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MEMS薄膜中的残余应力问题 被引量:17
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作者 朱长纯 赵红坡 +1 位作者 韩建强 崔万照 《微纳电子技术》 CAS 2003年第10期30-34,共5页
在制造微电子机械系统(MEMS)的器件的过程中,通常要进行高温的薄膜淀积或生长,因此薄膜中存在的残余应力很多情况下影响着器件结构的特性,有时甚至严重劣化器件的性能。本文以实例具体分析了薄膜残余应力的影响,并介绍了残余应力的起源... 在制造微电子机械系统(MEMS)的器件的过程中,通常要进行高温的薄膜淀积或生长,因此薄膜中存在的残余应力很多情况下影响着器件结构的特性,有时甚至严重劣化器件的性能。本文以实例具体分析了薄膜残余应力的影响,并介绍了残余应力的起源、产生机制以及控制。 展开更多
关键词 MEMS 薄膜 残余应力 微电子机械系统 产生机制
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0.3 ng/Hz1/2超高灵敏度MEMS加速度计研究进展 被引量:12
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作者 王秋 刘骅锋 +3 位作者 许强伟 宋萧萧 严世涛 涂良成 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2020年第1期100-105,共6页
采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,4... 采用微纳加工工艺制备了硅基微机电(MEMS)超高灵敏度加速度计,并针对超高灵敏度MEMS加速度计进行了结构设计及仿真。通过独特自主的体硅一体化刻穿工艺加工出MEMS加速度计敏感结构,测得MEMS加速度计噪声谱密度在1 Hz处为0.3 ng/Hz1/2,46 h偏值稳定性为740 ng,量程1 mg,带宽10 Hz,抗随机振动可达8 g(RMS),抗冲击过载1000 g。相比于传统的高精度加速度计,本文提出的基于微纳加工工艺的硅基超高灵敏度MEMS加速度计体积小、重量轻、环境适应性强,具有可批量化生产和成本低的优势,有望用于对灵敏度有较高要求的微震测量、微重力环境应用、空间探测等领域。 展开更多
关键词 超高灵敏度加速度计 微机电系统 稳定性 噪声评估 环境适应性
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多传感器互补滤波器数据融合算法设计 被引量:6
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作者 马龙 代超璠 +3 位作者 周航 裴昕 黄超 苏志刚 《计算机工程与设计》 北大核心 2018年第10期3080-3086,共7页
针对多传感器姿态测量系统小型化、高精度和低成本的要求,设计三传感器互补滤波器数据融合算法,实现载体姿态解算。在传感器级别利用MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、电子罗盘分别对载体的姿态信息进行结算,得到多传感器解算数据;在频域上进... 针对多传感器姿态测量系统小型化、高精度和低成本的要求,设计三传感器互补滤波器数据融合算法,实现载体姿态解算。在传感器级别利用MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、电子罗盘分别对载体的姿态信息进行结算,得到多传感器解算数据;在频域上进行噪声分析,进一步验证各传感器噪声的频率互补性,分别设计三传感器组成的俯仰角和横滚角互补滤波器以及双传感器组成的航向角互补滤波器;构建一套基于FPGA的多传感器姿态测量系统并进行互补滤波器的实验验证。实验结果表明,相比于姿态航向参考系统(AHRS)的测量值,横滚角以及俯仰角精度在±0.37°以内,航向角精度在±0.8°以内,验证了该系统具有较高精度的输出。 展开更多
关键词 姿态测量 现场可编程门阵列 互补滤波器 微机电系统 数据融合
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基于三维异构集成技术的X波段4通道收发模组
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作者 李晓林 高艳红 +1 位作者 赵宇 许春良 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第5期575-579,共5页
基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计了一款适用于相控阵天线系统的三维堆叠4通道T/R模组。模组由3层功能芯片堆叠而成,3层功能芯片之间采用贯穿硅通孔(TSV)和球栅阵列实现电气互连;模组集成了6位数控移相、6位数控衰减... 基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计了一款适用于相控阵天线系统的三维堆叠4通道T/R模组。模组由3层功能芯片堆叠而成,3层功能芯片之间采用贯穿硅通孔(TSV)和球栅阵列实现电气互连;模组集成了6位数控移相、6位数控衰减、串转并、负压偏置和电源调制等功能,最终尺寸为12 mm×12 mm×3.8 mm。测试结果表明,在X波段内,模组的饱和发射输出功率为30 dBm,单通道发射增益可达27 dB,接收通道增益为23 dB,噪声系数小于1.65 dB。该模组性能优异,集成度高,适合批量生产。 展开更多
关键词 微系统 T/R模组 三维异构集成 微电子机械系统 硅通孔
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基于李萨如扫描的微型激光投影显示技术 被引量:6
