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新型Sol-Gel技术PZT铁电厚膜的制备及电学性能研究 被引量:6
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作者 夏冬林 刘梅冬 +3 位作者 曾亦可 李军 黄焱球 刘少波 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期1156-1160,共5页
采用新型sol-gel技术在 Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为 2~60μm的PZT铁 电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PZT厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构,无焦绿石相存在.S... 采用新型sol-gel技术在 Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了厚度为 2~60μm的PZT铁 电厚膜材料;研究了PZT厚膜的结构及其介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PZT厚膜 呈现出纯钙钛矿相结构,无焦绿石相存在.SEM电镜照片显示,PZT膜厚均匀一致,无裂 纹、高致密.厚度为50μm的PZT厚膜的介电常数为860,介电损耗为0.03,剩余极化强度 是25μC/cm2.矫顽场是40kV/cm. 展开更多
关键词 sol-gel技术 介电性能 铁电性能 铁电陶瓷 pzt铁电厚膜 制备 溶胶-凝胶方法
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基于PZT片的智能骨料受力性能试验研究 被引量:10
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作者 阎石 吴杰 Gang-bing SONG 《混凝土》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期61-63,67,共4页
PZT传感器在混凝土结构的健康检测中应用日益广泛。为了减小外部环境对PZT片工作性能的影响,将其放于一个小体积的混凝土砌块中并将这种新型的传感器称为智能骨料。作为一种新型的压电陶瓷传感器,中外学者对它的封装和保护方法进行了探... PZT传感器在混凝土结构的健康检测中应用日益广泛。为了减小外部环境对PZT片工作性能的影响,将其放于一个小体积的混凝土砌块中并将这种新型的传感器称为智能骨料。作为一种新型的压电陶瓷传感器,中外学者对它的封装和保护方法进行了探讨,但是对其本身受力性能的研究仍然处于初步阶段。进行了智能骨料的受压和受剪静力性能试验,通过被动检测技术对骨料的破坏过程进行实时监测直到骨料外包材料破坏为止。试验结果表明:智能骨料内部压电陶瓷片尺寸是影响其抗压与抗剪能力的主要因素,骨料外包层和内部压电陶瓷片尺寸越小,其智能骨料的抗压与抗剪能力越强。智能骨料良好抗压和抗剪能力为其在工程中的应用奠定了基础。 展开更多
关键词 智能骨料 被动检测技术 压电陶瓷(锆钛酸铅) 受力性能
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PZT94/6陶瓷热释电性能 被引量:4
3
作者 杨同青 王旭升 +1 位作者 张良莹 姚熹 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期492-494,共3页
采用Byer-Roundy法,在-120℃~+225℃范围内对PZT94/6陶瓷热释电性进行了研究。在35℃左右出现的热释电电流峰是由FRL-FRH相变引起的。利用此相变特性,可以获得较大的热释电系数,最大可达120&... 采用Byer-Roundy法,在-120℃~+225℃范围内对PZT94/6陶瓷热释电性进行了研究。在35℃左右出现的热释电电流峰是由FRL-FRH相变引起的。利用此相变特性,可以获得较大的热释电系数,最大可达120×10-8C/cm2·k。 展开更多
关键词 热释电 铁电陶瓷 pzt 锆钛酸铅
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基于PZT纳米纤维柔性压力传感器的研制 被引量:7
4
作者 刘扬 谭晓兰 +1 位作者 鲍娜娜 刘宁 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第10期733-737,745,共6页
设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDM... 设计制作了一种柔性压力传感器,以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)作为柔性基底,用静电纺丝技术制备的锆钛酸铅(PZT)纳米纤维作为敏感材料。将PZT纳米纤维铺设到带有氧化铟锡(ITO)叉指电极的PET柔性基底上,再将聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖在PZT纳米纤维上制成柔性压力传感器。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分别对PZT纳米纤维的晶体结构和形貌进行了表征,并通过测试系统测试了传感器的性能。测试结果表明:在20-60kPa内,随着压强的增大,传感器的开路电压随之线性增大,最大约为10V,其中灵敏度约为180mV/kPa。 展开更多
