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一维金属光栅的透射光学特性 被引量:18
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作者 谈春雷 易永祥 汪国平 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期1063-1067,共5页
利用时域有限差分法模拟了一维金属光栅的透射光场的分布及光栅厚度等因素对透射光谱的影响 .结果表明 :特定波长的光通过金属光栅中的亚波长狭缝时有异常大的透过率增强 .分析其物理起源 ,认为是类Fabry Perot(F P)腔作用的结果 .基底... 利用时域有限差分法模拟了一维金属光栅的透射光场的分布及光栅厚度等因素对透射光谱的影响 .结果表明 :特定波长的光通过金属光栅中的亚波长狭缝时有异常大的透过率增强 .分析其物理起源 ,认为是类Fabry Perot(F P)腔作用的结果 .基底介电常量对类F P腔长度的调制导致了对透射光谱的影响 .金属光栅表面激发的表面等离子体激元波与多缝干涉一样 ,对透射光谱有一定的影响 。 展开更多
关键词 金属光栅 透射光学特性 时域有色差分法 透射光谱 干涉
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Fabry-Perot腔谐振对横电波激励下亚波长一维金属光栅的异常透射性的作用 被引量:10
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作者 王亚伟 刘明礼 +2 位作者 刘仁杰 雷海娜 田相龙 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期352-356,共5页
利用时域有限差分法,对横电波(TE波)激励带电介质的亚波长一维金属光栅的光场分布进行了模拟分析,发现TE波在所研究的模型下具有异常透射现象.探究其物理本质,确定类导模共振理论是第一个峰和第二个峰产生的主要原因.在此基础上,从麦克... 利用时域有限差分法,对横电波(TE波)激励带电介质的亚波长一维金属光栅的光场分布进行了模拟分析,发现TE波在所研究的模型下具有异常透射现象.探究其物理本质,确定类导模共振理论是第一个峰和第二个峰产生的主要原因.在此基础上,从麦克斯韦方程出发,通过有效折射率法,确定了类Fabry-Perot(F-P)腔谐振是产生第三个峰的主要原因.从而完善了TE波在所研究的模型下产生异常透射现象的物理本质.为进一步研究TE波异常透射性的物理本质提供了一种完整的理论依据. 展开更多
关键词 金属光栅 横电波 异常透射 类Fabry-Perot腔谐振
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横电波激励下亚波长一维金属光栅的异常透射性 被引量:5
3
作者 王亚伟 刘明礼 +2 位作者 刘仁杰 雷海娜 邓晓斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期4030-4035,共6页
针对一维亚波长金属光栅异常透射现象实现的问题,利用时域有限差分法,对横电波(TE波)激励带电介质的亚波长一维金属光栅的光场分布进行了模拟分析,得到了TE波的透射率与电介质折射率的变化关系,从而发现TE波在所研究的模型下具有异常透... 针对一维亚波长金属光栅异常透射现象实现的问题,利用时域有限差分法,对横电波(TE波)激励带电介质的亚波长一维金属光栅的光场分布进行了模拟分析,得到了TE波的透射率与电介质折射率的变化关系,从而发现TE波在所研究的模型下具有异常透射现象.基于导模共振理论建立了类导模共振理论,并应用该理论较好地解释了TE波在所研究模型下的异常透射现象,确定类导模共振是TE波产生异常透射性的主要原因.应用所建立的理论解决了传统透射理论无法解决的问题.类导模共振理论揭示了异常透射现象的物理本质,为进一步研究异常透射性的物理本质提供了一种理论依据. 展开更多
关键词 金属光栅 横电波 异常透射 类导模共振
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一维金属光栅的透射光增强效应的物理机制 被引量:5
4
作者 何启浩 汪国平 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期29-30,共2页
通过时域有限差分法模拟金属光栅狭缝中的光场分布随时间的演化及狭缝阵列参数对透射光谱的影响 ,进一步证明 ,一维金属光栅的透射光增强效应起源于狭缝中光场的类Fabry—Perot(F—P)共振。光栅参数变化产生的透射光谱的漂移是由于其对... 通过时域有限差分法模拟金属光栅狭缝中的光场分布随时间的演化及狭缝阵列参数对透射光谱的影响 ,进一步证明 ,一维金属光栅的透射光增强效应起源于狭缝中光场的类Fabry—Perot(F—P)共振。光栅参数变化产生的透射光谱的漂移是由于其对这种类F—P腔长度的调制。 展开更多
关键词 金属光栅 透射光 透射增强效应 物理机制 时域有限差分法 透射光谱
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Optimization of Duty Ratio of Metallic Grating Arrays for Infrared Photodetectors
