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氧化钒薄膜作为锂离子微电池阴极膜的磁控溅射技术的制备(英文) 被引量：1
1
作者 李静 李志栓 吴孙桃 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1301-1304,共4页
研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(-αV2O5)薄膜。并使用X射线衍射(XRD)与X射线光电子谱(XPS)来表征薄膜的晶向及化学组分。结果表明通过调节氧气以及氩气的流... 研究了用磁控溅射系统来制备氧化钒薄膜,通过优化工艺条件制备出可用作锂离子微电池阴极膜的非晶态五氧化二钒(-αV2O5)薄膜。并使用X射线衍射(XRD)与X射线光电子谱(XPS)来表征薄膜的晶向及化学组分。结果表明通过调节氧气以及氩气的流量、基片的温度和溅射功率,可以制备出高纯度的α-V2O5薄膜。而且,半电池体系V2O5/LiPF6/Li被构造用于表征在锂电池中作为阴极膜的五氧化二钒(-αV2O5)的电学性质。在此电池系统经过10个循环放电后,薄膜放电电容趋于稳定值。 展开更多
关键词 α-V2O5 阴极膜 射频磁控溅射 锂离子电池
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