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作者 李晓莹 梁晓伟 +3 位作者 乔大勇 刘耀波 潘春辉 练彬 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期130-135,共6页
结合李萨如图像扫描和微机电系统(MEMS)二维谐振式扫描镜,提出一种新颖的投影显示方法。相比于传统的投影显示技术,该技术具有控制简单、能耗低、体积小及重量轻等优点。首先阐述了该投影显示技术中像素的定义与划分,然后从理论上分析... 结合李萨如图像扫描和微机电系统(MEMS)二维谐振式扫描镜,提出一种新颖的投影显示方法。相比于传统的投影显示技术,该技术具有控制简单、能耗低、体积小及重量轻等优点。首先阐述了该投影显示技术中像素的定义与划分,然后从理论上分析了刷新率、分辨率和谐振频率之间的关系,以及选择谐振频率的约束条件,最后通过Matlab软件进行仿真验证,并使用研制出的扫描镜样件搭建了投影显示样机,成功投影出分辨率为260×180的图像,从而验证谐振频率选择约束的有效性以及该投影显示方法的可行性,为实际工程应用奠定基础。 展开更多
关键词 成像系统 微机电系统 李萨如 刷新率 分辨率 谐振频率
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基于微振镜结构光投射器的机器人抓取 被引量:5
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作者 黄会明 刘桂华 段康容 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期93-101,共9页
提出了一种基于微振镜结构光的三维重建方法。使用微振镜结构光快速获取图像数据,基于多频外差的方法对物体进行三维重建,使用基于点对特征三维特征匹配的方式对获取的三维数据与基准模型进行匹配和定位操作,获取了任意放置的物体在机... 提出了一种基于微振镜结构光的三维重建方法。使用微振镜结构光快速获取图像数据,基于多频外差的方法对物体进行三维重建,使用基于点对特征三维特征匹配的方式对获取的三维数据与基准模型进行匹配和定位操作,获取了任意放置的物体在机器人坐标系中的三维坐标和法线信息。实验结果表明,基于微振镜结构光的方式可以获得0.1 mm左右的重建精度,处理时间约为0.4 s,可以满足大多数工业机器人物体定位抓取的要求。 展开更多
关键词 测量 微振镜 结构光三维重建 三维匹配 机器人抓取
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基于MEMS的微槽冷却系统在微纳卫星热控中的应用 被引量:2
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作者 邵宝东 孙兆伟 《上海航天》 北大核心 2006年第4期34-38,共5页
介绍了基于微机电一体化系统(MEMS)的微槽冷却系统的研究成果。分析了将微槽冷却系统用于微纳卫星热控设计时的特殊要求。讨论了表征微槽冷却系统性能的水力学系统和传热性能。理论分析和数值模拟结果表明,微槽冷却系统可使大热流密度... 介绍了基于微机电一体化系统(MEMS)的微槽冷却系统的研究成果。分析了将微槽冷却系统用于微纳卫星热控设计时的特殊要求。讨论了表征微槽冷却系统性能的水力学系统和传热性能。理论分析和数值模拟结果表明,微槽冷却系统可使大热流密度的热源芯片温度维持在较低的范围内,能满足微纳卫星热控的要求。研究认为,压降和热阻均较小的深槽可在小泵功率时提供较优的传热性能。 展开更多
关键词 微纳卫星 热控系统 微机电一体化系统 微槽冷却系统 水力学性能 传热性能
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低压化学气相淀积低应力氮化硅工艺研究 被引量:4
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作者 王敬轩 商庆杰 杨志 《电子与封装》 2021年第8期94-98,共5页
微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。通过采用低压化学气相淀积工艺(Low Pressure Chemical-Vapor Deposition,LPCVD),优化工艺中反应气体流量... 微机械加工(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)工艺中常需要应用到低应力氮化硅作为结构层或钝化层材料,以降低圆片的翘曲。通过采用低压化学气相淀积工艺(Low Pressure Chemical-Vapor Deposition,LPCVD),优化工艺中反应气体流量比,可以得到应力低于200 MPa的氮化硅薄膜。针对工艺中存在的片间应力以及薄膜厚度均匀性差的问题,采用二次离子质谱测试(Secondary Ion Mass Spectroscopy,SIMS)的方式,分析出反应气体的消耗造成的反应气体比例变化是引起该问题的主要因素。通过优化工艺参数,得到了片间应力在100~150 MPa之间、厚度均匀性5%以内的低应力氮化硅薄膜,可实现50片/炉的工艺能力,可批量应用于MEMS工艺中。 展开更多
关键词 微机械加工 低压化学气相淀积 低应力氮化硅 均匀性
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内置阻块和挡板微混合器的性能 被引量:3
9
作者 何秀华 王岩 高凌峰 《排灌机械工程学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第12期1282-1287,共6页