5
作者 Dong Liu Yongqi Fu +4 位作者 Lechen Yang Baoshun Zhang Haijun Li Kai Fu Min Xiong 《Optics and Photonics Journal》 2011年第3期97-100,共4页
Influence of duty ratio of metallic gratings applied in quantum well infrared photodetector (QWIP) with detection ranging from 3 &#956m to 5 &#956m was studied in this paper. The influence on longer enhanced w... Influence of duty ratio of metallic gratings applied in quantum well infrared photodetector (QWIP) with detection ranging from 3 &#956m to 5 &#956m was studied in this paper. The influence on longer enhanced wavelength working at infrared waveband was investigated. A relationship between the duty ratio and the enhanced peak intensity is given. Some results can be applied to optimize the enhanced efficiency of the metallic gratings. 展开更多
关键词 metallic gratings DUTY Ratio Infrared Waveband QWIP
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基于亚波长光栅微结构的大角度容忍颜色滤波器 被引量:1
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作者 顾佳美 张思绮 +1 位作者 周虹邑 郑改革 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期636-640,共5页
基于金属光栅在可见光波段(400~760 nm)的电磁波传输及异常透射特性,设计并实现了一种由衬底、介质-金属复合结构以及金属光栅层组成的彩色滤波器。采用有效介质理论(EMT)并结合严格耦合波分析(RCWA)方法系统分析了结构参数对透射光谱... 基于金属光栅在可见光波段(400~760 nm)的电磁波传输及异常透射特性,设计并实现了一种由衬底、介质-金属复合结构以及金属光栅层组成的彩色滤波器。采用有效介质理论(EMT)并结合严格耦合波分析(RCWA)方法系统分析了结构参数对透射光谱的影响,结果表明所设计的光栅结构可以有效提高滤波器的角度容忍性,得到了红绿蓝(RGB)三色滤波器优化的结构参数,获得了具有高透射率和角度不敏感特性的光谱输出;红色、绿色、蓝色对应的滤波器谐振波长分别为705、590、452 nm,透射率极值分别达到66.4%、81.24%、81.23%. 展开更多
关键词 亚波长光学 金属光栅 彩色滤光片 严格耦合波分析
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TE激励下金属光栅电荷振荡的异常透射及其表面波分析
7
作者 田相龙 王先凯 +1 位作者 孟增辉 姜守望 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1110-1115,共6页
利用时域有限差分法,对TE偏振光(电场平行狭缝方向)激励下,不同结构和参数的带电介质亚波长一维金属光栅的光场分布进行了数值模拟实验。根据金属表面电荷分布理论和表面波理论对此现象进行了物理机理分析,通过分析可以得出在金属狭缝... 利用时域有限差分法,对TE偏振光(电场平行狭缝方向)激励下,不同结构和参数的带电介质亚波长一维金属光栅的光场分布进行了数值模拟实验。根据金属表面电荷分布理论和表面波理论对此现象进行了物理机理分析,通过分析可以得出在金属狭缝处产生柱面表面波,这种表面波可以突破衍射极限,从而引起异常透射;并且根据Ag的表面电荷分布及其激发机理分析,得到了透射峰位置与介质覆层厚度变化的动态响应以及金属薄膜厚度改变时透射率与波长变化的动态关系,确定了柱面表面波是该异常透射现象产生的一个重要原因。理论分析与模拟实验结果一致,从而为TE偏振光激励下的异常透射机理深入研究和结构参数的选择提供了较好的理论依据。 展开更多
关键词 TE偏振光 金属光栅 异常透射 表面波
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亚波长金属光栅的表面等离子体激元共振特性 被引量:13
8
作者 刘镜 刘娟 +1 位作者 王涌天 谢敬辉 《中国光学》 EI CAS 2011年第4期363-368,共6页
