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大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算 被引量:18
1
作者 郭慧梅 林国强 +3 位作者 盛明裕 王德真 董闯 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1064-1068,共5页
用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析 和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
关键词 大颗粒 电弧离子镀 脉冲偏压 等离子体鞘层 受力分析
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轴对称磁场对电弧离子镀TiN薄膜结构及摩擦性能的影响 被引量:9
2
作者 肖金泉 郎文昌 +3 位作者 赵彦辉 宫骏 孙超 闻立时 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期566-572,共7页
利用轴对称磁场增强电弧离子镀工艺制备TiN薄膜,对薄膜表面大颗粒尺寸、数量及大颗粒与薄膜的面积比进行了分析统计,研究了轴对称磁场横向分量强度对薄膜表面大颗粒尺寸和数量、薄膜组织结构及摩擦性能的影响,结果表明,随着轴对称磁场... 利用轴对称磁场增强电弧离子镀工艺制备TiN薄膜,对薄膜表面大颗粒尺寸、数量及大颗粒与薄膜的面积比进行了分析统计,研究了轴对称磁场横向分量强度对薄膜表面大颗粒尺寸和数量、薄膜组织结构及摩擦性能的影响,结果表明,随着轴对称磁场横向分量强度的增加,大颗粒的尺寸和数量大幅度减少,不同尺寸大颗粒的形貌差别很大,TiN薄膜的(111)择优取向增强,薄膜的晶粒尺寸减小且分布均匀:同时,薄膜的摩擦系数及其随时间的波动减小,耐磨性增强. 展开更多
关键词 轴对称磁场 电弧离子镀 大颗粒 组织结构 摩擦性能
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无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器研究 被引量:1
3
作者 李刘合 夏立芳 +3 位作者 马欣新 孙跃 李光 于伟东 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第3期207-212,共6页
介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面... 介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构 ,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM分析表明 ,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度Ra 从 0 44 μm降低到 0 0 0 3μm。 展开更多
关键词 真空阴极弧 离子镀 磁过滤器 宏观粒子团 薄膜
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轴对称磁场对电弧离子镀TiN-Cu纳米复合膜性能的影响 被引量:1
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作者 宋贵宏 肖金泉 +1 位作者 杜昊 陈立佳 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期787-793,共7页
在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场,制备了TiN-Cu纳米复合膜。观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速率和弧柱形状的影响,及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响。结果表明,提高线圈磁场强度可提高... 在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场,制备了TiN-Cu纳米复合膜。观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速率和弧柱形状的影响,及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响。结果表明,提高线圈磁场强度可提高电弧斑点的游动速率,进而降低靶表面金属液滴喷射几率,减小沉积薄膜中大颗粒的尺寸和数量。X射线衍射(XRD)谱显示,沉积薄膜只含有TiN相,未出现金属Cu或其化合物的衍射峰;薄膜呈现明显的(111)晶面择优取向。随着线圈磁场强度的提高薄膜沉积速率、压痕硬度和弹性模量先增加,达到最大值后又略有减少,其最大硬度和弹性模量分别达到35.46GPa和487.61GPa。 展开更多
关键词 复合材料 TiN—Cu纳米复合膜 硬度 电弧离子镀 磁场强度 大颗粒 沉积速率
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VAD等离子体中宏观粒子的悬浮电位
5
作者 何俊佳 邹积岩 程礼椿 《微细加工技术》 1997年第2期65-70,共6页
由阴极过程主导的VAD等离子体并不满足局部热力学平衡条件,其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。根据颗粒半径与电子德拜长度的相对大小,分别对薄鞘层情形和厚鞘层情形计算了... 由阴极过程主导的VAD等离子体并不满足局部热力学平衡条件,其中的离子表现出非常强的流动性。本文讨论了这种特殊等离子体气氛下孤立宏观颗粒的荷电特性。根据颗粒半径与电子德拜长度的相对大小,分别对薄鞘层情形和厚鞘层情形计算了宏观颗粒相对于等离子体的平衡电位。 展开更多
关键词 真空电弧涂镀 VAD等离子体 悬浮电位
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Rapid solidification and metastable phase formation during surface modifications of composite Al-Cr cathodes exposed to cathodic arc plasma
6
作者 Mehran Golizadeh Francisca Mendez Martin +5 位作者 Stefan Wurster Johann P.Mogeritsch Abdellah Kharicha Szilard Kolozsvári Christian Mitterer Robert Franz 《Journal of Materials Science & Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第35期147-163,共17页
