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基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
被引量：
1
1
作者
施伟杰
王向朝
+1 位作者
张冬青
王帆
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期85-90,共6页
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的...
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的FEM焦深测试技术相比,该技术具有测量精度高、速度快、成本低、操作简单等优点,在光刻工艺参数优化及光刻设备性能评价等方面有很好的应用前景。
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关键词
激光技术
焦深
光学对准
投影光刻机
原位检测
原文传递
被动式液体微混合器芯片的研制
被引量：
1
2
作者
张雅雅
彭湉
+2 位作者
王洪
李桂林
崔建国
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第12期127-132,共6页
微混合器是当今世界微流体领域的研究热点之一,具有极其广阔的应用前景。在微通道内实现液体的高效扩散和混合,进而开展化学和生物分析等反应,对微流体芯片的设计和制造具有重大意义。借助数字光刻投影系统和微波炉改性方法制作了一系...
微混合器是当今世界微流体领域的研究热点之一,具有极其广阔的应用前景。在微通道内实现液体的高效扩散和混合,进而开展化学和生物分析等反应,对微流体芯片的设计和制造具有重大意义。借助数字光刻投影系统和微波炉改性方法制作了一系列被动式微量液体混合器芯片,通过对比实验分析设计了可在低雷诺数状态下实现两液体快速高效混合功能的被动式微混合器。实验结果显示:在加工的微混合器通道尺寸最小为40μm,雷诺值为0.68时,可实现较好的混合效果。同时,整个微流体加工工艺无需光刻机等昂贵的专业设备,也无需超净间等特殊环境,在普通生化实验室3 h内就能完成微混合芯片的制备。整个混合器的制作成本低、耗时短、操作简单,可作为大多数普通高校实验室开展微流体芯片研究的一种参照和借鉴。
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关键词
微混合器
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
微波改性
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职称材料
题名
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
被引量：
1
1
作者
施伟杰
王向朝
张冬青
王帆
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期85-90,共6页
文摘
提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的FEM焦深测试技术相比,该技术具有测量精度高、速度快、成本低、操作简单等优点,在光刻工艺参数优化及光刻设备性能评价等方面有很好的应用前景。
关键词
激光技术
焦深
光学对准
投影光刻机
原位检测
Keywords
laser
technique
depth
of
focus
optical
alignment
lithographic
projection
system
in
situ
measurement
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
被动式液体微混合器芯片的研制
被引量：
1
2
作者
张雅雅
彭湉
王洪
李桂林
崔建国
机构
重庆理工大学药学与生物工程学院
出处
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015年第12期127-132,共6页
基金
国家科技支撑计划项目(2015BAI01B14)
重庆理工大学实验技术基金项目(Sk201403)
重庆理工大学研究生教育教学改革项目(yjg2013205)
文摘
微混合器是当今世界微流体领域的研究热点之一,具有极其广阔的应用前景。在微通道内实现液体的高效扩散和混合,进而开展化学和生物分析等反应,对微流体芯片的设计和制造具有重大意义。借助数字光刻投影系统和微波炉改性方法制作了一系列被动式微量液体混合器芯片,通过对比实验分析设计了可在低雷诺数状态下实现两液体快速高效混合功能的被动式微混合器。实验结果显示:在加工的微混合器通道尺寸最小为40μm,雷诺值为0.68时,可实现较好的混合效果。同时,整个微流体加工工艺无需光刻机等昂贵的专业设备,也无需超净间等特殊环境,在普通生化实验室3 h内就能完成微混合芯片的制备。整个混合器的制作成本低、耗时短、操作简单,可作为大多数普通高校实验室开展微流体芯片研究的一种参照和借鉴。
关键词
微混合器
聚二甲基硅氧烷
数字光刻投影系统
微波改性
Keywords
micro
mixer
PDMS
Digital
lithographic
projection
system
microwave
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术
施伟杰
王向朝
张冬青
王帆
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
原文传递
2
被动式液体微混合器芯片的研制
张雅雅
彭湉
王洪
李桂林
崔建国
《重庆理工大学学报（自然科学）》
CAS
2015
1
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职称材料
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