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角度测量技术的发展 被引量：46
1
作者 陶卫 浦昭邦 孙运斌 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期5-7,共3页
角度测量是几何量计量技术的重要组成部分。本文对近年来常用的几种角度测量方法及其发展进行了介绍 ,主要介绍了其中最具有发展前途的光学测角技术。对圆光栅测角法、激光干涉测角法和环形激光测角法分别进行了详细的介绍 ,给出了每种... 角度测量是几何量计量技术的重要组成部分。本文对近年来常用的几种角度测量方法及其发展进行了介绍 ,主要介绍了其中最具有发展前途的光学测角技术。对圆光栅测角法、激光干涉测角法和环形激光测角法分别进行了详细的介绍 ,给出了每种方法的测量原理和应用场合 。 展开更多
关键词 角度测量 光学方法 激光干涉 环形激光 光学测角技术
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基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统 被引量：32
2
作者 吕强 李文昊 +3 位作者 巴音贺希格 柏杨 刘兆武 王玮 《中国光学》 EI CAS CSCD 2017年第1期39-50,共12页
介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测... 介绍了基于几何莫尔条纹原理和衍射干涉原理的两种光栅精密位移测量系统及各自的特点。综述了国内外对光栅干涉式精密位移测量系统的研究进展,总结了系统存在的关键问题及发展趋势。光栅干涉式精密位移测量系统的优点是对环境要求小,测量分辨率和精度较高,结构紧凑,成本低。该系统需要解决的问题包括提高光栅以及光学元器件制造和安装精度;寻求一种更高精度的检测手段对光栅位移测量系统进行标定等。光栅干涉式精密位移测量系统的发展方向为更高测量分辨率和精度,大量程、多维度测量以及尺寸小巧。该系统在现代工业加工精密制造领域将具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 位移测量 光栅 衍射干涉 高精度
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用宽带模拟量光纤传输系统测量脉冲电磁场 被引量：30
3
作者 李炎新 石立华 +2 位作者 高成 陈彬 周璧华 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期34-36,共3页
介绍了一种在强电磁场环境中用于传输脉冲信号的宽带模拟量光纤传输系统。通过采用场效应管做前级放大与光电器件的非线性预校正,且提高级间RC耦合时间常数。该系统动态范围大,非线性失真小,带宽达到1 Hz^150 MHz,调整输入电路并配合天... 介绍了一种在强电磁场环境中用于传输脉冲信号的宽带模拟量光纤传输系统。通过采用场效应管做前级放大与光电器件的非线性预校正,且提高级间RC耦合时间常数。该系统动态范围大,非线性失真小,带宽达到1 Hz^150 MHz,调整输入电路并配合天线能测量脉冲磁场或脉冲电场。给出了脉冲电磁场测量的耦合电路和测试实例。测试结果表明该系统很适用于宽带脉冲电磁场的测量。 展开更多
关键词 光纤传输系统 脉冲测量 电磁干扰 电磁场
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磁罗盘误差分析与校准 被引量：28
4
作者 晁敏 蒋东方 文彩虹 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期525-532,共8页
根据磁罗盘的工作原理,在详细分析了磁干扰和仪表误差等影响磁罗盘精度各因素的基础上,首先建立了一个用矩阵方程描述的磁罗盘方位指向输出的精确测量模型;接着证明了目前广泛使用的几种罗盘指向解算模型仅是上述精确测量模型在不同特... 根据磁罗盘的工作原理,在详细分析了磁干扰和仪表误差等影响磁罗盘精度各因素的基础上,首先建立了一个用矩阵方程描述的磁罗盘方位指向输出的精确测量模型;接着证明了目前广泛使用的几种罗盘指向解算模型仅是上述精确测量模型在不同特定条件下的简化或泛化;随后基于不同姿态下的椭圆拟合算法对上述精确测量模型各个参数进行辨识,提出了全面校准磁罗盘方位指向的方法和步骤;最后用实例检验并比较了采用椭圆拟合模型和精确测量模型对罗盘方位解算的效果,验证了该精确测量模型的广泛适用性。 展开更多