亚波长金属光栅在共振波长处有光场局域增强、异常透射等现象,为深入认识其共振机制,本文研究了亚波长金属光栅的表面等离子体激元(SPP)共振特性。通过研究不同金属光栅的几何结构以及金属介电常数对SPP共振波长的影响,获得了3种共振波... 亚波长金属光栅在共振波长处有光场局域增强、异常透射等现象,为深入认识其共振机制,本文研究了亚波长金属光栅的表面等离子体激元(SPP)共振特性。通过研究不同金属光栅的几何结构以及金属介电常数对SPP共振波长的影响,获得了3种共振波长的基本物理机制。采用周期边界元法进行数值模拟,在边界积分方程的基础上结合平面波展开方法来处理任意形状的周期性结构。模拟结果表明,3种共振波长可以分别由金属的材料、金属光栅周期和金属光栅厚度所调谐。该研究为微纳米光学器件的设计提供了依据。 展开更多
关键词 亚波长金属光栅 表面等离子体激元 共振波长 边界元方法
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高深宽比金属光栅制备及中红外波段传感特性 被引量:6
9
作者 郑改革 陈云云 +1 位作者 徐林华 赖敏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期154-159,共6页
利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了具有高深宽比的金光栅,使用傅里叶变换红外光谱仪测得了反射谱线.测量结果显示,只在p偏振光垂直于光栅矢量方向入射条件下才存在共振反射峰,证明了"伪表面等离子体激元波"的存在... 利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了具有高深宽比的金光栅,使用傅里叶变换红外光谱仪测得了反射谱线.测量结果显示,只在p偏振光垂直于光栅矢量方向入射条件下才存在共振反射峰,证明了"伪表面等离子体激元波"的存在.基于严格耦合波分析理论计算了金属光栅的反射率,研究了其作为中红外波段波长调制型表面等离子体共振传感器的可行性.数值计算表明负级次衍射光波对应的共振反射峰的移动能获得较高的波长灵敏度.对于深宽比为10的金光栅结构,+1级次和-3级次衍射光波对应的波长灵敏度分别为1600 nm/RIU和5000 nm/RIU,品质因子分别为20 RIU-1和60 RIU-1. 展开更多
关键词 高深宽比金属光栅 表面等离子体共振传感器 严格耦合波理论
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一维金属光栅的光学反射吸收 被引量:5
10
作者 傅正平 林峰 朱星 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期349-355,共7页
利用RCWA(rigid coupled-wave analysis)方法研究了一维金属光栅的反射特性,考察了瑞利反常、表面等离激元驻波共振和几何共振三种共振吸收机理,分析了这三种机理的相互作用,如表面等离激元驻波共振和几何共振可以形成混合模式.在反射... 利用RCWA(rigid coupled-wave analysis)方法研究了一维金属光栅的反射特性,考察了瑞利反常、表面等离激元驻波共振和几何共振三种共振吸收机理,分析了这三种机理的相互作用,如表面等离激元驻波共振和几何共振可以形成混合模式.在反射式复合金属光栅中,确认了第四种共振形式,即相位共振.数值计算表明相位共振对光学吸收的影响有两种形式:当光栅周期大于一个波长时,相位共振导致尖锐的吸收峰,峰位在几何共振吸收峰一侧;当光栅周期小于一个波长时,相位共振导致混合模式的共振吸收峰发生劈裂.对一维金属光栅反射特性的研究增加了对金属光栅共振吸收模式及其相互作用的认识. 展开更多
关键词 一维金属光栅 瑞利反常 表面等离激元 相位共振
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亚波长金属光栅结构的制备与矢量衍射理论分析 被引量:4
11
作者 郑改革 詹煜 +1 位作者 曹焜 徐林华 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期935-939,共5页
利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱。在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项... 利用纳米压印结合溅射和反应离子刻蚀工艺制备了周期为1μm、占空比为0.2的亚波长金属光栅,利用紫外-可见-近红外光谱仪测量了光栅的0级反射光谱。在严格耦合波分析的基础上,把光栅区域电磁场的空间谐波通过勒让德多项式展开,使用多项式展开的谱分析法求解常微分方程,计算了该亚波长金属光栅的反射光谱及磁场分布。实验测量结果同矢量衍射理论计算结果都显示,该光栅在近红外、中红外波段具有表面等离子体共振现象。数值计算结果还表明,对于此类亚波长金属光栅,当光栅的深宽比增加时,其反射光谱中会出现更多的反射谷。 展开更多
关键词 亚波长金属光栅 纳米压印 表面等离子体
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用MoM-PCG-FFT分析金属栅有限阵列的散射问题 被引量:1
12
作者 周后型 洪伟 童创明 《微波学报》 CSCD 北大核心 2001年第2期34-40,共7页
