一种基于四象限光电探测器的对准新方法 被引量：13

1

作者 王秀青 徐德 +1 位作者 谭民 刘云 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第7期11-14,共4页

在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探... 在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准。 展开更多

关键词 四象限光电探测器 对准 掩模板 误差

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基于V90伺服的机器人夹具在掩膜版行业的应用

2

作者 许鹏亮 熊启龙 《电子工业专用设备》 2024年第2期12-19,共8页

设计并实现了一种新型掩膜版机器人夹具,并将其成功应用于光刻掩膜版(Photomask)制造车间自动化产线中。该新型夹具采用了以Simens V90伺服作为夹具执行机构的解决方案,同时为了满足对无尘车间高洁净度的要求和对产品安全性保护,夹具采... 设计并实现了一种新型掩膜版机器人夹具,并将其成功应用于光刻掩膜版(Photomask)制造车间自动化产线中。该新型夹具采用了以Simens V90伺服作为夹具执行机构的解决方案,同时为了满足对无尘车间高洁净度的要求和对产品安全性保护,夹具采用整体封装设计,选用2个伺服电机分别驱动夹具的上夹爪和下夹爪。下卡爪B伺服电机采用Speed的模式,实现绝对位置控制;上卡爪A的伺服电机采用EPOS模式,实现力矩保护控制。方案设计、安装和使用结果表明该夹具稳定可靠,实现了对不同规格的MASK产品的高度兼容,在保证产品安全抓取的同时也能最大化地减少产品接触面积,从而减少对产品的污染,满足对无尘车间高洁净度和对产品安全性抓取转运的需求。 展开更多

关键词 掩膜版 V90伺服 西门子1500PLC 机器人夹具

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复眼透镜光学信息保密编码及译码的研究——Ⅰ.昆虫复眼成像特性及编、译码技术原理 被引量：1

3

作者 吴梅英 马重光 +3 位作者 彭连惠 田丽娟 杜连芳 张少吾 《生物物理学报》 CAS CSCD 北大核心 1991年第2期146-151,共6页

本文根据光学并列型和光学重叠型两类昆虫复眼的屈光系统,具有分解和综合二维图像的光学特性,提出了一种新的用复眼透镜实现二维图像光学信息编码和译码的技术原理.利用复眼透镜和一个特制的随机抽样编码的掩模板,可将一幅有序的二维图... 本文根据光学并列型和光学重叠型两类昆虫复眼的屈光系统,具有分解和综合二维图像的光学特性,提出了一种新的用复眼透镜实现二维图像光学信息编码和译码的技术原理.利用复眼透镜和一个特制的随机抽样编码的掩模板,可将一幅有序的二维图像(或者文献、资料等)编码形成为一幅无序的,具有良好保密性能的分解编码像,而且,还能将此编码像反演综合再现出原始图像.它不仅实现了对二维图像信息的多通道并行处理,而且还具有传输量大、速度快、保密性强等优点.我们利用此种复眼透镜光学信息编、译码的技术原理,对二维图像的光学信息进行了分解编码记录及综合译码再现. 展开更多

关键词 复眼透镜 二维图象 编码 译码

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纳米制造和测量技术产业化的研究

4

作者 李文萍 顾文琪 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期15-18,22,共5页

从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度，分析了纳米加工产业化面临的问题，并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0．5～5μm的加工空白，并会... 从加工尺度的连续性和加工技术的完整性这一新的角度，分析了纳米加工产业化面临的问题，并提出了相应的解决方案一多离子柬聚焦投影技术。多离子柬聚焦投影技术将填补传统微机加工技术和半导体图形技术之间0．5～5μm的加工空白，并会在1～100nm尺度间实现自上至下技术和自下至上技术的有机结合。纳米测量技术产业化的研究中，以提高扫描探针技术的样品质量作为出发点。在聚焦离子束和扫描电镜平台上集成Ar离子束的“三束”显微镜能有效降低样品的损伤，大大推动了纳米测量技术的发展。 展开更多

