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石英基片(0°,124°,γ)系列传播方向上表面声波波动模式的研究
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作者 童筱钧 章德 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第1期80-86,共7页
对石英基片欧拉角为 (0° ,12 4° ,γ)系列传播方向上传播的表面声波波动模式进行了理论分析与实验研究 发现在欧拉角为 (0° ,12 4° ,50°)传播方向上存在着传播性能较好的表面准纵波模式 ,它的相速度为 70 13.... 对石英基片欧拉角为 (0° ,12 4° ,γ)系列传播方向上传播的表面声波波动模式进行了理论分析与实验研究 发现在欧拉角为 (0° ,12 4° ,50°)传播方向上存在着传播性能较好的表面准纵波模式 ,它的相速度为 70 13.8m/s、传播衰减为 9.36× 10 - 5dB/λ、机电耦合系数为 0 .0 0 5% 基于此传播方向的表面声波波动模式的另一个特点是漏剪切声波模式几乎不激发 ,这一点对于制作高频器件有一定的应用价值 并指出当传播方向偏离常用的传播方向γ =90°时 ,表面漏剪切声波存在着严重的束偏向问题 同时在文章中给出了 (0° ,12 4° ,γ)系列传播方向上瑞利波相速度。 展开更多
关键词 高频器件 瑞利波 石英 表面声波 波动模式
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