本文用矩量法、预条件共轭梯度法和快速傅里叶变换 (Mo M- PCG- FFT)的混合技术来分析金属栅有限阵列的电磁散射问题。首先以等效电流作为未知函数建立积分方程组或积 -微分方程组 ,再用矩量法 (脉冲 /点匹配 )获得一个线性代数方程组 ... 本文用矩量法、预条件共轭梯度法和快速傅里叶变换 (Mo M- PCG- FFT)的混合技术来分析金属栅有限阵列的电磁散射问题。首先以等效电流作为未知函数建立积分方程组或积 -微分方程组 ,再用矩量法 (脉冲 /点匹配 )获得一个线性代数方程组 ,其系数矩阵是一个对称二重复Toeplitz矩阵。基于这一特点 ,应用预条件共轭梯度法和快速傅里叶变换的结合算法 (PCGFFT)来求解这个线性代数方程组 ,其中预条件器选用 T.Chan循环预条件器的二重分块形式。文中给出的数值算例表明该混合技术是有效的 ,适用于较大的金属栅有限阵列的分析。 展开更多
关键词 矩量法 金属栅有限阵列 电磁散射 预条件共轭梯度法 快速傅里叶变换
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亚波长金属光栅光刻条纹分布
13
作者 米佳佳 张颖 石建平 《淮南师范学院学报》 2015年第3期32-34,共3页
亚波长金属光栅表面等离激元(SPP)具有光场局域增强、异常透射等现象,被广泛用于光刻。利用FDTD Solutions软件,改变金属光栅材料、周期、厚度等因素,通过有限时域差分方法探究表面等离共振光刻条纹分布特点。仿真结果表明,亚波长金属... 亚波长金属光栅表面等离激元(SPP)具有光场局域增强、异常透射等现象,被广泛用于光刻。利用FDTD Solutions软件,改变金属光栅材料、周期、厚度等因素,通过有限时域差分方法探究表面等离共振光刻条纹分布特点。仿真结果表明,亚波长金属光栅光刻条纹分布周期是光栅的周期一半,光刻条纹强度在表面等离共振波长作用下也会大于入射光强度。该研究为微纳米光学器件的设计提供了依据。 展开更多
关键词 亚波长金属光栅 表面等离子体激元 光刻 有限时域差分方法
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THz波微结构器件特性的研究
14
作者 栗岩锋 王昌雷 +6 位作者 刘丰 田震 谷建强 胡明列 柴路 王清月 邢岐荣 《中国电子科学研究院学报》 2009年第3期263-267,共5页
在电磁波谱中所处的特殊位置使得THz波在在物理、化学、生物医学、电子科学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用前景。综述了THz波微结构器件特性方面的研究工作。亚波长金属周期微结构器件的THz波谱选择增强透射现象,亚波长环形... 在电磁波谱中所处的特殊位置使得THz波在在物理、化学、生物医学、电子科学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用前景。综述了THz波微结构器件特性方面的研究工作。亚波长金属周期微结构器件的THz波谱选择增强透射现象,亚波长环形槽金属线上的THz等效表面等离子体激元,以及THz光子晶体光纤。 展开更多
关键词 THZ波 THz波微结构器件 THz波谱选择增强透射现象 THz等效表面等离子体激元 THz光子晶体光纤
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任意槽形金属光栅衍射特性的矢量理论分析与计算 被引量:9
15
作者 樊叔维 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第2期101-105,共5页
根据麦克斯韦基本方程组 ,推导了描述任意槽形金属光栅衍射特性的矢量理论分析方法——严格的耦合波方法 ,该方法可用来分析具有任意面型函数的金属光栅在 TE ,TM两种偏振模式的平面波入射下的光栅衍射特性。文中讨论了光栅结构参数 ,... 根据麦克斯韦基本方程组 ,推导了描述任意槽形金属光栅衍射特性的矢量理论分析方法——严格的耦合波方法 ,该方法可用来分析具有任意面型函数的金属光栅在 TE ,TM两种偏振模式的平面波入射下的光栅衍射特性。文中讨论了光栅结构参数 ,入射波参数对衍射效率的影响以及金属光栅的损耗。 展开更多
关键词 衍射 金属光栅 耦合波理论 矢量理论
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带有高折射率介质层的金属光栅偏振器特性的研究 被引量:12
16
作者 周云 申溯 +2 位作者 叶燕 浦东林 陈林森 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1158-1161,共4页
研究了一种亚波长金属光栅偏振器在可见光波段的透射与消光特性。与传统亚波长光栅偏振器不同的是,通过在基底和光栅之间增加一层高折射率介质薄膜,提高了TM偏振光透射率和消光比。利用严格耦合波分析法(RCWA),模拟了高折射率介质层厚... 研究了一种亚波长金属光栅偏振器在可见光波段的透射与消光特性。与传统亚波长光栅偏振器不同的是,通过在基底和光栅之间增加一层高折射率介质薄膜,提高了TM偏振光透射率和消光比。利用严格耦合波分析法(RCWA),模拟了高折射率介质层厚度、光栅占宽比对透射率和消光比的影响。计算结果表明,在整个可见光波段,合适的介质层厚度可使透射更加均匀并且当入射角在0~60°变化时,TM偏振光的透射率和消光比仍可分别达到79%和50 dB。这种带有高折射率介质层的亚波长金属光栅偏振器结构紧凑,性能优良,特别适合作为液晶平板显示中的偏振分光器件。 展开更多
