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长线阵12000元CCD密封技术研究 被引量:2
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作者 钟四成 陈于伟 +1 位作者 程顺昌 王艳 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期698-701,共4页
针对长线阵12000元CCD封装密封技术进行了探讨,比较了目前封装中的几种主流封盖技术的特点,表明采用胶封技术在目前对CCD来说是一种合理选择。针对紫外胶A,进行了胶封工艺的开发。对氟油粗检漏技术进行了分析,最终采用了一种新的氦气加... 针对长线阵12000元CCD封装密封技术进行了探讨,比较了目前封装中的几种主流封盖技术的特点,表明采用胶封技术在目前对CCD来说是一种合理选择。针对紫外胶A,进行了胶封工艺的开发。对氟油粗检漏技术进行了分析,最终采用了一种新的氦气加压常温气泡检漏法对器件的密封效果进行考核检测。 展开更多
关键词 长线阵CCD 封盖技术 氟油粗检漏 氦气加压常温气泡 密封
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