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题名基于模糊PID的光刻机同步扫描控制
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作者
盛壮
唐小萍
胡松
李兰兰
谢飞
李金龙
徐锋
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机构
中国科学院光电技术研究所
中国科学院研究生院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2011年第9期591-595,605,共6页
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基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA03Z341)
国家自然科学基金资助项目(61076100)
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文摘
基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
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关键词
双直线电机
同步扫描
模糊PID控制
SIMULINK
光刻
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Keywords
dual linear electric motor
synchronous scan
fuzzy PID control
Simulink
litho-graphy
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
TP271.4
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名虚拟现实与CAD模型的数据对接探讨
被引量：2
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作者
顾成容
周骥平
魏孝斌
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机构
扬州大学机械工程学院
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出处
《中国制造业信息化（学术版）》
2006年第4期23-25,28,共4页
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文摘
通过对CAD系统中一些常用的三角形数据交换格式和虚拟现实开发工具包WorldToolKit(WTK)的模型操作功能的分析与研究,提出并实现了在WTK开发环境中读取CAD系统导出的三角面片模型的方法。用VisaulaC++6.0作为开发平台,利用WTK中自定义模型的功能实现模型的生成。该方法实现了虚拟环境中直接使用CAD导出模型的目的。
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关键词
数据转换
虚拟环境
WTK
STL
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Keywords
Data Exchange
Virtual Enviromnent
WTK
Stereo litho graphy
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分类号
TP391.72
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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