A combination of both conventional and advanced high-resolution characterization techniques was applied to study the modified layers on the surface of three composite Al-Cr arc cathodes with identical nominal composit... A combination of both conventional and advanced high-resolution characterization techniques was applied to study the modified layers on the surface of three composite Al-Cr arc cathodes with identical nominal composition of Al-50 at.%Cr but varying powder grain sizes.The results revealed that the modified layers consist mainly of metastable phases such as Cr solid solution,high temperature cubic Al8 Cr5,supersaturated Al solid solution,and icosahedral quasicrystal.The metastable phase formation indicates that high cooling rates were involved during the solidification of molten material produced in the arc craters during cathode spot events.The average cooling rate was estimated to be 10^(6)K/s based on secondary dendrite arm spacing measurements and supporting phase-field based simulations.The formation mechanisms of the modified layers are discussed based on the obtained results and the current literature. 展开更多
关键词 Cathodic arc Rapid solidification QUASICRYSTAL Arc crater macroparticle Phase-field simulation
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基于二维窄带宏粒子模型的带状电子注传输研究
7
作者 张小锋 阮存军 +3 位作者 罗积润 韩莹 赵鼎 阮望 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第1期151-155,共5页
带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,非常适合应用于高功率微波与毫米波真空电子器件电子注形成。该文针对带状电子注的这种特性,建立了2维窄带宏粒子模型,编写了静电磁约束下带状电子注传输过程的分析计算程序,讨论了无外加高... 带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,非常适合应用于高功率微波与毫米波真空电子器件电子注形成。该文针对带状电子注的这种特性,建立了2维窄带宏粒子模型,编写了静电磁约束下带状电子注传输过程的分析计算程序,讨论了无外加高频场时带状电子注在均匀磁场和周期会切磁场聚焦情况下的传输过程,数值计算结果与单粒子模型及3维PIC软件模拟结果进行了比较,结果表明,该文编写程序的计算结果与3维PIC软件的有很好的一致性,且计算速率有大幅度提升。 展开更多
关键词 带状电子注 电子注传输 窄带宏粒子 周期会切磁场
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大颗粒尿素造粒工艺简介 被引量:7
8
作者 陈文华 吴昕 《化工生产与技术》 CAS 2002年第3期16-17,共2页
介绍了大颗粒尿素造粒工艺,着重介绍了荷兰NSM公司的流化床造粒技术和法国K-T公司的流化床转鼓造粒(FDG)技术。
关键词 大颗粒尿素 造粒 工艺 流化床造粒 流化床转鼓造粒 FDG
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ISO 14644-1洁净室空气洁净度等级标准的特点 被引量:6
9
作者 严德隆 《洁净与空调技术》 2003年第2期8-11,共4页
对洁净室空气洁净度等级标准的国际标准ISO14644-1与美国标准FS209E的主要不同点进行列举并对ISO14644-1在等级依据公式及表达格式方面的特点进行对比分析。
关键词 洁净室 空气洁净度 等级标准 美国 悬浮粒子
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电弧离子镀的旋转横向磁场弧源设计 被引量:6
10
作者 赵彦辉 郎文昌 +2 位作者 肖金泉 宫骏 孙超 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期387-391,共5页
电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场... 电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能。为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧斑的运动。通过有限元模拟磁场的分布,对旋转横向磁场控制的电弧离子镀弧源进行了优化设计。并根据方案制作了旋转磁场发生装置及其电源,使该弧源的旋转磁场具有多模式可调频调幅的功能,用以改善弧斑的放电形式,提高靶材刻蚀均匀性和靶材利用率,减少靶材大颗粒的发射,用以制备高质量的薄膜以及功能薄膜,以拓展电弧离子镀的应用范围。 展开更多
关键词 电弧离子镀 大颗粒污染 旋转横向磁场 弧源设计
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过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传输特性的实验 被引量:6
11
作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期361-365,共5页
介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究.实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高.但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈... 介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉积成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究.实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高.但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关.过滤管道正偏压在40~60V范围内,管道磁场在7~11mT时传输效率较高,偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高. 展开更多
关键词 真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 传输特性 薄膜
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Plasma Simulation beyond Rigid-Macroparticle Approximation
12
作者 Hai Lin Chengpu Liu 《Journal of Modern Physics》 2018年第5期807-815,共9页