关键词 多离子束聚焦投影 掩模板 纳米制造 纳米测量

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荫罩母版初探

5

作者 郭淑慈 《真空电子技术》 北大核心 1993年第1期60-62,共3页

荫罩是彩色显象管的重要部件,而制造荫罩的关键在于设计和制造荫罩母版。本文对荫罩母版进行了初步探讨,并对原始母版、工作母版和工作底版的设计与制作进行了具体的论述。

关键词 荫罩母版 原图设计 彩色显象管 原始母始

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多通道信息显示屏设计

6

作者 王若诗 《信息通信》 2017年第11期35-40,共6页

液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是现阶段唯一在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面超过CRT的显示器件。设计出满足以上性能的多通道信息显示屏是这个课题的意义,将有助于我们能够尽快掌握TFT-LCD技术发展节奏。根据TFT... 液晶平板显示器,特别TFT-LCD,是现阶段唯一在亮度、对比度、功耗、寿命、体积和重量等综合性能上全面超过CRT的显示器件。设计出满足以上性能的多通道信息显示屏是这个课题的意义,将有助于我们能够尽快掌握TFT-LCD技术发展节奏。根据TFT-LCD的设计原理及设计指导规则,结合现有的TFT-LCD制造工艺,进行平面图形设计,并绘出了工艺版图,对所用的方法进行了说明,对5张掩膜板(GE、SD、CH、PE、SE),CF,CELL的绘图经过进行了说明。 展开更多

关键词 液晶显示屏 设计 掩膜板

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大面积液晶显示面板光刻机新型工作台设计

7

作者 葛嫏 林永水 +2 位作者 石宗宝 王思年 吴淦淦 《福州大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1995年第6期66-69,共4页

论述曝光面积达３５６ｍｍ×３５６ｍｍ，套刻精度为±２μｍ，接近式（０～２５１μｍ）液晶显示面版光刻机的新型工作台设计。

关键词 液晶显示面版 光刻机 工作台 液晶显示器 制备

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抗疫人员的“护身铠甲”

8

作者 陈荣圻 《上海染料》 2021年第1期35-41,共7页

2020年8月9日,习近平总书记在全国抗击新冠肺炎表彰大会上宣布我国抗击疫情已取得战略成果。全国各省市和解放军响应党的号召派出42600名医务工作者驰援湖北武汉,无一感染,主要是“防身铠甲”源源不断供应一线,其中,纺织行业功不可没,... 2020年8月9日,习近平总书记在全国抗击新冠肺炎表彰大会上宣布我国抗击疫情已取得战略成果。全国各省市和解放军响应党的号召派出42600名医务工作者驰援湖北武汉,无一感染,主要是“防身铠甲”源源不断供应一线,其中,纺织行业功不可没,他们曰夜生产提供给全国足够的口罩和防护服。本文就此两个品种写成文稿与读者共享,并指出抗疫物资还有技术短板,必须加大技术投入,倡导自力更生。 展开更多

关键词 新冠病毒:口罩 防护服

原文传递

采用激光和波带板的电视对准光学系统工程研究

9

作者 王效才 《光电工程》 CAS CSCD 1993年第6期1-10,共10页

本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均化、激光偏振态的传输和控制、激光背景噪音的抑制等。

关键词 X射线光刻 掩模 光学工程 电视测量

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特征区域模板匹配法实现汽车牌照的精确识别 被引量：8

10

作者 曾宪贵 黎绍发 左文明 《计算机工程与设计》 CSCD 2003年第9期26-27,共2页

模板匹配法在汽车牌照自动识别中已得到广泛应用。在应用该法为某汽车检测中心做牌照自动识别系统时发现,0、D及Q3个字符互相误判率较高。为解决此问题,在模板匹配法的基础上,提出了特征区域模板匹配法,应用该法取得了满意的效果,识别... 模板匹配法在汽车牌照自动识别中已得到广泛应用。在应用该法为某汽车检测中心做牌照自动识别系统时发现,0、D及Q3个字符互相误判率较高。为解决此问题,在模板匹配法的基础上,提出了特征区域模板匹配法,应用该法取得了满意的效果,识别精度大大提高。另外,匹配系数的求法也采用了新的方法,效果比原方法好。 展开更多