为提高微机电系统中微混合器的混合效率,基于混沌对流原理,研究了一种流道内布置周期性阻块和挡板结构的被动式微混合器.首先,采用田口分析方法,研究了流道结构参数对流体混合的强化效果,得到微混合器的最优结构参数组合;然后,与现有试... 为提高微机电系统中微混合器的混合效率,基于混沌对流原理,研究了一种流道内布置周期性阻块和挡板结构的被动式微混合器.首先,采用田口分析方法,研究了流道结构参数对流体混合的强化效果,得到微混合器的最优结构参数组合;然后,与现有试验和模拟结果进行对照,验证了数值模拟方法的可靠性;最后,通过CFX数值模拟软件对其内部流场及混合特性进行研究分析.结果表明,倾斜挡板和圆柱形阻块的周期性设置,使微混合器中心处Y方向的速度分量uy沿X轴作周期性变化,提高了混沌对流强度;当雷诺数超过20时,微流道内产生了一系列复杂的涡结构,大大增加了2种混合流体的接触面积,促使2种流体实现完全混合. 展开更多
关键词 微混合器 微机电系统 混沌对流 田口方法 混合特性
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电热微执行器与柔性放大机构的刚度匹配分析 被引量:1
10
作者 高建忠 蒋庄德 +2 位作者 赵玉龙 李记科 马秋荣 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2097-2102,共6页
针对电热微执行器和柔性微杠杆位移放大机构连接时二者刚度失配会严重影响工作性能的问题,将微执行器和微杠杆机构等效成两个弹簧连接的模型,对其刚度关系进行了理论分析,并用有限元方法进行了仿真。结果显示,执行器和微杠杆机构的刚度... 针对电热微执行器和柔性微杠杆位移放大机构连接时二者刚度失配会严重影响工作性能的问题,将微执行器和微杠杆机构等效成两个弹簧连接的模型,对其刚度关系进行了理论分析,并用有限元方法进行了仿真。结果显示,执行器和微杠杆机构的刚度比值极大地影响整个机构的输出特性。用负载线方法给出了两种柔性机构连接时进行刚度匹配设计的直观解释。最后,用深层反应离子刻蚀(DR IE)技术在硅隔离衬底(SOI)上成功制作了微执行器和组合机构样机,并对其进行了测试,测试结果与理论分析结果符合很好。 展开更多
关键词 微机电系统 微执行器 柔性机构 微型杠杆 深刻蚀
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梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化 被引量:13
11
作者 吴天准 董景新 +1 位作者 刘云峰 赵长德 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期285-289,共5页
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指... 为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式。分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式。 展开更多
关键词 微机电系统 梳齿式微加速度计 性能分析 稳定性 线性度 分辨率 参数设计
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MEMS薄膜热流传感器研制 被引量:9
12
作者 李娟 张丛春 +3 位作者 杨申勇 丁桂甫 董威 段力 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第5期71-73,共3页
基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭... 基于微加工技术设计制备了一种微机电系统(MEMS)薄膜热流传感器。采用COMSOL软件,对不同结构参数MEMS薄膜热流计进行仿真模拟,通过对仿真结果对比和分析,优化热流传感器的设计参数。根据优化的设计参数利用MEMS工艺制备薄膜热流计。搭建了标定系统,对所制备的MEMS薄膜热流计进行性能测试和标定。实验结果表明:薄膜热流计的电压输出响应曲线的变化趋势和仿真结果一致,此外,薄膜热流计的输出电压和热流密度呈良好的线性关系。 展开更多
关键词 微机电系统技术 热流传感器 聚酰亚胺 COMSOL仿真
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Attitude Determination for MAVs Using a Kalman Filter 被引量:5
13
作者 刘成 周兆英 付旭 《Tsinghua Science and Technology》 SCIE EI CAS 2008年第5期593-597,共5页
This paper presents a Kalman filter to effectively and economically determine the Euler angles for micro aerial vehicles (MAVs), whose size and payload are severely limited. The filter uses data from a series of mic... This paper presents a Kalman filter to effectively and economically determine the Euler angles for micro aerial vehicles (MAVs), whose size and payload are severely limited. The filter uses data from a series of micro-electro mechanical system sensors to determine the selected 3 variables of the direction cosine matrix and the bias of the rate gyro sensors as state elements in a dynamic model, with the gravitational acceleration to build