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基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究 被引量:11
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作者 明平美 朱荻 +1 位作者 胡洋洋 曾永彬 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第21期2216-2220,共5页
试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流... 试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV-LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好。 展开更多
关键词 UV—LIGA 微结构器件 SU-8胶 光刻 微细电铸
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基于数字光处理技术的小型星模拟器设计 被引量:37
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作者 巩岩 胡宜宁 赵阳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1698-1703,共6页
提出了基于数字光处理(DLP)技术的星模拟器系统的技术方案。根据星模拟器技术指标,确定了总体光学结构;在确定数字微镜元件(DMD)芯片规格的基础上,计算出星模拟器光学系统的焦距、单星张角、相对孔径等光学系统参数;最后,介绍... 提出了基于数字光处理(DLP)技术的星模拟器系统的技术方案。根据星模拟器技术指标,确定了总体光学结构;在确定数字微镜元件(DMD)芯片规格的基础上,计算出星模拟器光学系统的焦距、单星张角、相对孔径等光学系统参数;最后,介绍了星图模拟软件的设计方法。计算及模拟结果表明,设计的小型星模拟器实现了星图视场为10.5°×7.5°,模拟星等为2.0~8.0等星,单星张角优于40″;将采样周期控制在毫秒量级,能为星敏感器提供任一时刻、任一惯性坐标系下指向的模拟星图,可满足航天工程中对小型星模拟器的动态性、大视场、宽星等范围、短采样周期等需求。 展开更多
关键词 星模拟器 数字光处理 数字微镜元件 光学设计 显示算法
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用于高精度小尺寸零件制作的光固化快速成型技术的现状与发展 被引量:27
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作者 胥光申 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2004年第10期1223-1225,共3页
用于高精度小尺寸零件制作的光固化快速成型技术源于快速原型技术 ,利用光诱导树脂固化 ,实现逐层堆积的原理制作零件原型。本文回顾了近年来该领域中开发出的主要工艺方法、原理及系统构成 ;本文还提出了以变形反射镜器件为核心构建新... 用于高精度小尺寸零件制作的光固化快速成型技术源于快速原型技术 ,利用光诱导树脂固化 ,实现逐层堆积的原理制作零件原型。本文回顾了近年来该领域中开发出的主要工艺方法、原理及系统构成 ;本文还提出了以变形反射镜器件为核心构建新型动态视图发生器 ,采用整层曝光固化工艺实现原型快速制作的新方法。和其它方法使用的动态视图发生器相比 ,本文提出的新型动态视图发生器具有更高的分辨率和更高的对比度 (可达 10 0 0∶1)。 展开更多
关键词 激光快速成型 高精度 光固化
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基于数字光处理技术的3D打印技术 被引量:27
4
作者 方浩博 陈继民 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期1775-1782,共8页