关键词 方位测量 磁罗盘 测量模型 磁场干扰 罗差修正
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用衍射光栅和CCD测量透明材料折射率 被引量：25
5
作者 邓广安 蔡志岗 +3 位作者 张运华 徐宇科 吴水珠 周建英 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期99-103,共5页
介绍了一种基于衍射光栅干涉和CCD图像测量的测量透明材料折射率的方法。这种方法使用的仪器少 ,操作简单 ,配合CCD与图像处理的运用 ,尝试的两种测量方案都使精度能够达到 10 -4。两种测量方案对同一玻璃基片的测量结果基本吻合 ,而第... 介绍了一种基于衍射光栅干涉和CCD图像测量的测量透明材料折射率的方法。这种方法使用的仪器少 ,操作简单 ,配合CCD与图像处理的运用 ,尝试的两种测量方案都使精度能够达到 10 -4。两种测量方案对同一玻璃基片的测量结果基本吻合 ,而第二种测量方案的测量精度要优于第一种 ,这是因为就我们目前的实验条件而言 ,CCD判别条纹移动的精度对折射率测量的影响要小于角度测量精度对之的影响。该方法还可以测量各向同性透明薄膜样品的折射率 ,为探索新型有机薄膜的折射率及其有关特性提供便利的手段。讨论了测量的基本原理和样品的测量结果 ,并对实验方法误差进行了分析。 展开更多
关键词 衍射光栅 光学测量 折射率 透明材料 干涉 衍射 CCD图像测量 转角 光程改变量
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双路信号相位同步测量系统设计与实现 被引量：27
6
作者 杜志广 颜树华 +2 位作者 林存宝 王国超 魏春华 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期315-319,共5页
为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统... 为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统在100k Hz载波频率下测量分辨率可以达到0.18°,双路信号下的相位同步测量误差同样为0.18°。结果表明,该系统实现了整小数相位的精确测量,确保了双路信号相位的实时同步探测,能够满足各种2维外差干涉位移测量系统对相位同步测量的需求。 展开更多
关键词 测量与计量 相位测量 双路同步 脉冲填充 外差干涉
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基于激光技术的亚纳米级位移测量系统的研究 被引量：21
7
作者 曲兴华 王丽华 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1276-1281,共6页
研究和开发一种基于激光技术的新型亚纳米级位移测量系统。在马赫-曾德干涉仪的基础上进行改进,结合激光多普勒技术和激光偏振干涉技术,设计新型激光干涉测量光路,具有抗干扰能力更强、光路简单、易于安装调试等特点。将DSP技术引入激... 研究和开发一种基于激光技术的新型亚纳米级位移测量系统。在马赫-曾德干涉仪的基础上进行改进,结合激光多普勒技术和激光偏振干涉技术,设计新型激光干涉测量光路,具有抗干扰能力更强、光路简单、易于安装调试等特点。将DSP技术引入激光干涉仪的信号处理系统,研究改进的8细分算法,完成对干涉条纹的细分、辨向和计数功能。经实验分析和研究证明,测量分辨力达到0.16 nm,运行速度可达0.14 mm/s,量程可达4μm,上述方法有效可行,可实现被测物体的亚纳米级位移测量。 展开更多
关键词 精密测量 亚纳米级位移 激光多普勒技术 偏振干涉
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煤矿井下中低频段电磁干扰测量与分析 被引量：17
8
作者 邹哲强 庄捷 屈世甲 《工矿自动化》 北大核心 2013年第5期1-5,共5页