Current mainstream method of simulating plasma is based on rigid-macroparticle approximation in which many realistic particles are merged, according to their initial space positions regardless of their initial velocit... Current mainstream method of simulating plasma is based on rigid-macroparticle approximation in which many realistic particles are merged, according to their initial space positions regardless of their initial velocities, into a macroparticle, and do a global motion. This is a distorted picture because what each macroparticle do is to break into, because of differences among velocities of contained realistic particles, pieces with different destinations at next time point, rather than a global moving to a destination at next time point. Therefore, the scientific validity of results obtained from such an approximation cannot be warranted. Here, we propose a solution to this problem. It can fundamentally warrant exact solutions of plasma self-consistent fields and hence those of microscopic distribution function. 展开更多
关键词 Particle Beam Plasma Rigid-macroparticle APPROXIMATION SELF-CONSISTENT Field Simulation Vlasov-Maxwell System
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采用人工流体神经网络实现图象型微粒的检测 被引量:2
13
作者 杨成胡 陈光杰 +1 位作者 余学飞 樊英杰 《中国医疗器械杂志》 CAS 1997年第1期46-49,共4页
在二值微粒图象中,微粒的形态是一封闭的连通区域,微粒检测其实就是连通域的检测。据此,文章提出了采用模拟实际视觉系统扩散行为的人工流体神经网络来实现微粒检测的新方法,并进行了计算机模拟仿真实验,结果证明该方法检测能力强... 在二值微粒图象中,微粒的形态是一封闭的连通区域,微粒检测其实就是连通域的检测。据此,文章提出了采用模拟实际视觉系统扩散行为的人工流体神经网络来实现微粒检测的新方法,并进行了计算机模拟仿真实验,结果证明该方法检测能力强、检测结果准确可靠。 展开更多
关键词 人工流体 神经网络 微粒检测 实验室诊断
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Phenomena and Mechanism of Positive Pulsed Discharge Branching in Two-phase Mixtures
14
作者 DENG Heming ZHANG Guangzhou +3 位作者 XU Yuhang HE Zhenghao ZHU Hongzhao LIANG Wei 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2152-2158,共7页
Discharge branching is a general phenomenon in atmospheric-pressure air,dense gases,and two-phase mixtures(TPMs).In this work,an ultraviolet imaging device is utilized to investigate the branching of positive pulsed d... Discharge branching is a general phenomenon in atmospheric-pressure air,dense gases,and two-phase mixtures(TPMs).In this work,an ultraviolet imaging device is utilized to investigate the branching of positive pulsed discharges in TPMs.Comparison among the captured images indicates that the branching is caused by the voltages and the macropartilces in the discharge channels combining together.The interaction of macroparticles with ions,electrons or photons is one reason for the branching behavior of pulsed discharges.The generation of electrons at the discharge front closely relates to the work function of dielectric macroparticles,which is a key parameter influencing the electron-emission ability of macroparticle surfaces.The electric field alteration under various applied voltage in TPMs,which is calculated by a two-dimension finite element method,is the other reason for the guiding effect of macroparticles on the streamers compared with in the air. 展开更多
关键词 两相混合物 放电现象 脉冲放电 电子发射能力 机制 TPM 大颗粒 大气压力
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带状电子注空间电荷场的格林函数法求解
15
作者 张小锋 阮存军 +3 位作者 韩莹 罗积润 赵鼎 阮望 《微波学报》 CSCD 北大核心 2010年第S1期467-470,共4页
带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,为了研究其空间电荷效应,本文建立了相应的二维宏粒子物理模型,并通过格林函数法求解带状电子注内的空间电荷力。在该模型中,带状电子注用一系列窄带代替,每个窄带受到的空间电荷力通过叠加... 带状电子注具有非轴对称性和大宽高比的特性,为了研究其空间电荷效应,本文建立了相应的二维宏粒子物理模型,并通过格林函数法求解带状电子注内的空间电荷力。在该模型中,带状电子注用一系列窄带代替,每个窄带受到的空间电荷力通过叠加其它窄带作用于该窄带的电场力得到。本文对该窄带模型进行了详细的分析,计算了电子注内的空间电荷力,编写了基于该模型的数值模拟程序,模拟了带状电子注在不同静电磁约束下的运动及传输情况,计算结果与三维PIC软件有很好的一致性,验证了基于该二维宏粒子模型的格林函数法求解带状电子注空间电荷场的合理性和准确性。 展开更多
关键词 带状电子注 空间电荷场 窄带宏粒子
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磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究
16