介绍了以数字光处理(digital light processing,DLP)技术发展出的3D打印技术并讨论了其光学系统对成型效果的影响.介绍了现有3D打印技术的种类、光固化快速成型技术以及DLP技术的原理.说明了以DLP技术为核心的3D打印系统的基本结构,具... 介绍了以数字光处理(digital light processing,DLP)技术发展出的3D打印技术并讨论了其光学系统对成型效果的影响.介绍了现有3D打印技术的种类、光固化快速成型技术以及DLP技术的原理.说明了以DLP技术为核心的3D打印系统的基本结构,具体说明了DLP技术如何运用于快速成型领域.内容包括数字微镜器件(digital micro-mirror device,DMD)的组成和驱动原理、DLP技术中使用的典型光学系统结构,以及它们在3D打印技术中起到的作用.接着,讨论了在3D打印应用中,DLP技术需要注意的问题.内容包括DLP系统适用的光波长、投影幅面的均匀性和成型精度.最后,总结了DLP技术在3D打印领域的优势及不足. 展开更多
关键词 3D打印技术 数字处理技术 数字微镜器件
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基于数字微镜器件技术提高面阵CCD相机动态范围的研究 被引量:18
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作者 周望 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期638-642,共5页
提出了一种采用数字微镜(DMD)器件作为SLM调制面阵CCD的设计方法。解决普通CCD相机在拍摄高反差场景时,图像上出现过曝光或欠曝光,造成丢失细节的现象。该方法通过场景预测成像,确定CCD按多曝光区域的划定和曝光时间。利用DMD微镜调制功... 提出了一种采用数字微镜(DMD)器件作为SLM调制面阵CCD的设计方法。解决普通CCD相机在拍摄高反差场景时,图像上出现过曝光或欠曝光,造成丢失细节的现象。该方法通过场景预测成像,确定CCD按多曝光区域的划定和曝光时间。利用DMD微镜调制功能,实现CCD分区分时曝光。同时设计一种图像数据结构提高了面阵CCD动态范围。实验证明,该方法不但提高了成像质量,高亮和背光处细节可清晰地表现。而且增强了图像数据的动态范围。实现了实时获取高动态范围、高质量的图像及数据,不再需要软件"融合"。 展开更多
关键词 图像处理 成像系统 数字微镜器件 高动态范围图像 面阵CCD
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基于数字微镜的旋转体三维显示装置研究 被引量:13
6
作者 李莉 李玉峰 +2 位作者 沈春林 龚华军 杨忠 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期67-72,共6页
体三维显示是实现真正三维立体图像显示的新技术。首次提出了一种基于数字微镜的旋转体三维显示方案,利用人眼视觉暂留的特性,设计完成了一套空间三维显示装置,通过数字微镜设备快速投影一系列连续的二维图像序列,由旋转运动的成像靶屏... 体三维显示是实现真正三维立体图像显示的新技术。首次提出了一种基于数字微镜的旋转体三维显示方案,利用人眼视觉暂留的特性,设计完成了一套空间三维显示装置,通过数字微镜设备快速投影一系列连续的二维图像序列,由旋转运动的成像靶屏截获图像流信息,形成了具有空间真实体积的三维立体图像。简要介绍了系统的显示原理及组成,重点阐述显示装置的设计,详细研究了数字微镜的接口能力以及对系统显示性能的影响,实验证明与基于矢量扫描振镜方式相比,基于数字微镜的三维显示装置已完全具备了在真实空间实现复杂三维图像显示的能力,并通过对成像结果的分析给出了进一步提高改进的相应措施。 展开更多
关键词 体三维显示 数字微镜设备 视觉暂留 显示装置
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基于永磁体空间磁场检测的体内微型诊疗装置定位系统的研究 被引量:11
7
作者 侯文生 郑小林 +2 位作者 彭承琳 彭小燕 吴旭东 《北京生物医学工程》 2004年第2期81-83,87,共4页
在微型诊疗装置的应用中 ,微型装置的体内空间定位非常重要。作者根据消化道微型诊疗装置研究的需要 ,设计了一种基于永磁体空间磁场检测的体内微型诊疗装置定位系统 ,由霍尔传感器阵列检测固定在微型装置上永磁体的空间磁场 ,经多路信... 在微型诊疗装置的应用中 ,微型装置的体内空间定位非常重要。作者根据消化道微型诊疗装置研究的需要 ,设计了一种基于永磁体空间磁场检测的体内微型诊疗装置定位系统 ,由霍尔传感器阵列检测固定在微型装置上永磁体的空间磁场 ,经多路信号处理电路和单片机采集数据 ,再把数据通过串口通信传输给主控计算机 ,进而对数据分析处理计算出微型诊疗装置在体内的空间位置。实验表明 ,该系统可实时采集数据并可靠传输 ,空间磁场强度随距离有特定的变化规律 。 展开更多
