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计量型扫描电子显微镜测控系统研究 被引量：2
1
作者 张瑞军 高思田 +3 位作者 李伟 陈本永 施玉书 李琪 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第5期457-461,共5页
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，... 为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。 展开更多
关键词 计量学 计量型扫描电子显微镜 量值溯源 运动控制模块 激光外差干涉 图像采集与处理 LabVIEW
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基于晶圆栅格标准样片的特征尺寸扫描电子显微镜放大倍数在线校准 被引量：1
2
作者 金红霞 饶张飞 秦凯亮 《计量科学与技术》 2023年第2期29-35,共7页
半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中... 半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中,大多参照JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》进行测长示值误差的在线计量。基于100 nm晶圆栅格标准样片对CD-SEM放大倍数在线校准方法进行了重点讨论,并结合实例阐述了特定放大倍数下不确定度分析过程和结果符合性判定方法,同时进一步对校准过程中的3类问题和相应解决措施进行了总结,对今后集成电路纳米级参数测量设备在线校准研究具有借鉴意义。 展开更多
关键词 计量学 晶圆栅格标准样片 特征尺寸 CD-sem 放大倍数校准 不确定度分析
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扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测算法 被引量：3
3
作者 王智 李琪 +3 位作者 黄鹭 高思田 孙淼 董明利 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第10期1199-1204,共6页
基于数学几何学,提出一种扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测方法,该方法利用电镜颗粒图像的粒径分布及形状信息,采用长短轴比值和区域面积2种不同参数对颗粒是否团簇或残缺进行判断,实现筛选单个的完整颗粒,并使用MATLAB对不同粒径参数的颗... 基于数学几何学,提出一种扫描电镜纳米颗粒粒径自动检测方法,该方法利用电镜颗粒图像的粒径分布及形状信息,采用长短轴比值和区域面积2种不同参数对颗粒是否团簇或残缺进行判断,实现筛选单个的完整颗粒,并使用MATLAB对不同粒径参数的颗粒宽边缘形状进行提取,运用最小二乘法求出颗粒粒径的像素值,经转化后得到真实值,从而实现了微纳米颗粒粒径的自动检测。试验选取聚苯乙烯纳米颗粒对方法进行验证,结果表明:对于团簇残缺较少的图像,采用长短轴比值和面积2种参数进行筛选均能准确有效提取单点颗粒,但团簇残缺颗粒较多时,采用长短轴比值效果更加准确,且计算颗粒粒径与实际值吻合良好。 展开更多
关键词 计量学 粒径测量 纳米颗粒 扫描电子显微镜 长短轴比
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用于扫描电子显微镜校准的10μm格栅样板 被引量：2
4
作者 张晓东 赵琳 +3 位作者 李锁印 韩志国 许晓青 吴爱华 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第12期1544-1548,共5页
扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次... 扫描电子显微镜是半导体领域用于关键尺寸测量的重要仪器。为了保证仪器量值的准确和一致,需要对扫描电子显微镜进行校准。首先,针对校准规范中提到的正交畸变和线性失真度参数,采用半导体工艺,研制了一种标称值为10μm的格栅样板。其次,为了准确评价格栅特征的一致性,研究了一种矩形检测算法。测量过程中,使用该算法对样板的格栅特征进行测量,并把使用原子力显微镜获取的测量数据作为参考值。实验结果显示:矩形检测算法能够快速检测出格栅特征,测试数据稳定在6 nm以内。此外,研制的格栅样板一致性好,一致性参数控制在0.2以内,能够应用于扫描电子显微镜的校准。 展开更多
关键词 计量学 格栅样板 扫描电子显微镜 矩形检测算法 原子力显微镜 校准
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纳米尺度线宽粗糙度测量技术
5
作者 李洪波 赵维谦 +1 位作者 赵学增 高思田 《计量学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第B09期93-99,共7页
综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状。分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数，讨论了线宽粗糙度的测量障碍。分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成，讨论了采用原子... 综述了纳米尺度线宽粗糙度测量研究现状。分别论述了线宽粗糙度定义、各种测量工具的优缺点、目前线宽粗糙度采用的测量方法、分析方法及其表征参数，讨论了线宽粗糙度的测量障碍。分析了线宽粗糙度测量不确定度的构成，讨论了采用原子力显微镜为工具的线宽粗糙度测量的影响因素。 展开更多
关键词 计量学 线宽粗糙度 边缘粗糙度 原子力显微镜 扫描电子显微镜 散射仪
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利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究 被引量：6
6
作者 钱进 石春英 +4 位作者 谭慧萍 刘忠有 陈方毓 陈晓霞 黄晓蓉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第4期299-302,共4页
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测... 提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。 展开更多
关键词 计量学 扫描电子显微镜 纳米光栅 线距标准装置 一维光栅 长度基准
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利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征 被引量：3
7
作者 韩国强 景蔚萱 +1 位作者 蒋庄德 朱明智 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第5期426-429,共4页
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对... 利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究，提出了AFM探针参数动态表征的模型，基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征，提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征。该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善。 展开更多
关键词 计量学 MEMS 各向异性化学湿法刻蚀 原子力显微镜 线宽测量 探针表征
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