-
题名液晶显示器色度特征化的分空间补偿模型
被引量:15
- 1
-
-
作者
宫睿
徐海松
张显斗
M.Ronnier Luo
-
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
杭州电子科技大学新媒体传播系
Department of Color Science
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期289-294,共6页
-
基金
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室开放课题资助
-
文摘
由于液晶显示器不能完全满足通道独立性和色品恒定性而导致其色度特征化精度不高,故液晶显示器精确色度特征化模型的研究具有重要意义。将分空间处理的思想应用于对液晶显示器色度特征化精度较高的掩模(Masking)模型,提出了分空间补偿(SC)模型。该模型将RGB颜色空间分为8个子空间,基于不同子空间的相应训练样本,将掩模模型的预测三刺激值差值拟合成各通道驱动值的多项式函数,并对其三刺激值进行补偿。通过对四台液晶显示器色度特征化的实验测试表明,分空间补偿模型的最优平均预测色差分别为0.2783,0.3199,0.7090和1.2216CIELAB单位,验证了其颜色预测精度优于现有的相关色度特征化模型,且可以适用于各类液晶显示器。
-
关键词
色度学
色度特征化
分空间补偿模型
掩模模型
液晶显示器
-
Keywords
colorimetry
colorimetric characterization
sub-space compensation model
masking model
liquid crystal display (LCD)
-
分类号
O432.3
[机械工程—光学工程]
-
-
题名抗噪声语音识别及语音增强算法的应用
被引量:5
- 2
-
-
作者
汤玲
戴斌
-
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
-
出处
《计算机仿真》
CSCD
2006年第9期80-82,143,共4页
-
文摘
提高语音识别系统的鲁棒性是语音识别技术一个重要的研究课题。语音识别系统往往由于训练环境下的数据和识别环境下的数据不匹配造成系统的识别性能下降,为了让语音识别系统在含噪的环境下获得令人满意的工作性能,该文根据人耳听觉特性提出了一种鲁棒语音特征提取方法。在MFCC特征提取之前先对含噪语音特征进行掩蔽特性处理,同时结合语音增强方法对特征进行处理,最后得到鲁棒语音特征。通过4种不同试验结果分析表明,将这种方法用于抗噪声分析可以提高系统的抗噪声能力;同时这种特征的处理方法对不同噪声在不同信噪比有很好的适应性。
-
关键词
语音识别
噪声
鲁棒性
掩蔽特性
谱减
-
Keywords
Speech recognition
Noise
Robustness
masking model
Spectral substraction
-
分类号
TP912.34
[自动化与计算机技术]
-
-
题名基于听觉频率掩蔽效应的音频数字水印算法
被引量:1
- 3
-
-
作者
桑鹤平
赵鹤鸣
-
机构
苏州大学电子信息学院
-
出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2008年第9期101-103,共3页
-
文摘
文中提出一种基于听觉掩蔽效应的音频数字水印算法,根据掩蔽阈值在DCT低频系数中嵌入水印。依据听觉掩蔽模型计算每个临界频带的掩蔽阈值,再根据水印嵌入点处的掩蔽阈值和音频载体值的大小共同控制量化步长。同时为满足水印快速嵌入的要求,通过文中提出的算法可以寻找到嵌入时间(计算量)与鲁棒性的最佳平衡点,得出一帧语音中嵌入水印的最佳重复次数。实验结果证明所嵌入的水印具有很好的不可感知性,对加白噪声、低通滤波、重采样和压缩等各种具有良好的鲁棒性。
-
关键词
音频水印
掩蔽模型
量化
鲁棒性
-
Keywords
audio watermarking
masking model
quantization
robustness
-
分类号
TP309
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名基于掩盖模型非线性变换的相关性分析
- 4
-
-
作者
王怡影
章承诺
徐静静
范程华
柴豆豆
-
机构
合肥师范学院电子信息与电气工程学院
合肥师范学院电子信息系统仿真设计安徽省重点实验室
-
出处
《蚌埠学院学报》
2020年第5期53-56,共4页
-
基金
安徽省自然科学基金(1908085QF257)
合肥师范学院校级科研项目(2017QN09)
+1 种基金
国家级大学生创新创业训练计划项目(201814098065,201814098064)