a measurement model. For high speed maneuvers, rigid motion equations are used to correct the measurements of the gravitational acceleration. The filter is designed to automatically tune its gain based on the dynamic system state. Simulations indicate that the Euler angles can be determined with standard deviations less than 3°. The algorithm was successfully implemented in a miniature attitude measurement system suitable for MAVs. Aerobatic flights show that the attitude determination algorithm works effectively. The attitude determination algorithm is effective and economical, and can also be applied to bionic robofishs and land vehicles, whose size and payload are also greatly limited. 展开更多
关键词 attitude determination Kalman filter micro-electro mechanical system (MEMS) micro aerial vehicle (MAV)
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基于激光差动多普勒效应的微机电系统动态测试技术 被引量:7
14
作者 张涛 冷长林 +1 位作者 钟莹 张国雄 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期63-67,共5页
提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度、位移的测量系统。采用激光差动多普勒技术,检测谐振器在平面内的振动,测量垂直于系统测量光轴方向的振动速度。并在差动多普勒测量光路的基础上加入了CCD监测光路,实时观察被测器件调... 提出了一种用于测量微机电系统(MEMS)器件瞬时速度、位移的测量系统。采用激光差动多普勒技术,检测谐振器在平面内的振动,测量垂直于系统测量光轴方向的振动速度。并在差动多普勒测量光路的基础上加入了CCD监测光路,实时观察被测器件调整过程和振动情况。通过处理电路从光学系统输出的高频信号中提取多普勒信号,利用Labview和Matlab软件对采集的多普勒信号进行时频分析,得到被测器件的运动参量。通过对测点的微定位,对MEMS器件进行整平面的扫描,得到器件振动的瞬时速度场,为进一步对MEMS器件的高阶谱振动分析及扭转分析提供了一定的基础和必要的支持。 展开更多
关键词 光学测量 动态测试 差动多普勒 微机电系统 时频分析
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基于MEMS/GNSS的多机协同无源定位 被引量:6
15
作者 张治 卢鸿谦 +2 位作者 班晓军 黄显林 刘雪梅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期2844-2854,共11页
为了对多机协同定位算法进行研究,使用采集到的某款较高精度的MEMS惯组的噪声数据替代仿真噪声数据,模拟采用MEMS/GNSS组合导航算法的载机平台,使得定位算法的使用条件更加接近真实应用水平,并对在仅有视线角测量情况下的无源定位算法... 为了对多机协同定位算法进行研究,使用采集到的某款较高精度的MEMS惯组的噪声数据替代仿真噪声数据,模拟采用MEMS/GNSS组合导航算法的载机平台,使得定位算法的使用条件更加接近真实应用水平,并对在仅有视线角测量情况下的无源定位算法进行了精度分析和改进。以MEMS惯组真实数据为依据设置组合导航算法的参数,并在模拟载机的过程中加入真实惯组噪声,通过组合导航解算获得载机的位置坐标。建立仅有视线角量测的无源定位算法数学模型,在组合导航定位的计算结果稳定之后,利用获得的自身位置数据,基于扩展卡尔曼滤波估计目标的位置及速度信息。最后,利用联邦滤波算法,将该定位算法扩展为多机协同定位算法,进一步提高定位系统的容错性能。通过分析对比双机定位模型的几何精度误差与双机协同定位算法的表现,可知文中算法能够将定位精度从100 m量级降到10 m量级,实现了仅有视线角测量情况下的多机协同定位,定位精度高,且分析结果更符合实际情况。 展开更多
关键词 组合导航 微机电系统 仅视线角 无源定位 卡尔曼滤波
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纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制 被引量:6
16
作者 刘西锋 董汉鹏 夏善红 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第4期657-662,共6页
研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面... 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0~4%浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1%H2,线性度为99.4%.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95%以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义. 展开更多