关键词 永磁体 空间磁场 体内微型 诊疗装置 定位系统 MEMS 数据采集
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5G通信系统深度覆盖分析与研究 被引量:14
8
作者 吴俊卿 《移动通信》 2019年第4期57-62,共6页
首先对5G深度覆盖面临的问题进行分析与总结;其次对5G深度覆盖解决方案进行研究;随后针对每一种解决方案给出部署策略和应用指导;最后对本文所述解决方案进行总结和对比。
关键词 深度覆盖 3D-MIMO 微小基站 数字化室分 传统DAS
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无线胶囊内窥镜新型接收线圈结构设计与分析方法 被引量:14
9
作者 邝帅 颜国正 +2 位作者 王志武 姜萍萍 韩玎 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期55-63,共9页
目前无线胶囊内窥镜(WCE)供应能量过低,限制了其诊查胃肠道病灶的性能。基于此提出了镂空三维接收线圈,线圈里可放置无线胶囊其他模块,进一步缩小无线胶囊体积。根据电磁场理论提出单匝分析法,分析了此线圈感应电动势和接收功率,并提出... 目前无线胶囊内窥镜(WCE)供应能量过低,限制了其诊查胃肠道病灶的性能。基于此提出了镂空三维接收线圈,线圈里可放置无线胶囊其他模块,进一步缩小无线胶囊体积。根据电磁场理论提出单匝分析法,分析了此线圈感应电动势和接收功率,并提出均匀度性能指标建立最优化模型,得出线圈最优设计参数;搭建角度姿态旋转平台测量线圈的感应电动势,实验测得感应电动势与理论值误差小于6%,验证了单匝分析法和线圈设计的合理性;将此线圈供能的无线胶囊内窥镜植入活体猪小肠内,得到的图像传输速率稳定为30 f/s,分辨率为400×400。新型线圈可给胶囊内窥镜提供充足稳定的能量,用于胃肠道疾病诊查。单匝分析法的应用不仅限于此结构的线圈,也可用于他它发射、接收装置相对位置和角度变化的植入式医疗设备的功率分析,并且此方法可用于求解发射和接收两级线圈之间的互感等电磁参数。 展开更多
关键词 无线胶囊内窥镜 无线能量传输 微型精密医疗设备 性能优化 接收线圈 电磁场理论
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基于数字微镜器件的“后视”关联成像 被引量:14
10
作者 唐文哲 曹正文 +2 位作者 石剑虹 曾贵华 方双红 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期142-146,共5页
传统成像的必要条件是相机对着物体。由于障碍物的遮挡,传统成像在很多时候都不能得到目标物体理想的像,但在关联成像机制下,借助一些障碍物的漫反射,适当调整反射的角度,可以实现相机在镜头不对着物体正面的情况下对目标正面成像,这在... 传统成像的必要条件是相机对着物体。由于障碍物的遮挡,传统成像在很多时候都不能得到目标物体理想的像,但在关联成像机制下,借助一些障碍物的漫反射,适当调整反射的角度,可以实现相机在镜头不对着物体正面的情况下对目标正面成像,这在传统成像中,一般只能通过镜面反射才能做到。利用数字微镜器件(DMD)调制普通光源,可以改进传统的关联成像,省去参考光路的测量。而且,数字微镜器件使得例如发光二极管这种普通的光源也可以用来实现关联成像,对工程实现有重要意义。 展开更多
关键词 成像系统 关联成像 鬼成像 漫反射 数字微镜器件
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基于DMD的红外景象模拟投影光学系统设计 被引量:12
11
作者 董家宁 牟达 +2 位作者 徐春云 李全勇 王文生 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第12期144-148,共5页