针对煤矿井下监控装置主要受中低频段电磁干扰影响的问题,采用示波器和频谱分析仪对煤矿井下动力电缆浪涌干扰、电力变频器干扰、接地网干扰、电动机及电气设备辐射干扰、架线电机车干扰、漏泄通信系统干扰等主要的中低频段电磁干扰源... 针对煤矿井下监控装置主要受中低频段电磁干扰影响的问题,采用示波器和频谱分析仪对煤矿井下动力电缆浪涌干扰、电力变频器干扰、接地网干扰、电动机及电气设备辐射干扰、架线电机车干扰、漏泄通信系统干扰等主要的中低频段电磁干扰源进行了测量与分析。结果表明,动力电缆浪涌干扰、电力变频器干扰、电动机及电气设备辐射干扰较大;接地网干扰、架线电机车干扰次之;漏泄通信系统干扰和动力电缆的工频干扰相对较小。 展开更多
关键词 煤矿 电磁干扰 中低频段 干扰测量 工频干扰 干扰频率
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基于双光栅的纳米测量方法 被引量：17
9
作者 周绍林 杨勇 +5 位作者 陈旺富 严伟 马平 蒋文波 胡松 唐小萍 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期702-706,共5页
针对两个物体或平面的相对位移和间隙的纳米级变化量,提出并研究了一种光栅测量方法。采用两组周期接近的微光栅重叠可以产生一组周期分布的条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,并将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中。建... 针对两个物体或平面的相对位移和间隙的纳米级变化量,提出并研究了一种光栅测量方法。采用两组周期接近的微光栅重叠可以产生一组周期分布的条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,并将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中。建立了关于双光栅产生叠栅条纹的复振幅分布的近似理论模型。基于该模型设计了一种能够测量两个平行平面相对位移和间隙的方法。针对光栅移动产生相应条纹的过程进行了数值计算。结果表明,两个平行平面的相对微位移将引起相应条纹的大位移,并且该方法最终能在纳米级以内分辨两平面(物体)的相对位移或者间隙变化量。 展开更多
关键词 纳米测量 光栅 干涉 叠栅条纹
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±500kV三沪直流输电线路电磁环境测试分析 被引量：15
10
作者 孙竹森 王勤 +2 位作者 万保权 张建功 谢辉春 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期65-68,共4页
±500 kV三沪直流输电线路极导线垂直排列方式在世界上首次应用于工程,系统了解这种导线布置方式下地面合成场强、无线电干扰等电磁环境水平,可为今后广泛应用于直流输电工程设计,以减小线路走廊宽度、满足电磁环境要求提供技术支持... ±500 kV三沪直流输电线路极导线垂直排列方式在世界上首次应用于工程,系统了解这种导线布置方式下地面合成场强、无线电干扰等电磁环境水平,可为今后广泛应用于直流输电工程设计,以减小线路走廊宽度、满足电磁环境要求提供技术支持,故在±500 kV三沪直流线路调试期间,依据环评标准测量了极导线垂直排列和水平排列线下的电磁环境参数。测量结果为:极导线垂直排列线下合成场强最大值为15 kV/m,水平排列合成场强最大值为8.2 kV/m(正极导线侧);极导线垂直排列、水平排列正极导线投影20m处的无线电干扰值分别为51.0dB5、3.3 dB,这些参数均满足地面合成场强<30kV/m,无线电干扰水平<55dB的设计要求。 展开更多
关键词 ±500 KV 直流输电线路 测量 合成场强 无线电干扰 限制值
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完全氧化法测定高氯废水的COD_(Cr) 被引量：15
11
作者 严莲荷 王风云 《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 1999年第5期26-29,共4页