关键词 纳米氧化锡 催化燃烧传感器 微机电系统(MEMS) 氢气检测
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MEMS中变截面梁弯曲数学模型的建立 被引量:5
17
作者 孙江宏 易源霖 +1 位作者 赵秋玲 刘旭 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第22期3061-3065,共5页
在MEMS结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度Kφ和最大挠度尺寸刚度KW表达式... 在MEMS结构中采用变截面梁来减小应力集中的影响。建立的变截面梁弯曲数学模型可为MEMS器件加工工艺提供理论依据。以增加空间利用率且保持最大转角和最大挠度不变为前提条件,分别构建了最大转角尺寸刚度Kφ和最大挠度尺寸刚度KW表达式;对比原设计参数的尺寸刚度,创建了梁长度和端面高度与尺寸刚度的关系式,从而为MEMS结构中梁的设计提供了理论支撑。 展开更多
关键词 变截面梁 最大转角尺寸刚度 最大挠度尺寸刚度 数学模型
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聚合物MEMS磁扭转微镜电流传感特性研究 被引量:4
18
作者 王巨锋 黄梅红 +3 位作者 庄琳玲 刘士伟 胡奕彬 庄其仁 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期450-456,共7页
提出一种基于聚合物材料的新型微机电系统(MEMS)交流电传感器,对其关键部件聚合物MEMS磁扭转微镜的特性进行研究。磁扭转微镜基体材料采用聚碳酸酯(PC),扭转梁采用金属材料制作,永磁体内置于扭转微镜中,被聚合物材料所包埋,磁扭转微镜... 提出一种基于聚合物材料的新型微机电系统(MEMS)交流电传感器,对其关键部件聚合物MEMS磁扭转微镜的特性进行研究。磁扭转微镜基体材料采用聚碳酸酯(PC),扭转梁采用金属材料制作,永磁体内置于扭转微镜中,被聚合物材料所包埋,磁扭转微镜的反射面为反射光栅结构。对扭转微镜的特征参数对扭转力矩和扭转角度的影响进行了分析。结果表明,磁扭转微镜的力矩与通电导线的电流大小成正比,微镜稳态扭转振动时最大扭转角度与导线交流电流(a.c.)幅度成正比;扭转梁长度越长,扭转角幅度越大;而稳态振动扭转角幅度随着扭转梁半径的增大而减小。通过对扭转微镜反射光栅0级衍射光的接收与解调,得到归一化光强测量电流的灵敏度可达0.024/A。 展开更多
关键词 聚合物微机电系统(MEMS) 磁扭转微镜 反射光栅 电流传感器
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面向聚合物微器件超声波精密封接的阵列微导能结构 被引量:4
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作者 罗怡 张苗苗 +1 位作者 孙屹博 王晓东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期754-761,共8页
为提高聚合物超声波精密封接的可控性,预防高温度场下聚合物的熔融流延影响封接界面质量和精度,提出了阵列式微导能结构。以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微小管道的封接为实验对象,研究了阵列微导能结构的尺度对超声波封接过程的影响;采用热... 为提高聚合物超声波精密封接的可控性,预防高温度场下聚合物的熔融流延影响封接界面质量和精度,提出了阵列式微导能结构。以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微小管道的封接为实验对象,研究了阵列微导能结构的尺度对超声波封接过程的影响;采用热压成型工艺在被封接表面制作了5组不同高度的微结构。采用基于声波传递效率反馈的超声波精密封接方式,对超声波作用下聚合物界面的润湿行为进行了观察分析,讨论了结构尺度对超声波封接质量的影响。结果表明,随着微结构尺寸的增大,实现完全联接需要的超声波能量呈递增的趋势。该种微导能结构有效控制了聚合物熔融流延,获得了均一的封接面,可实现高质量精密封接。 展开更多
关键词 超声波精密封接 MEMS 聚合物器件 导能结构 润湿
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基于手机内置传感器的相对高程模型
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作者 邱树素 顾桢 +1 位作者 章怿钦 叶俊华 《北京测绘》 2023年第12期1676-1682,共7页
高程是室内定位的关键要素之一,常见的高程测量方法,诸如三角高程测量、水准测量等并不适用于基于智能手机的大众定位;而全球导航卫星系统(GNSS)高程测量误差大,特别是在室内复杂场景中,GNSS定位可能无法使用。基于此,本文结合智能手机... 高程是室内定位的关键要素之一,常见的高程测量方法,诸如三角高程测量、水准测量等并不适用于基于智能手机的大众定位;而全球导航卫星系统(GNSS)高程测量误差大,特别是在室内复杂场景中,GNSS定位可能无法使用。基于此,本文结合智能手机微机电系统(MEMS)传感器观测值,研究温度、气压等要素与相对高程的关系算法,对比分析不同算法的高程测量精度。实验结果显示,在静态条件下,温度气压算法的精度比气压算法三和气压算法四提高了65%。在动态条件下,由于振动因子的增加,气压算法四的精度比气压算法一提高了44%。以上结果表明,算法精度与温度呈负相关,与气压呈正相关。 展开更多
关键词 智能手机 微机电系统传感器 相对高程 温度气压
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