数字微镜器件(DMD)动态红外(IR)景象模拟技术具有大动态范围、高空间分辨率、高帧频、空间均匀性好、体积小等特点,能够在实验室内模拟红外景像,降低红外系统的研发成本,缩短研发周期。根据基于DMD的红外景象模拟系统的要求,分析了红外... 数字微镜器件(DMD)动态红外(IR)景象模拟技术具有大动态范围、高空间分辨率、高帧频、空间均匀性好、体积小等特点,能够在实验室内模拟红外景像,降低红外系统的研发成本,缩短研发周期。根据基于DMD的红外景象模拟系统的要求,分析了红外投影光学系统的特点,确定了其技术指标。从初始结构选取入手,利用像差平衡理论和非球面技术,针对DLP5500DMD(1024pixel×768pixel),设计出一种成像质量高、性价比高,工作在8~12μm波段的红外投影光学系统。系统采用三片透射式结构,焦距为200mm,相对孔径为1…3。应用Zemax光学设计软件进行像质评价,各视场调制传递函数(MTF)接近衍射极限,各视场的点列图均方根(RMS)半径远小于艾里斑的半径,满足设计要求。 展开更多
关键词 光学设计 红外景象模拟 数字微镜器件 投影光学系统
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微流体数字化技术制备聚合物微透镜阵列 被引量:12
12
作者 朱晓阳 侯丽雅 +2 位作者 郑悦 王洪成 章维一 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期360-368,共9页
基于微流体数字化技术搭建了聚合物微透镜阵列按需喷射制备实验系统。以UV固化胶为喷射材料,将其按需喷射到镀有疏水化薄膜的玻璃基片上,在界面张力和疏水化效应的作用下,形成平凸状的微液滴,再经紫外光固化后形成微透镜阵列。实验研究... 基于微流体数字化技术搭建了聚合物微透镜阵列按需喷射制备实验系统。以UV固化胶为喷射材料,将其按需喷射到镀有疏水化薄膜的玻璃基片上,在界面张力和疏水化效应的作用下,形成平凸状的微液滴,再经紫外光固化后形成微透镜阵列。实验研究了系统参量对稳定微喷射与微透镜直径的影响,稳定微喷射出了黏度值为50×10-3 Pa·s的UV胶,制得了最小直径达25μm的微透镜,进而制备出了直径变异系数C·V达0.64%、焦距均匀性误差为1.7%的15×15微透镜阵列。微透镜在扫描电子显微镜下具有较好的表面形貌,采用白光干涉/轮廓仪(VSI模式)测得其轮廓算术平均偏差Ra为247.99nm(扫描区域:29.4μm×39.3μm),扫描区域轮廓曲线平滑。通过微透镜阵列的成像实验,得到了微透镜阵列所成的清晰实像。实验结果表明,采用微流体数字化技术进行聚合物微透镜阵列的按需喷射制备过程简单、成本低廉、工艺参数稳定;制备的微透镜阵列几何与光学性能优越。 展开更多
关键词 微光学器件 微流体数字化 按需喷射 紫外光固化胶 聚合物微透镜阵列
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聚合物微纳制造技术 被引量:11
13
作者 孙靖尧 吴大鸣 +4 位作者 刘颖 庄俭 许红 郑秀婷 赵中里 《橡塑技术与装备》 CAS 2016年第10期1-9,共9页
微纳制造技术属国际前沿技术,作为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键,其研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造世界。以聚合物为基础材料的微纳系统在整个微纳系统中占有极其重要地位,是最具产业化开发前景的微... 微纳制造技术属国际前沿技术,作为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键,其研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造世界。以聚合物为基础材料的微纳系统在整个微纳系统中占有极其重要地位,是最具产业化开发前景的微纳系统之一,聚合物微纳制造技术也已经开始得到应用并具有极大的发展空间。本文集中介绍了多种典型聚合物微纳器件及系统,并对微注塑成型、微挤出成型和微纳压印成型等聚合物微纳制造技术进行了系统的阐述,比较了各种聚合物微纳制造技术的优缺点和使用条件。最后,结合国内外研究人员的研究成果,对聚合物微纳制造技术的未来发展做出展望。 展开更多
关键词 聚合物 微纳器件 微纳制造 等温热压印 模具制造
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共焦显微扫描探测技术的发展 被引量:10
14