从热力学的角度出发，导出了在ＣＯＤ测定过程中Ｃｌ－ 的完全氧化条件。通过不同浓度的含氯邻苯二甲酸氢钾标准溶液和含氯乙醇标准水样的测定表明， 在所提出的完全氧化条件下，由所测得的表观ＣＯＤ减去Ｃｌ－ 的理论ＣＯＤ便得到水... 从热力学的角度出发，导出了在ＣＯＤ测定过程中Ｃｌ－ 的完全氧化条件。通过不同浓度的含氯邻苯二甲酸氢钾标准溶液和含氯乙醇标准水样的测定表明， 在所提出的完全氧化条件下，由所测得的表观ＣＯＤ减去Ｃｌ－ 的理论ＣＯＤ便得到水样的真实ＣＯＤ，测定结果与实际吻合较好。最后，对测定过程中的有关问题进行了讨论。 展开更多
关键词 COD测定 氯离子干扰 高氯废水 废水监测 氧化法
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基于法布里-珀罗腔反射光相位特性设计的梳状滤波器 被引量：15
12
作者 陈海星 李海峰 +1 位作者 顾培夫 刘旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期37-40,共4页
提出了一种用于设计密集波分复用全光网络中梳状滤波器的方法 ,该器件利用法布里珀罗腔反射光相位的非线性性质 ,结合光的相位在一定光程差下随频率呈线性周期变化的特点 ,通过使这样两束相位匹配的光发生干涉 ,得到所需滤波特性。运用... 提出了一种用于设计密集波分复用全光网络中梳状滤波器的方法 ,该器件利用法布里珀罗腔反射光相位的非线性性质 ,结合光的相位在一定光程差下随频率呈线性周期变化的特点 ,通过使这样两束相位匹配的光发生干涉 ,得到所需滤波特性。运用薄膜特征矩阵对模型进行了模拟计算 ,并分析了计算结果 ,论证了这种结构的可行性。 展开更多
关键词 反射光 相位特性 设计 法布里-珀罗腔 干涉 密集波分复用 梳状滤波器 DWDM 全光网络
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定点形变观测的降雨干扰及排除方法研究 被引量：16
13
作者 汪翠枝 张磊 +4 位作者 刘双庆 周明全 刘文兵 李恩建 董洪军 《华北地震科学》 2010年第1期42-47,共6页
分析了蓟县小辛庄台形变观测资料的降雨响应特征,对观测数据的非潮汐部分分别用一般距平法去年周期、K-L直线拟合方法去线性零漂等处理,再用动态系统法[1]对预处理数据进行排除降雨干扰计算,取得了一定的效果。
关键词 形变观测 降雨干扰 动态系统法 干扰排除
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数字化气氡观测干扰因素的分析研究 被引量：16
14
作者 张朝明 陈华静 +4 位作者 朱方保 李罡风 陶月潮 罗志春 束克明 《地震地质》 EI CSCD 北大核心 2003年第4期640-646,共7页
在进行地下流体数字化气氡观测及将观测资料应用于震情分析的过程中 ,发现某些干扰因素对数字化气氡观测和水氡的影响不同。在目前所用观测仪器和方法的条件下 ,气温对气氡值的影响系数为 - 0 4 % /℃ ;气压对气氡测值的影响系数为 0 ... 在进行地下流体数字化气氡观测及将观测资料应用于震情分析的过程中 ,发现某些干扰因素对数字化气氡观测和水氡的影响不同。在目前所用观测仪器和方法的条件下 ,气温对气氡值的影响系数为 - 0 4 % /℃ ;气压对气氡测值的影响系数为 0 1% /hPa ;不同类型的气水分离装置对气氡观测的影响很显著 ;同一含水层的井 (泉 )出水量的短期变化可引起观测水井流量的变化 ,但对气氡测值影响不显著 ;气氡测值对逸出气流量的变化反映不明显 ;逸出气含有杂质及气路泄漏等均会引起测值的下降。结合仪器的工作原理 ,对干扰产生的机制以及排除的方法进行了讨论。 展开更多
关键词 数字化观测 气氡 资料处理 干扰 地下流体 前兆观测
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弱湍流信道中的调制技术 被引量：15
15
作者 贾科军 薛建彬 +1 位作者 彭铎 张玺君 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期569-573,共5页
