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激光陶瓷划片工艺研究 被引量:8
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作者 汪秀琳 姜兆华 吴宾初 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期80-82,共3页
使用调QYAG激光器对制作厚膜电路陶瓷基板的划片工艺进行了研究.通过对陶瓷的力学性质、划片机理和划片参数的理论推导,解决了该工艺的主要技术问题,实现了划线细、速度快、断面光滑和表面光洁的技术质量要求.
关键词 激光加工 厚膜电路 陶瓷 划片工艺
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