作者 王广甫 张荟星 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第10期842-847,共6页
利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电... 利用一台磁过滤真空弧沉积装置 ,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响。实验证明 ,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用 ,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响。给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路 。 展开更多
关键词 磁过滤管道 阴极真空弧 第二阳极作用 等效电路 真空弧放电 等离子体 磁过滤真空弧沉积装置
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过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统
17
作者 王广甫 张荟星 张孝吉 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期775-778,共4页
建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增... 建立了一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积装置 .通过在 90°磁过滤管道和阴极之间加一30~ 60V的正偏压使系统沉积速率得到了大幅度提高 .研究和观察表明 ,此时在过滤管道和阴极之间产生了阴极真空弧放电 ,并因此使阴极消耗率大幅度增大 .对此放电回路及其和MEVVA阳极 展开更多
关键词 阴极真空弧 等离子体沉积 磁过滤管道 第二阳极
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Microstructure and mechanical properties of TiN/TiAlN multilayer coatings deposited by arc ion plating with separate targets 被引量:13
18
作者 魏永强 李春伟 +2 位作者 巩春志 田修波 杨士勤 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期1068-1073,共6页
TiN/TiAlN multilayer coatings were prepared by arc ion plating with separate targets. In order to decrease the unfavorable macroparticles, a straight magnetized filter was used for the low melting aluminium target. Th... TiN/TiAlN multilayer coatings were prepared by arc ion plating with separate targets. In order to decrease the unfavorable macroparticles, a straight magnetized filter was used for the low melting aluminium target. The results show that the output plasmas of titanium target without filter and aluminium target with filter reach the substrate with the same order of magnitude. Meanwhile, the number of macropartieles in TiN/TiAlN multilayer coatings deposited with separate targets is only 1/10-1/3 of that deposited with alloy target reported in literature. Al atom addition may lead to the decrease of peak at (200) lattice plane and strengthening of peak at (111) and (220) lattice planes. The measured hardness of TiN/TiAlN multilayer coatings accords with the mixture principle and the maximum hardness is HV2495. The adhesion strength reaches 75 N. 展开更多
关键词 arc ion plating TiN/TiAlN coatings M2 high speed steel macroparticleS HARDNESS bilayer modulation
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磁过滤电弧离子镀TiN薄膜的制备及其强化机理研究 被引量:11
19
作者 史新伟 李杏瑞 +1 位作者 邱万起 刘正义 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期486-491,共6页
采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄... 采用电弧离子镀(AIP)和磁过滤电弧离子镀(MFAIP)方法分别在不锈钢和硅片上制备了两种不同的TiN薄膜。利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌及组织结构;利用X射线衍射(XRD)及透射电镜(TEM)进行相鉴定;用纳米力学测试系统(NHT)测量了薄膜的硬度。结果表明:MFAIP TiN薄膜具有强烈的(111)面择优取向,薄膜表面光滑、表面熔滴颗粒(MP)少、薄膜的柱状晶组织细小、致密,薄膜具有较高的硬度。并在此基础上讨论了薄膜的强化机理,认为磁过滤器是制备高质量TiN薄膜及其复合薄膜行之有效的一种方法,是今后制备高性能TiN及其复合膜的发展方向。 展开更多
关键词 TIN薄膜 磁过滤器 熔滴颗粒 复合膜
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过滤电弧抑制薄膜中颗粒机理的实验分析 被引量:8
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作者 李成明 孙晓军 +2 位作者 张增毅 唐伟忠 吕反修 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2004年第3期268-271,共4页
讨论利用直线型过滤电弧制备TiAlN薄膜中,过滤磁场作用于弧斑、靶中毒现象,电子和离子的回流和叠加偏压等因素影响作用的大小进行了实验分析.结果表明,磁场对弧斑分裂和弧斑运动速度的综合作用最为显著是由于直线型过滤电弧形成的瓶颈... 讨论利用直线型过滤电弧制备TiAlN薄膜中,过滤磁场作用于弧斑、靶中毒现象,电子和离子的回流和叠加偏压等因素影响作用的大小进行了实验分析.结果表明,磁场对弧斑分裂和弧斑运动速度的综合作用最为显著是由于直线型过滤电弧形成的瓶颈磁场造成的电子和离子的回流,以及直流叠加脉冲偏压形成的放电空间的等离子体磁撞,分解和离化的所起的共同作用的结果.这对于控制电弧离子镀沉积薄膜中的颗粒尺寸和颗粒密度,指定合理的工艺参数有一定的指导作用. 展开更多
关键词 过滤电弧 电弧离子镀 TIALN薄膜 沉积 磁场 工艺参数
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