基于弱湍流的无线光通信系统信道模型,对开关键控(OOK)、脉冲位置调制(PPM)、差分脉冲位置调(DPPM)、数字脉冲间隔调制(DPIM)和双头脉冲间隔调制(DH-PIM)调制方式的符号结构、发射功率、传输带宽以及误包率进行了理论推导和对比分析。... 基于弱湍流的无线光通信系统信道模型,对开关键控(OOK)、脉冲位置调制(PPM)、差分脉冲位置调(DPPM)、数字脉冲间隔调制(DPIM)和双头脉冲间隔调制(DH-PIM)调制方式的符号结构、发射功率、传输带宽以及误包率进行了理论推导和对比分析。结果表明,PPM必须需要符号同步和时隙同步,而DPIM、DPPM、DH-PIM调制只要求时隙同步。OOK的平均发射功率最大,PPM的平均发射功率最小,DH-PIM比OOK小但是比DPIM和DPPM大,DPIM发射功率特性略优小于DPPM。当M=6时与OOK调制平均发射功率比较,PPM调制节约功率约15 dB,DPPM和DPIM调制节约功率约12 dB,当α=2时DH-DPIM调制节约功率约10 dB。OOK带宽需求最小,PPM带宽需求最大,DPIM的带宽特性略大于DPPM,DH-PIM带宽需求大于OOK但小于DPPM。当M=6时与OOK带宽比较,PPM带宽需求约为OOK的11倍,DPPM和DPIM的带宽需求约为OOK的6倍,当α=2时DH-DPIM带宽需求为OOK的3倍。在相同平均背景光子和相同平均光脉冲接收光子的条件下PPM、DPIM、DPPM、DH-PIM和OOK调制方式的误包率依次增大。 展开更多
关键词 无线光通信 调制技术 弱湍流信道 误包率
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电磁脉冲模拟器仿真与实验研究 被引量：13
16
作者 李云伟 王泽忠 +2 位作者 卢斌先 张志军 张芳 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期128-131,共4页
为了获得电磁脉冲模拟器工作区间内瞬态电磁场的分布情况并用时域有限差分法对自建的电磁脉冲模拟器进行了建模和数值仿真，并用三维瞬态电场测量系统和瞬态磁场测量系统实际测量了模拟器工作区间内的瞬态电磁场。仿真和测量结果表明，... 为了获得电磁脉冲模拟器工作区间内瞬态电磁场的分布情况并用时域有限差分法对自建的电磁脉冲模拟器进行了建模和数值仿真，并用三维瞬态电场测量系统和瞬态磁场测量系统实际测量了模拟器工作区间内的瞬态电磁场。仿真和测量结果表明，该电磁脉冲模拟器可产生上升沿为20-30ns的强电磁脉冲，且二者吻合较好。基于建立的模型得到了有界波电磁脉冲模拟器工作区间内瞬态电磁场的分布规律：电磁脉冲强度由工作区间中心向两侧逐渐减小，随高度的增加，电磁脉冲强度逐渐增大。基于上述模型通过数值仿真可检验电磁干扰和电磁防护实验结果的准确性。 展开更多
关键词 电磁脉冲模拟器 时域有限差分法 瞬态电磁场 分布规律 测量 电磁干扰
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实时全息干涉计量中时间序列条纹位相的测量方法 被引量：9
17
作者 吕晓旭 张以谟 +1 位作者 钟丽云 熊秉衡 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期219-222,共4页
针对实时全息干涉计量的特点 ,结合相移位相测量技术 ,提出一种利用物体本身变化产生的位相变化来实现实时全息干涉计量中时间序列条纹位相的测量方法 。
关键词 信息光学 实时全息干涉计量 位相测量 时间序列 干涉条纹 相移技术
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一种基于白光迈克耳孙干涉仪波片延迟量的测量方法 被引量：13
18
作者 王军 陈磊 +1 位作者 吴泉英 姚庆香 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期192-199,共8页