关键词 特征区域 模板匹配法 汽车牌照 精确识别 智能交通系统 计算机 文字识别

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扩大光学系统焦深范围的光学成象新技术研究 被引量：10

11

作者 惠彬 刘新平 +2 位作者 汶德胜 刘良云 苗兴华 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期594-597,共4页

如何增大非相干光学系统的焦深已成为一项有意义的研究主题 .对于普通光学系统 ,其焦深与光学系统的相对孔径平方成反比 .为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法有其缺点 :会降低光学系统的光通量及调制传递函数 (MTF)和... 如何增大非相干光学系统的焦深已成为一项有意义的研究主题 .对于普通光学系统 ,其焦深与光学系统的相对孔径平方成反比 .为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法有其缺点 :会降低光学系统的光通量及调制传递函数 (MTF)和分辨率 .本文提出了一种新方法 ,通过在光学系统光路中加入一特殊设计的非球面掩模板 ,并用图象处理技术对相位掩模板编码后的图象进行解码得到清晰图象 .保证了光学系统在维持原有相对孔径的同时扩大其焦深范围 。 展开更多

关键词 离焦 相位掩膜板 光学传递函数 调制传递函数 模糊函数 稳相法 非相干光学系统 焦深 光学成像 非球面掩摸板 图像处理 光学透感器

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基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法 被引量：9

12

作者 李建军 梁利利 张福泉 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期717-726,共10页

为了提高密文的安全性,设计了基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法。基于Logistic映射,利用明文像素对其迭代,生成一个随机相位掩码,引入Fresnel波带与Hilbert相位函数,获取二者对应的相位掩码,通过对这三个相位掩码... 为了提高密文的安全性,设计了基于混合相位掩码与Gyrator小波变换的光学图像加密算法。基于Logistic映射,利用明文像素对其迭代,生成一个随机相位掩码,引入Fresnel波带与Hilbert相位函数,获取二者对应的相位掩码,通过对这三个相位掩码进行组合,形成一个混合相位掩码,对输入明文进行调制处理;联合Gyrator变换与小波变换,构建Gyrator小波变换机制,根据明文像素迭代Logistic映射所输出的混沌序列来计算其旋转角度,获取明文Gyrator频谱对应的4个子带;对这些子带进行位置复用,借助幅度-相位截断技术,获取相应的密文与相位信息,而相位信息则视为解密密钥,以准确复原明文。实验数据表明：与当前非对称光学加密机制相比,所提算法具有更高的密文安全性与抗明文攻击能力。 展开更多

关键词 光学图像加密 混合相位掩码 Gyrator小波变换 Logisitic映射 Fresnel波带

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一种在离焦情况下获得高分辨率图像的新技术 被引量：3

13

作者 惠彬 裴云天 汶德胜 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期473-476,共4页

在遥感、军事侦察和医疗成象等领域,需要得到目标的高分辨率图像.而像面离焦直接影响了成像质量、降低了空间分辨率.为了得到高分辨率图像,往往采用自动焦面补偿装置或温控系统来克服离焦现象,但这又不利于仪器的小型化和轻量化.本文提... 在遥感、军事侦察和医疗成象等领域,需要得到目标的高分辨率图像.而像面离焦直接影响了成像质量、降低了空间分辨率.为了得到高分辨率图像,往往采用自动焦面补偿装置或温控系统来克服离焦现象,但这又不利于仪器的小型化和轻量化.本文提出,在光学系统光路中加入一特殊设计的非球面掩模板,并对经过位相掩模板后的图像进行图象处理得到清晰图像.使光学系统在大离焦量的情况下仍可获取高分辨率的图像.这对于光学遥感器在复杂的空间环境中获取高分辨率图像具有十分重要的意义. 展开更多