电子信息系统仿真设计安徽省重点实验室开放基金项目(2019ZDSYSZY05,2020ZDSYSYB03)。
-
文摘
依据人眼掩盖效应,给出了一种基于掩盖效应的图像质量评价模型。将该模型的评价值经过非线性变换后,与图像数据库的平均主观得分结合,计算出相关性系数。相关性系数越接近1,与主观评价的一致性就越高。从实验数据中可以看出,不同的非线性变换得到的相关性系数不同。给出的变换方式有助于对掩盖模型进行改进,提高与标准数据库平均主观得分的吻合度。
-
关键词
图像质量评价
掩盖模型
非线性变换
相关性分析
-
Keywords
image quality evaluation
masking model
non-linear transformation
correlation analysis
-
分类号
TN911.73
[电子电信—通信与信息系统]
-
-
题名基于听觉掩蔽模型和量化的音频水印算法
- 5
-
-
作者
桑鹤平
-
机构
苏州大学电子信息学院
-
出处
《计算机与现代化》
2008年第7期72-74,78,共4页
-
文摘
提出一种基于听觉掩蔽模型的音频数字水印算法,根据掩蔽阈值量化音频经DCT变换后的低频系数来嵌入水印。实验结果证明所嵌入的水印具有很好的不可感知性,对加白噪声、低通滤波和重采样等各种攻击具有良好的鲁棒性。
-
关键词
音频水印
掩蔽模型
量化
鲁棒性
-
Keywords
audio watermarking
masking model
quantization
robustness
-
分类号
TP309.2
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名机场净空区障碍物风险性综合数值研究
- 6
-
-
作者
滕秀华
国常雨
吕宁
张加男
迟文娟
-
机构
山东省第一地质矿产勘查院
济南国际机场股份有限公司
-
出处
《现代信息科技》
2020年第14期18-20,24,共4页
-
文摘
针对目前机场净空区障碍物风险性评估中出现的问题,以及新飞行技术标准带来的相关标准变化,本文依据相关规定确定了各净空限制面的范围,分析了障碍物对飞行安全有影响的因素,通过分析和验证,得到各因素对飞行安全影响的程度以及风险性综合数值模型,以数字的形式直观的评价障碍物的风险性。对济南遥墙国际机场附近随机选取障碍物进行了实例分析,可使障碍物风险性评定更全面、直观、便捷。
-
关键词
净空限制面
风险性综合数值
遮蔽模型
-
Keywords
clearance limit surface
comprehensive risk value
masking model
-
分类号
V328.3
[航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
-
-
题名一种基于听觉掩蔽模型的语音增强算法
被引量:16
- 7
-
-
作者
蔡汉添
袁波涛
-
机构
华南理工大学电子与通信工程系
-
出处
《通信学报》
EI
CSCD
北大核心
2002年第8期93-98,共6页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(69896240)
-
文摘
本文提出一种基于听觉掩蔽模型的语音增强算法。该算法对应用于语音编码中的听觉掩蔽模型进行了适当的修正,动态地确定每一帧语音信号各个关键频率段的听觉掩蔽阈值,有选择性地进行谱减。计算机仿真表明所提算法优于基本谱减法,不仅信噪比有较大的提高而且有效地减少了主观听觉的失真和残留音乐噪声。
-
关键词
语音增强
谱减算法
听觉掩蔽模型
语音处理
-
Keywords
speech enhancement
spectral subtraction
masking model of auditory system
-
分类号
TN912.35
[电子电信—通信与信息系统]
-
-
题名扩频CDMA水印性能分析及其多小波域内的应用研究
被引量:12
- 8
-
-
作者
朱岩
孙中伟
杨永田
冯登国
-
机构
哈尔滨工程大学计算机科学与技术学院
中国科学院研究生院信息安全国家重点实验室
-
出处
《计算机学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第8期1376-1385,共10页
-
文摘
通过对扩频码分多址(CDMA)水印模型的编码及检测方法进行理论分析,阐述了信息嵌入量、扩频码长、检测错误率等指标之间存在的制约关系,并使用实验进行比较和验证.在理论分析的基础上,依据多小波分解系数优良统计分布特征和图像多小波视觉掩蔽模型,提出了一种新颖的基于多小波变换的扩频CDMA数字水印方案.理论结果与实验数据对比表明所提出的模型和算法既有较高的嵌入容量,又具有较强的鲁棒性和安全性.