将白光偏振干涉和迈克耳孙干涉仪相结合,提出了一种利用空间白光干涉图测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。白光偏振干涉系统产生两束振动方向相同的线偏光,进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射,并两两干涉,在空间形成3... 将白光偏振干涉和迈克耳孙干涉仪相结合,提出了一种利用空间白光干涉图测量波片延迟量(包括级次信息)的方法。白光偏振干涉系统产生两束振动方向相同的线偏光,进入迈克耳孙干涉仪后分别被两干涉臂的平面镜反射,并两两干涉,在空间形成3组白光干涉包络。当被测件为多级波片时,根据白光干涉包络之间的光程差就可求得被测延迟量;当被测件为低级次波片时,利用白光干涉信号相位的改变量计算出延迟量的值。实验分别测量了多级波片和零级全波片的延迟量,其结果与使用光谱扫描法测量得到的结果均相吻合。 展开更多
关键词 测量 波片 延迟量 白光迈克耳孙干涉仪 偏振干涉
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在机测量技术与工程应用研究进展 被引量：12
19
作者 李文龙 王刚 +2 位作者 田亚明 寇猛 李中伟 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第5期14-35,共22页
在机测量技术相比离线测量具有成本低、加工过程可检测、无需搬运与反复装夹等优势,为航空涡轮叶片、飞机机身机翼蒙皮、核电汽轮机大叶片、汽车发动机曲轴等复杂曲面零件精密制造提供了新的技术手段,但实际操作过程中仍存在两大技术难... 在机测量技术相比离线测量具有成本低、加工过程可检测、无需搬运与反复装夹等优势,为航空涡轮叶片、飞机机身机翼蒙皮、核电汽轮机大叶片、汽车发动机曲轴等复杂曲面零件精密制造提供了新的技术手段,但实际操作过程中仍存在两大技术难题:(1)接触式在机测量精度较高,但受单点碰触采集模式的限制,检测效率无法满足工业零件的全尺寸批量化检测需求,仅适用于零件关键尺寸特征精确测量或干涉严重的复杂结构深入测量;(2)非接触式传感器位姿标定精度直接影响测量精度,此外测量精度也受投射方向和测量景深等因素影响,如何综合考虑上述因素进行传感器位姿精确标定和测量路径自动规划是亟须解决的问题。针对这些难题,系统介绍了接触式/非接触式在机测量系统架构、接触式在机测量路径规划、非接触式在机测量参数标定与路径规划理论方法,以此为基础开发出非接触式在机测量数据采集与处理专用软件iPoint3D OnsiteScan,介绍了该软件在航空发动机叶轮、航空航天框梁壁板、飞机蒙皮、核主泵法兰密封型面等典型零件在机测量工业场景中的应用效果,并讨论了复杂曲面在机测量技术的发展趋势。 展开更多
关键词 在机测量 复杂曲面零件 传感器位姿标定 测量路径规划 干涉避免
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基于计算全息元件的大口径非球面透镜透射波前检测方法 被引量：12
20
作者 何宇航 李强 +2 位作者 高波 魏小红 柴立群 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2019年第2期107-112,共6页
针对大口径非球面透镜透射波前检测,提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法。大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测,为了达到零位检测的目的,在光路中往往需要加入相位补偿元件以补偿高阶像差(... 针对大口径非球面透镜透射波前检测,提出了采用计算全息元件(CGH)作为光路相位补偿元件进行检测的方法。大口径非球面透镜透射波前通常采用球面干涉仪进行检测,为了达到零位检测的目的,在光路中往往需要加入相位补偿元件以补偿高阶像差(HOA)。传统的折射式相位补偿元件的精度溯源比较困难,导致检测数据缺乏可信度。将CGH作为相位补偿元件可达到零位检测的目的。针对大口径非球面透镜的透射波前检测,设计并加工了相应的CGH作为相位补偿元件,并与传统的折射式补偿元件进行了对比测试。测试结果表明:两种相位补偿方法的测试数据具有良好的一致性,峰谷(PV)值的差值为0.034λ(λ为检测光的波长),均方根(RMS)值的差值为0.006λ,因此CGH作为相位补偿元件具有相当高的测试精度。 展开更多
关键词 测量 计算全息元件 干涉检测 零位测试 相位补偿 测量精度
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