作者 李海燕 张琢 +1 位作者 浦昭邦 葛文涛 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期94-97,共4页
传统的共焦显微探测多是采用单点机械扫描方式完成的,存在着扫描效率低的缺点,针对于此,一种多光束共焦显微系统成为当前的研究热点,通过不同方式对光束进行分割,使单点检测变为多路并行检测,提高了测量速度,减少了扫描过程中光源和振... 传统的共焦显微探测多是采用单点机械扫描方式完成的,存在着扫描效率低的缺点,针对于此,一种多光束共焦显微系统成为当前的研究热点,通过不同方式对光束进行分割,使单点检测变为多路并行检测,提高了测量速度,减少了扫描过程中光源和振动噪声的影响,实现多光束的同步测量。介绍了几种典型的单光束和多光束共焦显微测量系统的原理、研究进展、发展方向及作者在该方面的研究。 展开更多
关键词 共焦显微探测 三维成像 多光束检测 微光学器件
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微型惯性测量装置 被引量:11
15
作者 李杰 刘俊 张文栋 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z2期1450-1451,1462,共3页
在介绍微型惯性测量装置工作原理的基础上,详细阐述了系统件的软硬实现过程,并通过转台试验验证了利用其进行导航计算的正确性和有效性。
关键词 微型惯性 测量装置 转台 导航计算
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并行共焦测量中的并行光源技术综述 被引量:10
16
作者 余卿 余晓芬 +2 位作者 崔长彩 叶瑞芳 范伟 《中国光学》 EI CAS 2013年第5期652-659,共8页
并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量,从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理,综述了用于并行共焦的并行光源技术,分析了这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果,重点阐述了基于微... 并行共焦测量技术的核心是将单点共焦测量变成多点同时扫描测量,从而使共焦测量速度显著提高。本文介绍了共焦测量技术原理,综述了用于并行共焦的并行光源技术,分析了这些方法的优点和不足。结合作者近年来的研究成果,重点阐述了基于微透镜阵列和数字微镜器件(DMD)产生并行光源的新方法。分析和研究了DMD的空间光调制机理,最终建立了一种单光源双光路并行像散共焦测量系统。 展开更多
关键词 共焦显微镜 并行光源 并行共焦测量 三维形貌术 微透镜阵列 数字微镜器件
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数字微镜器件的时空特性 被引量:5
17
作者 曹益平 苏显渝 向立群 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期16-18,共3页
数字微镜器件是一种新型的微电子、微机械、微光学集成器件,可广泛的用于大屏幕投影显示。实际上,数字微镜器件作为一种新型的空间光调制器,在光学信息处理和结构照明型三维传感中也具有广泛的应用前景。本文介绍了数字微镜器件和数字... 数字微镜器件是一种新型的微电子、微机械、微光学集成器件,可广泛的用于大屏幕投影显示。实际上,数字微镜器件作为一种新型的空间光调制器,在光学信息处理和结构照明型三维传感中也具有广泛的应用前景。本文介绍了数字微镜器件和数字光处理器的基本原理,分析这种器件的时间空间特性,讨论了这种时空特性对结构照明型三维传感应用的影响。本文还给出了反映这种时空特性的实验结果。 展开更多
关键词 数字微镜器件 时空特性 结构照明 三维传感 空间光调制器
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氮化镓基Micro-LED显示技术研究进展 被引量:6
18
作者 蒋府龙 许非凡 +2 位作者 刘召军 刘斌 郑有炓 《人工晶体学报》 EI CAS 北大核心 2020年第11期2013-2023,共11页
