-
题名新型移相量块干涉仪的研制
被引量：7
- 1
-
-
作者
张旭东
刘香斌
王世婕
王振华
吴月艳
-
机构
中国计量科学研究院
内蒙古自治区计量测试研究院
-
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017年第3期257-261,共5页
-
基金
基金项目:中国计量科学研究院基本科研业务费(AKY1329
AKY1617)
-
文摘
研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015μm+0.07×10^(-6)L(L为量块长度,mm)。
-
关键词
计量学
量块测量
移相干涉仪
相位解包裹
小数重合法
-
Keywords
metrology
gauge block measurement
phase stepping interferometer
phase unwrapping
method of exact fractions
-
分类号
TB921
[一般工业技术—计量学]
-
-
题名基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法
被引量：3
- 2
-
-
作者
刘育彰
高宏堂
程银宝
王中宇
-
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
中国计量科学研究院
-
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第2期144-149,共6页
-
基金
国家质检总局能力提升项目(24-ANL1804)
工信部民机专项科研项目(MJZ-2018-J-70)
四川省科技计划项目(2019YFSY0039)。
-
文摘
搭建了一种用于端面距离微尺寸测量的干涉光路,分别以频率高度稳定的532 nm波长激光和波长不确定度水平相对较差的633 nm波长激光作为光源进行照射以获取干涉图样。使用电荷耦合器件(CCD)传感器获取干涉图样,采用数字图像处理手段清晰化干涉图样,并利用条纹的像素距离计算干涉条纹级次差的小数部分,用多波长的小数重合法计算端面间距。通过系统的软件部分,利用数字图像处理的手段对干涉图像的质量进行优化,在较为简单的实验条件下实现精度较高的端面距离微尺寸测量。
-
关键词
计量学
微尺寸测量
单稳频激光
端面距离
干涉条纹法
小数重合法
图像处理
-
Keywords
metrology
micro-dimension measurement
single frequency-stabilized laser
transverse spacing
interference fringe method
method of exact fractions
image processing
-
分类号
TB921
[一般工业技术—计量学]
-