关键词 离焦 掩模板 高分辨率图像 光学系统 光路 小型化 光学遥感器 图象处理 空间分辨率 清晰

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基于飞秒激光直写技术的金属图案化研究(特邀)

14

作者 庞茂璋 邱毅伟 +1 位作者 曹春 匡翠方 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期431-439,共9页

飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0... 飞秒激光直写是一种新型的纳米加工技术,但由于飞秒激光和金属的光热效应会产生激光烧蚀现象,难以直接在金属上实现高质量图案转移。结合飞秒激光直写技术和剥离(lift-off)工艺,开发了一种新型金属图案转移技术,可成功实现亚微米精度(0.89μm)的金属图案转移。探究了飞秒激光直写参数及显影方式和参数等对金属转移性能的影响。研究发现,随着飞秒激光曝光剂量的增加,金属转移精度有所提高。同时,干法显影效果优于湿法显影效果,且随着牺牲层显影时间的增加,转移线宽逐渐增大,但线条的粗糙度得到改善。在金属转移工艺中,通过设计并引入一定的底切角度,成功改善了金属线条的边缘翘曲和粗糙度高的现象。结合飞秒激光直写技术和lift-off工艺实现了直径为2 inch(1 inch=2.54 cm)的铬基转移光栅,并验证了制备的铬图案作为掩模板曝光的可行性,实现了SU-8光刻胶上的投影曝光,证明了所提策略局部替代电子束光刻进行掩模板加工的潜力。此外,基于该策略实现了Au和Pt的图案转移,说明所提策略具有一定普适性。 展开更多

关键词 激光技术 飞秒激光直写 剥离工艺 金属图案化 掩模板加工 光刻胶

原文传递

扩大焦深的虹膜采集方法及实现技术研究 被引量：1

15

作者 李宏周 王华 +2 位作者 任明放 丘伟 彭智勇 《光电子技术》 CAS 2006年第4期242-245,共4页

针对传统的虹膜采集系统采集距离短、采集不灵敏的情况,在设计中通过在光学系统光路中加入一个特殊设计的非球面位相掩膜板,对非相干波前进行编码,使光学系统的MTF在一定范围内对离焦变化不敏感,经后期的图像处理,得到清晰的图片。实验... 针对传统的虹膜采集系统采集距离短、采集不灵敏的情况,在设计中通过在光学系统光路中加入一个特殊设计的非球面位相掩膜板,对非相干波前进行编码,使光学系统的MTF在一定范围内对离焦变化不敏感,经后期的图像处理,得到清晰的图片。实验表明,这种技术在保持图像质量的情况下,增大了采集的距离,提高了采集速度。 展开更多

关键词 虹膜识别 焦深扩大 位相掩膜板 采集

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基于联合变换的旋转不变光学图像加密 被引量：3

16

作者 韩振海 刘秋武 +1 位作者 刘艺 王仕璠 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期43-45,共3页

利用两个彼此独立的编码脉冲相位掩模在联合变换相关器中对需要保护的图像进行编码,实现对原始图像的加密。该方法的特点是解密时加密图像的旋转不会影响解密效果,相位分布是密钥的合法持有者唯一掌握的确定性函数,可以重构,便于实际应... 利用两个彼此独立的编码脉冲相位掩模在联合变换相关器中对需要保护的图像进行编码,实现对原始图像的加密。该方法的特点是解密时加密图像的旋转不会影响解密效果,相位分布是密钥的合法持有者唯一掌握的确定性函数,可以重构,便于实际应用。计算机模拟的结果证明了方法的可行性。 展开更多