关键词 偏振器 严格耦合波分析法 金属光栅
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基于金属光栅实现石墨烯三通道光吸收增强 被引量:11
17
作者 江孝伟 武华 袁寿财 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第13期270-277,共8页
为了增强单层石墨烯在可见光和近红外波段的吸收效率并实现多通道光吸收.本文利用石墨烯-金属光栅-介质层-金属衬底混合结构在λ1=0.553μm、λ2=0.769μm、λ3=1.130μm三通道上提高了石墨烯吸收效率,石墨烯吸收效率最高可达41%.对3个... 为了增强单层石墨烯在可见光和近红外波段的吸收效率并实现多通道光吸收.本文利用石墨烯-金属光栅-介质层-金属衬底混合结构在λ1=0.553μm、λ2=0.769μm、λ3=1.130μm三通道上提高了石墨烯吸收效率,石墨烯吸收效率最高可达41%.对3个光吸收增强通道的磁场分布分析可得它们分别源于表面等离子体激元共振、法布里-帕罗干涉腔共振、磁激元共振.经过模拟分析可知,通过调节金属光栅宽度、介质层厚度可以调谐混合结构的共振峰波长和吸收效率,而石墨烯化学势仅能对共振峰λ3的吸收效率有影响.最后优化结构参数,在最优结构参数下混合结构在3个光吸收增强通道的光吸收效率可达0.97以上,这可以作为超材料吸收器. 展开更多
关键词 石墨烯 金属光栅 吸收效率 光吸收增强通道
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基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅 被引量:9
18
作者 褚金奎 康维东 +1 位作者 曾祥伟 张然 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3034-3040,共7页
用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200... 用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200nm,线宽100nm,深宽比1∶1。该方法采用热纳米压印工艺将母模板光栅结构复制到IPS(Intermediate Ploymer Sheet)材料上,制作出压印所需软模板;随后通过紫外纳米压印工艺将IPS软模板压印到STU-7压印胶,得到结构完整均匀的介质光栅;最后在介质光栅上垂直热蒸镀金属铝,完成中红外双层金属纳米光栅的制备。对所制备光栅进行了测试,结果表明,所制备光栅在2.5~5μm波段的TM偏振透射率超过70%,在2.7~5μm波段的消光比超过30dB,在2.72~3.93μm波段的消光比超过35dB,显示了优异的消光比特性和偏振特性。该研究结果在红外偏振探测、红外偏振传感等方面具有潜在应用。 展开更多
关键词 纳米光栅 中红外光栅 金属光栅 柔性纳米压印 IPS(Intermediate PloymerSheet) 热蒸镀
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分析无限平面金属栅电磁散射问题的一种新方法 被引量:8
19
作者 洪伟 章文勋 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第3期47-51,共5页
本文基于直线法和Floquet定理提出了一种分析无限平面金属栅周期结构电磁散射问题的新方法。数值结果与谱域法结果和实验结果一致,但本文方法具有数学模型简单,计算量小等优点。
关键词 直线法 周期结构 电磁 散射 金属栅
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亚波长金属光栅/电介质/金属混合波导传感结构的研究 被引量:9
20
作者 陈颖 田亚宁 +2 位作者 何磊 韩帅涛 朱奇光 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期253-259,共7页
提出了一种亚波长金属光栅/电介质/金属混合波导传感结构,在结构中可产生导模共振模式、表面等离子激元共振模式和局域表面等离子体模式,模式之间互相耦合,从而在反射光谱中形成两个窄带共振缺陷峰。通过研究共振缺陷峰处磁场分布和结... 提出了一种亚波长金属光栅/电介质/金属混合波导传感结构,在结构中可产生导模共振模式、表面等离子激元共振模式和局域表面等离子体模式,模式之间互相耦合,从而在反射光谱中形成两个窄带共振缺陷峰。通过研究共振缺陷峰处磁场分布和结构参数对反射谱的影响,分析了结构中的共振模式。根据导模共振原理和表面等离子体共振形成条件,建立共振缺陷峰波长与结构参数之间的关系模型,通过观察共振缺陷峰波长的漂移实现待测样本气体浓度的动态实时监测。以多孔硅为传感载体、甲醛气体为待测样本,分析传感器的品质因数和灵敏度。结果表明,两个窄带共振缺陷峰的品质因数分别可达42.3RIU-1和78.5RIU-1,灵敏度分别为466nm/RIU和628nm/RIU。 展开更多
关键词 传感器 金属光栅 导模共振 表面等离子激元
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