-
关键词
数字水印
扩频水印
CDMA
多小波变换
视觉掩蔽模型
-
Keywords
digital watermarking
spread spectrum watermarking
CDMA
multiwavelet transform
visual masking model
-
分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
-
-
题名一种融合深度基于灰度共生矩阵的感知模型
被引量:7
- 9
-
-
作者
叶鹏
王永芳
夏雨蒙
安平
-
机构
上海大学上海先进通信与数据科学研究院
上海大学通信与信息工程学院
-
出处
《计算机科学》
CSCD
北大核心
2019年第3期92-96,共5页
-
基金
国家自然科学基金:QoE驱动下的基于内容分析的3D视频感知编码研究(61671283)
国家自然科学基金:面向高清/超高清的感知3D视频稀疏编码理论与技术研究(61301113)资助
-
文摘
恰可察觉失真模型(JND)是一种人眼感知模型,它是图像/视频压缩中去除冗余最为有效的方法之一。针对现有JND模型对比掩盖效应(CM)的计算不够完善及深度信息的考虑不够准确的问题,文中提出了一种融合深度基于灰度共生矩阵的JND模型。首先,采用总变分分解模型将图像分解为结构部分和纹理部分,对结构部分采用Canny算子处理,对纹理部分采用灰度共生矩阵处理,两个部分形成更准确的CM模型;结合背景亮度掩盖效应,建立了一种基于灰度共生矩阵的像素域JND模型。然后,在对人眼深度感知进行研究的基础上,引入新的深度加权模型。最后,建立了一种新的融合深度基于灰度共生矩阵的感知模型。实验结果表明,所提出的模型更一致于人的视觉感知。相对于已有的JND模型,所提JND模型能够容忍更多的失真,且拥有更好的感知质量。
-
关键词
JND模型
图像分解
灰度共生矩阵
CM模型
深度信息
-
Keywords
Just noticeable distortion model
Image decomposition
Gray-level co-occurrence matrix(GLCM)
Contrast masking model
Depth information
-
分类号
TP37
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名一种基于非锐化掩蔽模型的无偏振片成像技术
- 10
-
-
作者
高畅
刘志强
刘豪
马嘉成
叶茂
-
机构
电子科技大学光电科学与工程学院
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第3期87-93,共7页
-
文摘
液晶透镜是一种新兴的可以电控调焦的液晶器件,无需机械移动就可以实现对焦、变焦和深度测量,因此被广泛应用于摄影摄像、显微成像、虚拟现实等领域。提出一种优化的液晶透镜无偏振片成像技术。该技术结合非锐化掩蔽模型,通过分析图像像素值的变化,估算得到环境光中寻常光分量的占比,并使用非对焦图像和对焦图像进行处理,获得高质量图像。实验结果表明,优化后的技术能够有效增强图像对比度,获得优质图像。
-
关键词
成像系统
液晶透镜
无偏振片成像
非锐化掩蔽模型
-
Keywords
imaging system
liquid crystal lens
polarizer-free imaging
unsharp masking model
-
分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
-
-
题名基于多小波变换的混合水印应用研究
被引量:1
- 11
-
-
作者
朱岩
冯登国
邹维
-
机构
北京大学计算机科学技术研究所
中国科学院信息安全国家重点实验室
-
出处
《计算机工程与应用》
CSCD
北大核心
2005年第33期95-99,共5页
-
文摘
扩频和量化技术是数字水印中两种基本的技术,扩频水印有鲁棒性强的特点,而量化水印具有更大的容量,考虑到两者之间存在互补性,论文在图像多小波变换统计特征和视觉掩蔽模型基础上,提出了一种新颖的图像多小波变换域内基于扩频和量化的混合数字水印方案。实验结果表明所提出的算法既具有较高的嵌入容量,又具有较强的鲁棒性,特别是在高压缩比下具有较高的性能。
-
关键词
数字水印
扩频
量化
多小波变换
感知掩蔽模型
-
Keywords
digital watermarking, spread spectrum, quantization,muhiwavelet transform, perceptual masking model
-
分类号
TP391
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
