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光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模
被引量：
2
1
作者
赵强
阎绍潭
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期241-245,共5页
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系...
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。
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关键词
光刻机
误差模型
多体运动学
低序体阵列
齐次坐标变换
原文传递
母光栅刻划设备运动平台机械误差分析
2
作者
黄剑波
郑黎明
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2015年第5期9-13,共5页
为了确定母光栅刻划设备运动平台各项机械误差与设备最终刻划精度之间的数学关系,为设备的设计和制造提供相关理论依据。首先,采用多体系统动力学方法,确立了母光栅刻划设备运动平台的拓扑结构及低序体阵列。然后,分析确定了运动平台的...
为了确定母光栅刻划设备运动平台各项机械误差与设备最终刻划精度之间的数学关系,为设备的设计和制造提供相关理论依据。首先,采用多体系统动力学方法,确立了母光栅刻划设备运动平台的拓扑结构及低序体阵列。然后,分析确定了运动平台的机械误差所包含的各个误差项,并建立了运动平台机械误差与设备最终刻划误差之间的误差分析模型。最后,应用Matlab软件根据所建模型对母光栅刻划设备的刻划精度进行了仿真分析。仿真结果表明:各项机械误差综合结果在各轴向的分量都在±0.4μm范围之内,均满足母光栅刻划设备精度要求。所建立的误差分析模型具有简洁方便、便于编程等优点,可以作为设备设计时误差合成和误差分配的依据。
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关键词
运动平台
机械误差
多体系统动力学
低序体阵列
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职称材料
倒装焊机精密对位系统的误差建模
3
作者
王晓奎
曹国斌
《物流工程与管理》
2013年第8期129-131,134,共4页
为了提高倒装焊机的对位精度,建立了倒装焊机对位系统的几何和运动误差模型。引入低序体阵列描述倒装焊机对位系统的拓扑结构,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程,进一步分析了倒装焊的运动误差链,推...
为了提高倒装焊机的对位精度,建立了倒装焊机对位系统的几何和运动误差模型。引入低序体阵列描述倒装焊机对位系统的拓扑结构,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程,进一步分析了倒装焊的运动误差链,推导了倒装焊运动通用误差模型,该模型可为倒装焊等对位机构的精度设计提供参考。
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关键词
倒装焊
误差模型
多体运动学
低序体阵列
齐次坐标变换
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职称材料
题名
光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模
被引量：
2
1
作者
赵强
阎绍潭
机构
清华大学精密仪器与机械学系
东北林业大学交通学院
出处
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第2期241-245,共5页
基金
国家自然科学基金项目(50390062)
黑龙江省自然科学基金项目(E200605)
文摘
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。
关键词
光刻机
误差模型
多体运动学
低序体阵列
齐次坐标变换
Keywords
wafer
stepper
error
model
multi-
body
kinematics
lower
numbered
body
array
homogeneous
coordinate
transformation
分类号
TH161.2 [机械工程—机械制造及自动化]
原文传递
题名
母光栅刻划设备运动平台机械误差分析
2
作者
黄剑波
郑黎明
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2015年第5期9-13,共5页
基金
国家科技重大专项子课题"高集成化单码道绝对式光栅尺研发及产业化"(2013ZX04007-021)
文摘
为了确定母光栅刻划设备运动平台各项机械误差与设备最终刻划精度之间的数学关系,为设备的设计和制造提供相关理论依据。首先,采用多体系统动力学方法,确立了母光栅刻划设备运动平台的拓扑结构及低序体阵列。然后,分析确定了运动平台的机械误差所包含的各个误差项,并建立了运动平台机械误差与设备最终刻划误差之间的误差分析模型。最后,应用Matlab软件根据所建模型对母光栅刻划设备的刻划精度进行了仿真分析。仿真结果表明:各项机械误差综合结果在各轴向的分量都在±0.4μm范围之内,均满足母光栅刻划设备精度要求。所建立的误差分析模型具有简洁方便、便于编程等优点,可以作为设备设计时误差合成和误差分配的依据。
关键词
运动平台
机械误差
多体系统动力学
低序体阵列
Keywords
motion
platform
mechanical
error
multi
body
system
dynamics
lower
numbered
body
array
分类号
TH128 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
倒装焊机精密对位系统的误差建模
3
作者
王晓奎
曹国斌
机构
中国电子科技集团公司第二研究所
出处
《物流工程与管理》
2013年第8期129-131,134,共4页
文摘
为了提高倒装焊机的对位精度,建立了倒装焊机对位系统的几何和运动误差模型。引入低序体阵列描述倒装焊机对位系统的拓扑结构,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程,进一步分析了倒装焊的运动误差链,推导了倒装焊运动通用误差模型,该模型可为倒装焊等对位机构的精度设计提供参考。
关键词
倒装焊
误差模型
多体运动学
低序体阵列
齐次坐标变换
Keywords
flip
chip
bond
error
model
multi-
body
kinematics
lower
number
body
array
homogeneous
coordinate
transformation
分类号
TH111 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光刻机精密运动平台的几何及运动误差建模
赵强
阎绍潭
《清华大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
2
原文传递
2
母光栅刻划设备运动平台机械误差分析
黄剑波
郑黎明
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2015
0
下载PDF
职称材料
3
倒装焊机精密对位系统的误差建模
王晓奎
曹国斌
《物流工程与管理》
2013
0
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职称材料
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