点,采用铜网固定液晶膜制备成了新型的液晶化学传感器。研究结果表明,当传感器用于检测有机磷农药时,液晶分子E7由垂直排列状态向平行排列状态转变,液晶膜的颜色和亮度发生了改变;对常见有机磷农药,其最低检测限达到0.051 g/m3以下;重复检测0.114 g/m3的DDVP时可达50次以上;同时该传感器也表现出良好的抗干扰性及温度适用性,证实该种传感器对环境中有机磷农药的检测具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 传感器 液晶 微接触印刷法 有机磷
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