-
-
题名一种基于视觉掩盖模型的数字水印技术
被引量:1
- 12
-
-
作者
文志强
李陶深
张增芳
-
机构
广西大学计算机与信息工程学院
广西工学院计算机科学系
-
出处
《广西科学院学报》
2003年第4期237-241,共5页
-
基金
广西科技攻关项目 (桂科攻 0 3 3 0 0 8-9)资助
-
文摘
通过分析人的视觉特性提出一种视觉掩盖模型 ,得到该模型水印嵌入算法和水印检测算法。在 DCT系统低频域上给典型的“L ena”图像嵌入水印后 ,进行压缩、加高斯噪声污染、滤波等试验 ,测试水印的稳健性 .结果发现 :水印输出响应非常高 ,有很好的鲁棒性 ,嵌入水印后的图像经一定的压缩、噪声污染、滤波等处理后仍可被检测到 .
-
关键词
视觉掩盖模型
数字水印技术
DCT
算法
图像
-
Keywords
visual masking model,digital watermark,DCT
-
分类号
TP301.6
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名基于序列增强的事件主体抽取方法
- 13
-
-
作者
沈加锐
朱艳辉
金书川
张志轩
满芳滕
-
机构
湖南工业大学轨道交通学院
湖南工业大学计算机学院
-
出处
《湖南工业大学学报》
2024年第1期70-77,共8页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(62106074)
湖南省教育厅基金资助重点项目(22A0408,21A0350)
湖南省自然科学基金资助项目(2022JJ50051)。
-
文摘
为了解决在事件抽取中使用固定文本长度造成短句子填充过多,从而引发语义偏移的问题,提出一种基于序列增强的事件主体抽取方法。具体而言,首先,将固定长度文本通过预训练模型映射到1个稠密向量中;然后,将文本对应的稠密向量与自定义Mask层和SpatialDropout层按位相乘,得到编码输出;最后,将该输出连接BiGRU层以及Mask层,得到解码输出,并将其映射在MLP层中,得到最后的结果。该模型既能够避免预训练模型对文本表征过拟合的问题,也能够限制填充文本在语义上的过度表达。使用CCKS 2022所供金融领域事件主体作为数据集进行不同模型读取对比实验,所得实验数据表明,对填充文本加以负影响的增强序列比传统序列在事件主体识别的正确性、F_(1)值上皆显著提升。
-
关键词
序列增强
事件主体
抽取
掩码模型
-
Keywords
sequence enhancement
event subject
extraction
masked model
-
分类号
TP389.1
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
-
-
题名极紫外光刻掩模缺陷检测与补偿技术研究
被引量:2
- 14
-
-
作者
成维
李思坤
张子南
王向朝
-
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学材料与光电研究中心
-
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第9期367-380,共14页
-
文摘
极紫外(EUV)光刻机是推动集成电路向先进技术节点发展的核心装备,已应用于7 nm及以下技术节点芯片的量产。高成像质量是EUV光刻机应用于芯片量产的基础。作为成像系统的重要组成部分,掩模是影响EUV光刻成像质量的重要因素。EUV掩模的制造过程中会产生以多层膜缺陷为代表的掩模缺陷,显著降低光刻成像质量。对EUV掩模缺陷的位置、尺寸和形貌等进行准确检测,并根据检测结果进行缺陷补偿是确保光刻成像质量的重要手段。为了有效补偿掩模缺陷对光刻成像质量的影响,需要建立快速准确的含缺陷掩模模型。本文结合本团队在掩模缺陷检测和补偿技术领域的研究工作,介绍了典型的含缺陷掩模仿真方法,总结了现有掩模缺陷检测技术,介绍了掩模缺陷补偿技术的研究进展。
-
关键词
光刻
极紫外光刻
掩模缺陷检测
掩模缺陷补偿
掩模模型
-
Keywords
lithography
extreme ultraviolet lithography
mask defect inspection
mask defect compensation
mask model
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于先验MASK注意力机制的视频问答方案
被引量:2
- 15
-
-
作者
许振雷
董洪伟
-
机构
江南大学物联网工程学院
-
出处
《计算机工程》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期52-59,共8页