关键词 光学图像 加密 联合变换 旋转不变 编码脉冲信号 相位掩模板

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LTCC生瓷层压中腔体的形变评价及控制 被引量：3

17

作者 王运龙 刘建军 +2 位作者 柳龙华 邱颖霞 王志勤 《电子与封装》 2016年第7期5-9,17,共6页

以含有腔体结构的LTCC叠层生瓷为研究对象,介绍了腔体在层压形变的评价和控制方法。分析了LTCC空腔在层压时产生变形的主要影响因素。阐述了在生瓷表面上增加金属掩模板来控制腔体形变的叠层结构设计。有限元分析结果表明不锈钢掩模可... 以含有腔体结构的LTCC叠层生瓷为研究对象,介绍了腔体在层压形变的评价和控制方法。分析了LTCC空腔在层压时产生变形的主要影响因素。阐述了在生瓷表面上增加金属掩模板来控制腔体形变的叠层结构设计。有限元分析结果表明不锈钢掩模可使腔体边缘应变降低至无掩模时应变的1/6,并通过工艺试验验证了金属掩模板的有效性。结果表明合理的层压结构设计和恰当的层压工艺可以制作出满足尺寸精度的空腔结构。 展开更多

关键词 低温共烧陶瓷 腔体形变 金属掩模

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大焦深成像系统的特性研究 被引量：3

18

作者 车双良 汶德胜 +1 位作者 乔薇 郑培云 《应用光学》 CAS CSCD 2002年第6期1-4,共4页

如何增大非相干光学成像系统的焦深已成为一项有意义的研究主题。为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法会降低光学系统的光通量、调制传递函数 (MTF)及分辨率 ,而大焦深成像系统通过在光学系统光路中加入一特殊设计的非... 如何增大非相干光学成像系统的焦深已成为一项有意义的研究主题。为了增大焦深 ,通常的做法是缩小相对孔径 ,但这种做法会降低光学系统的光通量、调制传递函数 (MTF)及分辨率 ,而大焦深成像系统通过在光学系统光路中加入一特殊设计的非球面掩模板 ,并用图像处理技术对相位掩模板编码后的图像进行解码得到清晰图像 ,保证了光学系统在维持原有相对孔径的同时扩大其焦深范围 ,使光学系统在离焦范围内有好的图像质量。从光线图和系统的 MTF两个方面对大焦深成像系统的特性进行了分析 ,并对结果进行了讨论。 展开更多

关键词 大焦深成像系统 离焦 相位掩膜板 特性分析 光学系统

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CRT荫罩制造技术及其在平板显示等领域的应用 被引量：1

19

作者 冯克勤 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第3期219-221,共3页

CRT荫罩制造工艺的基础技术是光刻腐蚀。将应用于制造荫罩的精密光刻精细腐蚀技术引伸应用到平板显示、微电子、微机械等领域,可以制作出高精度OLED金属掩膜版,LCD、PDP光学掩膜版等,使这一非常成熟的工艺焕发出新的活力。

关键词 CRT 荫罩 制造工艺 制造技术 平板显示 精密光刻 精细腐蚀 掩膜版

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大焦深成像系统仿真实验研究 被引量：3

20

作者 汶德胜 车双良 +1 位作者 乔卫东 郑培云 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期618-621,共4页

如何增大非相干光学成像系统的焦深是应用光学研究领域的热点问题 .本文对采用高次非球面光学掩模板与图像处理相结合增大成像光学系统焦深的新方法进行了深入分析 ,建立了大焦深成像系统仿真实验模型 ,并进行了大焦深成像系统仿真实验 ... 如何增大非相干光学成像系统的焦深是应用光学研究领域的热点问题 .本文对采用高次非球面光学掩模板与图像处理相结合增大成像光学系统焦深的新方法进行了深入分析 ,建立了大焦深成像系统仿真实验模型 ,并进行了大焦深成像系统仿真实验 .实验结果证明了该方法在维持原相对孔径的同时使光学系统在较大的离焦范围内有好的成像质量 .实际应用中还要综合考虑模板参量。 展开更多

关键词 大焦深成像系统 仿真 实验研究 非相干光学成像系统 图像处理 高次非球面光学掩模板 光学系统 波前编码

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