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热屏优化对大直径单晶硅生长影响的数值模拟 被引量:13
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作者 滕冉 戴小林 +2 位作者 徐文婷 肖清华 周旗钢 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期238-242,252,共6页
通过对28英寸热场生长300 mm硅单晶过程中结晶速率、固液界面形状、晶体中热应力及晶体中氧含量的数值计算提出了在该热场条件下热屏的优化方案。数值计算结果表明:对热屏底端与晶体表面和熔体自由液面的距离以及热屏材料(优化前热屏使... 通过对28英寸热场生长300 mm硅单晶过程中结晶速率、固液界面形状、晶体中热应力及晶体中氧含量的数值计算提出了在该热场条件下热屏的优化方案。数值计算结果表明:对热屏底端与晶体表面和熔体自由液面的距离以及热屏材料(优化前热屏使用单一石墨材料,优化后采用辐射率较高的内壁材料结合反射率较高的外壁材料组成复合式热屏)的优化可以减少主加热器对晶体的热辐射使得固液界面更加平坦,藉此增加结晶速率,减小晶体内热应力和熔体中氧含量。 展开更多
关键词 硅单晶 数值模拟 热屏 固液界面
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泡生法蓝宝石不同生长阶段热应力的数值模拟研究 被引量:11
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作者 杨琳 左然 +1 位作者 苏文佳 娄中士 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第22期134-137,共4页
利用计算机模拟对泡生法蓝宝石单晶各生长阶段的热应力进行了分析,发现晶体中最大热应力位于籽晶与新生晶体交界处或靠近固液界面的晶体边缘,其次位于晶体肩部。在此基础上,针对某一生长阶段讨论了加热器位置和坩埚形状对晶体中热应力... 利用计算机模拟对泡生法蓝宝石单晶各生长阶段的热应力进行了分析,发现晶体中最大热应力位于籽晶与新生晶体交界处或靠近固液界面的晶体边缘,其次位于晶体肩部。在此基础上,针对某一生长阶段讨论了加热器位置和坩埚形状对晶体中热应力分布的影响。结果表明:固液界面处的热应力随着加热器轴向中点与熔体轴向中点的距离L的增加先减后增,当L为190mm时,晶体中热应力最小;随着坩埚底部倒角半径的增加,固液界面处热应力呈上升的趋势。 展开更多
关键词 泡生法 蓝宝石单晶 数值模拟 固液界面热应力
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尺寸效应对坩埚下降法生长氟化钙晶体影响机制的数值模拟分析
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作者 施宇峰 王鹏飞 +1 位作者 穆宏赫 苏良碧 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第6期973-981,共9页
高质量大尺寸氟化钙晶体是深紫外光刻、空天相机等高端应用不可或缺的光学材料,同时制备高质量大尺寸晶体也是晶体生长领域的难题。本文以数值手段分别模拟了3、7和20英寸(1英寸=2.54 cm)氟化钙晶体在不同生长阶段的传热、流动及相变过... 高质量大尺寸氟化钙晶体是深紫外光刻、空天相机等高端应用不可或缺的光学材料,同时制备高质量大尺寸晶体也是晶体生长领域的难题。本文以数值手段分别模拟了3、7和20英寸(1英寸=2.54 cm)氟化钙晶体在不同生长阶段的传热、流动及相变过程。结果表明,晶体尺寸增加大幅加强熔体流动强度,而且造成坩埚外壁散热部分的面积急剧增加,由此引发固液界面局部凹陷、径向温差增大、晶体边缘-中心温差翻转、生长界面附近的轴向温梯大幅衰减等问题。此外,本文还就大尺寸氟化钙晶体生长中的坩埚下降速率和发热体功率的优化控制策略进行了探讨。 展开更多
关键词 CaF_(2)晶体 坩埚下降法 尺寸效应 数值模拟 固液界面 温度梯度
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Influence of the gravity on interface shape during crystal growth of LICAF
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作者 刘永才 陈万春 《Science China Mathematics》 SCIE 2000年第4期430-438,共9页
A Galerkin finite element method, together with the boundary conformal mapping technique, is used to investigate the change of melWcrystal interface under low gravity during the growth of LEAF system. Results have sho... A Galerkin finite element method, together with the boundary conformal mapping technique, is used to investigate the change of melWcrystal interface under low gravity during the growth of LEAF system. Results have shown that strong convection can cause a deeply concave interface toward the crystal, and significantly increase radial thermal gradients near the interface. The flow intensity and the change of the gravity have a linear relationship under low gravity (g o u = 10?2-10?6). At smallMa number, the maximum acceleration for keeping a planar growth interface is gmax = 1 × 10?3 g under our given conditions. In addition, the growth velocity may have some influence on the growth interface shape even atpg gravity level, indicating that the growth velocity cannot be too fast even when convection is very weak. 展开更多
关键词 finite element method CONVECTION HORIZONTAL BRIDGMAN melt/crystal interface.
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泡生法大尺寸蓝宝石晶体的生长速率对固液界面的影响 被引量:2
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作者 王凯 郭余庆 +1 位作者 王鸣 葛楠楠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期2084-2089,共6页
采用有限元法,对泡生法生长蓝宝石晶体不同生长阶段固液界面的形状和温度梯度进行模拟计算,探讨分析了生长速率对放肩、等径阶段蓝宝石生长的影响。结果表明:固液界面凸出度在放肩阶段较大,在等径阶段凸出度相对较小,固液界面温度梯度... 采用有限元法,对泡生法生长蓝宝石晶体不同生长阶段固液界面的形状和温度梯度进行模拟计算,探讨分析了生长速率对放肩、等径阶段蓝宝石生长的影响。结果表明:固液界面凸出度在放肩阶段较大,在等径阶段凸出度相对较小,固液界面温度梯度随着晶体生长不断减小。在合理速率范围内,放肩阶段0~2 mm/h,速率对固液界面的影响很小,等径阶段2~5 mm/h,速率对固液界面的影响越来越大,固液界面温度梯度和形变均随速率的增大而减小。利用模拟结果,调节实际晶体生长工艺参数,成功长出80 kg的大尺寸高质量蓝宝石晶体。 展开更多
关键词 泡生法 蓝宝石晶体 有限元 固液界面 生长速率
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