-
基金
江苏省产学研合作项目(BY2015019-30)。
-
文摘
视频问答是深度学习领域的研究热点之一,广泛应用于安防和广告等系统中。在注意力机制框架下,建立先验MASK注意力机制模型,使用Faster R-CNN模型提取视频关键帧以及视频中的对象标签,将其与问题文本特征进行3种注意力加权,利用MASK屏蔽与问题无关的答案,从而增强模型的可解释性。实验结果表明,该模型在视频问答任务中的准确率达到61%,与VQA+、SA+等视频问答模型相比,其具有更快的预测速度以及更好的预测效果。
-
关键词
视频问答
计算机视觉
自然语言处理
注意力机制
mask模型
-
Keywords
Video Question Answering(Video QA)
computer vision
natural language processing
attention mechanism
mask model
-
分类号
TP81
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名极紫外投影光刻掩模衍射简化模型的研究
被引量:10
- 16
-
-
作者
曹宇婷
王向朝
邱自成
彭勃
-
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院研究生院
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期42-48,共7页
-
基金
国家自然科学基金(60938003)
国家科技重大专项项目(2008ZX02501-006
2009ZX02205-001)资助课题
-
文摘
建立一个计算极紫外投影光刻掩模衍射场的简化模型,在该简化模型中通过对入射光场进行追迹推导衍射场分布的解析表达式。简化模型中的掩模包括多层膜结构和吸收层结构两部分。多层膜结构的衍射近似为镜面反射。吸收层结构的衍射利用薄掩模修正模型进行分析,即将吸收层等效为位于某等效面上的薄掩模,引入边界点脉冲描述边界衍射效应,通过确定等效面的位置和边界点脉冲的振幅和相位,对经过吸收层的几何光波进行修正。吸收层结构的薄掩模修正模型能够用于计算斜入射角在12°范围内变化时,11nm及其以上节点的密集线条的衍射场。以计算6°角斜入射、22nm密集线条的掩模衍射场为例,该掩模简化模型与严格仿真计算结果相一致。
-
关键词
衍射
极紫外投影光刻
薄掩模模型
时域有限差分算法
-
Keywords
diffraction
extreme-ultraviolet projection lithography
thin mask model
finite-difference time-domainmethod (FDTD)
-
分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
-
-
题名财政分权、税收竞争与绿色发展
被引量:9
- 17
-
-
作者
张学升
张行
-
机构
中国财政科学研究院研究生院
中国财政科学研究院政府绩效研究中心
-
出处
《统计与决策》
CSSCI
北大核心
2022年第5期126-131,共6页
-
基金
世界银行技术援助项目(LN8616-A22-2020)。
-
文摘
文章以税收竞争为视角,在构建绿色发展的非径向方向距离函数(NDDF)的基础上,运用遮掩效应模型、门限面板模型以及空间杜宾模型,多维度实证检验了财政分权对绿色发展的影响效应及其机制。研究结果表明,财政分权有利于绿色发展,经过稳健性检验后结论依然成立;机制分析结果显示,存在“财政分权—税收竞争—绿色发展”的遮掩效应;门限模型估计结果显示,财政分权对绿色发展产生了边际效应递减的非线性影响,而税收竞争水平的提升有助于发挥财政分权对绿色发展的促进效应;空间溢出效应分析结果显示,财政分权会通过外溢作用促进邻近地区的绿色发展,税收竞争对该空间溢出效应存在正向调节作用。
-
关键词
财政分权
税收竞争
绿色发展
遮掩效应模型
空间杜宾模型
-
Keywords
fiscal decentralization
tax competition
green development
masking effect model
spatial Durbin model
-
分类号
F812.2
[经济管理—财政学]
-
-
题名顾及卫星空间分布状态的GNSS信噪比随机模型
被引量:7
- 18
-
-
作者
钱妮佳
王海
李方超
高井祥
-
机构
自然资源部国土环境与灾害监测重点实验室
中国矿业大学环境与测绘学院
-
出处
《测绘科学》
CSCD
北大核心
2019年第12期21-28,49,共9页
-
基金