现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展,显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中,Micro-LED显示技术被认为是具有颠覆性的次世代显示技术,得到学术界与产业界的广泛关注。Micro-LED显示技术是一种新自发光显... 现代社会已经进入信息化并向智能化方向发展,显示是实现信息交换和智能化的关键环节。在目前众多显示技术中,Micro-LED显示技术被认为是具有颠覆性的次世代显示技术,得到学术界与产业界的广泛关注。Micro-LED显示技术是一种新自发光显示技术,具有对比度高、响应快、色域宽、功耗低及寿命长等优点,可以满足高级显示应用的个性化需求。然而目前在Micro-LED显示商业化进程中,依然存在一些技术瓶颈尚未解决。应用于Micro-LED晶圆的外延技术需考虑衬底选择、波长均匀性及缺陷控制等方面因素;Micro-LED器件的效率衰减问题目前依然没有有效的解决途径;此外利用颜色转换媒介实现单片Micro-LED全彩显示技术尚未成熟。本文从以上3个问题点出发,分别综述了Micro-LED显示目前存在的技术问题及研究现状。 展开更多
关键词 氮化镓 micro-LED显示 外延 micro-LED器件 效率衰减 micro-LED全彩显示
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微弱电容信号的离散频率测试方法及其硬件电路的实现 被引量:5
19
作者 刘俊 徐佩 石云波 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期500-504,共5页
硅微惯性器件的微弱电容信号检测一直是微机械研究领域的重要问题,其检测方法及集成电路的实现已成为制约微惯性器件发展的一个重要因素。利用频率信号抗干扰性好的特点将微弱电容信号转换成频率信号,提出了一种利用离散频率测试的方法... 硅微惯性器件的微弱电容信号检测一直是微机械研究领域的重要问题,其检测方法及集成电路的实现已成为制约微惯性器件发展的一个重要因素。利用频率信号抗干扰性好的特点将微弱电容信号转换成频率信号,提出了一种利用离散频率测试的方法对加速度信号进行测试,使得所测加速度可以通过各离散频率点与步长频率的倍数关系直接读出,并通过硬件电路实现了该方法,对实验结果进行了验证,与理论仿真结果很相符。 展开更多
关键词 仪器仪表技术 微惯性器件 微弱信号 离散频率 步长频率
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重复使用的眼科显微手术器械清洗方法的改进及效果评价 被引量:9
20
作者 汪四秀 赵军 夏晓 《中华全科医学》 2018年第8期1389-1391,1402,共4页
目的探讨重复使用的眼科显微手术器械清洗方法改进后的效果,提高眼科显微手术器械清洗质量,杜绝医院感染的发生。方法选取2016年9—12月眼科显微手术器械600件,按照清洗方式将其随机分为常规组与改良组,每组300件。常规组采用常规清洗(... 目的探讨重复使用的眼科显微手术器械清洗方法改进后的效果,提高眼科显微手术器械清洗质量,杜绝医院感染的发生。方法选取2016年9—12月眼科显微手术器械600件,按照清洗方式将其随机分为常规组与改良组,每组300件。常规组采用常规清洗(多酶超声清洗);改良组采用预处理(预处理:眼科显微手术器械使用后放入盛装多酶溶液的容器内预处理)+多酶超声清洗+酸性清洁剂和医用润滑剂进行处置,观察2组眼科显微手术器械清洗后的合格率、细菌学检验、器械灵活度及损耗率。结果对比常规组与改良组,2组眼科显微手术器械清洗后目测合格率差异无统计学意义(P>0.05);镜检合格率改良组明显高于常规组(P<0.05);而在眼科显微手术器械灵活度上,改良组明显高于常规组(P<0.05),眼科显微手术器械损耗率方面,常规组则明显高于改良组(P<0.05);2组眼科显微手术器械清洗后的细菌检验阳性率差异有统计学意义(P<0.05)。结论改良组眼科显微手术器械的灵活性较常规组提高了9%,损耗率下降了2%,细菌检验阴性率提高6%,镜检法合格率上升了18.3%。改良组使用预处理、超声加多酶清洗、选用酸性清洁剂和医用润滑剂处置眼科显微手术器械,能够有效提高重复使用的眼科显微手术器械微小锈渍和斑点清除,确保重复使用的眼科显微手术器械的清洗质量,提高器械使用的灵活度,降低器械损耗率。 展开更多
关键词 眼科显微手术器械 清洗方法 效果评价
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