国家自然科学基金项目(41604006,41674008)
江苏省自然科学基金项目(BK20160247)
江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJKY19_1850)
-
文摘
为了研究随机模型对GNSS定位精度的影响,介绍了GPS/GLONASS/BDS组合伪距单点定位的函数模型以及几种当前常用的先验随机模型。结合各个模型的优缺点,提出通过指数函数引入空间分布改善因子,建立一种改进的信噪比随机模型,并设计相关多系统伪距单点定位试验对其性能进行分析。实验结果表明:改进模型的解算精度显著优于现存的几种先验随机模型,相比等权模型在三维定位精度上提升15%~30%,相比高度角模型提升15%~25%,相比信噪比模型提升5%~15%,相比现存的PDOP模型也有明显提升。改进模型在不同遮蔽情况、双系统和三系统组合定位时精度均优于现存的信噪比随机模型,从而验证了该定权算法的有效性。
-
关键词
随机模型
等权模型
高度角模型
信噪比模型
位置精度因子(PDOP)
-
Keywords
stochastic model
equal-weight model
elevation mask model
signal noise ratio model
positional dilution of precision(PDOP)
-
分类号
P228
[天文地球—大地测量学与测量工程]
-
-
题名极紫外投影光刻接触孔掩模的快速仿真计算
被引量:8
- 19
-
-
作者
曹宇婷
王向朝
步扬
-
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院研究生院
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期53-57,共5页
-
基金
国家自然科学基金(60938003)资助课题
-
文摘
采用一个极紫外投影光刻掩模衍射简化模型实现了三维接触孔掩模衍射场的快速仿真计算。基于该模型,得到了接触孔掩模衍射场分布的解析表达式,并对光刻成像时的图形位置偏移现象进行了解释和分析。简化模型中,掩模包括吸收层和多层膜两部分结构,吸收层的透射利用薄掩模修正模型进行计算,多层膜的反射近似为镜面反射。以周期44nm、特征尺寸分别为16nm和22nm的方形接触孔为例,入射光方向发生变化时,该简化模型与严格仿真相比,图形特征尺寸误差小于0.4nm,计算速度提高了近100倍。此外,考虑到多层膜镜面位置对图形位置偏移量的影响,得到了图形位置偏移量的计算公式,其计算结果也与严格仿真相一致。
-
关键词
光栅衍射
极紫外投影光刻
薄掩模模型
严格电磁场仿真
-
Keywords
grating diffraction
extreme-ultraviolet lithography
thin mask model
rigorous electromagnetic fieldsimulation
-
分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
-
-
题名极紫外光刻快速掩模优化方法
被引量:4
- 20
-
-
作者
张子南
李思坤
王向朝
成维
-
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室
中国科学院大学材料与光电研究中心
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第13期25-34,共10页
-
基金
国家科技重大专项(2017ZX02101004-002)。
-
文摘
提出了一种快速的极紫外光刻像素化掩模优化方法。优化过程中采用改进的像素化快速厚掩模模型,根据掩模像素尺寸设置边界像素上点脉冲的大小。以双重边界演化方法为基础,在每轮优化时,根据当前光刻胶轮廓与目标图形轮廓的差异自适应地对优化变量进行初始化,利用先验信息生成初始个体和种群,从而提高优化效率。以一维线空图形和二维复杂图形为例进行了仿真验证,结果表明该方法有效提高了掩模成像仿真精度,两种二维掩模图形的优化效率得到明显提高。
-
关键词
衍射
极紫外光刻
厚掩模模型
掩模优化
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Keywords
diffraction
extreme ultraviolet lithography
thick mask model
mask optimization
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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