关键词 静电纺丝 柔性压力传感器 锆钛酸铅(pzt) 柔性基底 纳米纤维 敏感材料
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基于压电陶瓷的不同服役年限木构件损伤监测 被引量:7
5
作者 蒙卉恩 杨霞 +1 位作者 李顺涛 杨文伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期129-136,共8页
基于压电陶瓷的主动传感技术对不同服役年限的木构件进行损伤评估。取服役年限为0年、3年、40年的木构件制成三个尺寸相同的立方体试件,在每个试件的六个面上分别粘贴压电陶瓷片(PZT),用于信号的发射及接收。分别对不同服役年限试件传... 基于压电陶瓷的主动传感技术对不同服役年限的木构件进行损伤评估。取服役年限为0年、3年、40年的木构件制成三个尺寸相同的立方体试件,在每个试件的六个面上分别粘贴压电陶瓷片(PZT),用于信号的发射及接收。分别对不同服役年限试件传感器测量的信号进行了小波包和功率谱分析,发现应力波沿木材纵向传播时相较于服役年限短的试件,长年限试件的信号的幅值更大,沿木材径向及弦向传播时随木材服役年限的增加信号的幅值随之减小。结果表明,文中提出的方法能有效的识别不同服役年限的木构件,可为实际工程中不同服役年限木结构古建筑健康监测提供参考。 展开更多
关键词 健康监测 压电陶瓷 小波包分析 木构件 应力波
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基于高效抗生素污染降解作用的压电分离膜抗污染性能与机理研究
6
作者 李天昕 李欣雅 +2 位作者 徐水洋 陈星宇 李大庆 《应用基础与工程科学学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第1期31-48,共18页
膜过滤存在的膜污染和浓差极化等会影响抗生素降解、分离选择性能和膜使用寿命,是亟待解决的关键问题.因此,采用干压成型方法制备锆钛酸铅(Pb(Zr_(x)Ti_(1-x))O_(3),PZT)压电分离膜,并分析膜淀粉含量对膜孔径、孔隙率的影响,比较制备得... 膜过滤存在的膜污染和浓差极化等会影响抗生素降解、分离选择性能和膜使用寿命,是亟待解决的关键问题.因此,采用干压成型方法制备锆钛酸铅(Pb(Zr_(x)Ti_(1-x))O_(3),PZT)压电分离膜,并分析膜淀粉含量对膜孔径、孔隙率的影响,比较制备得到的膜产品分离能力差异;使用串联阻力模型将产生原位振动的压电分离膜、基膜及相近孔径的普通微滤膜的抗污染性能和膜污染类型进行对比,结合传统滤饼过滤模型和Hermia模型,研究压电分离膜由原位振动导致的抗生素降解率和抗污染机理的变化规律.研究结果表明:随着淀粉含量的增加,膜的孔隙率和平均孔径随之增加,截留率随之降低;相同情况下过滤120min后,PZT压电分离膜的膜通量比市场上的普通微滤膜高出10.3%,且其可逆污垢占比最小;同时,由于原位振动诱导的空化现象,PZT压电分离膜的抗生素降解率相比于基膜提升了26%;由于原位振动的作用,PZT压电分离膜将膜污染机制由滤饼过滤为主导的复合污染机制转变为膜孔堵塞向滤饼过滤的过渡机制.以期该研究结果为压电膜技术解决抗生素废水处理和膜污染防治问题提供方法与理论支撑. 展开更多
关键词 污垢控制 膜污染控制 锆钛酸铅(pzt) 压电分离膜 抗生素 原位振动
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PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制 被引量:6
7
作者 夏冬林 刘梅冬 +2 位作者 曾亦可 陈实 赵修建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期196-199,共4页
对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。
关键词 锆钛酸铅(pzt) 铁电厚膜 铁电声纳换能器 湿法化学刻蚀
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Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅压电陶瓷的制备与表征
8
作者 贝颂 何宜珂 +1 位作者 马寅博 刘贵山 《大连工业大学学报》 CAS 2024年第4期291-295,共5页
以三氧化二锑、碳酸钡为掺杂原材料,采用固相烧结法制备了Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅陶瓷。利用XRD、SEM、自动元件分析仪、准静态D33测量仪、精密阻抗分析仪等对介质的物相、微观形貌、机电性能进行了研究。实验结果表明,Sb^(3+)... 以三氧化二锑、碳酸钡为掺杂原材料,采用固相烧结法制备了Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅陶瓷。利用XRD、SEM、自动元件分析仪、准静态D33测量仪、精密阻抗分析仪等对介质的物相、微观形貌、机电性能进行了研究。实验结果表明,Sb^(3+)和Ba^(2+)共掺杂锆钛酸铅陶瓷具有更好的致密性,当掺杂质量分数为1%的Sb_(2)O_(3)和2%的BaO时,机电性能显著提升,相对介电常数为1854,压电系数为439.6 pC/N,机电耦合系数为66%,居里温度从398℃降至380℃。高的压电系数有利于提升锆钛酸铅所制备电子元器件的接收和发射的灵敏度。 展开更多
关键词 锆钛酸铅 共掺杂 压电陶瓷 机电耦合系数
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型钢-混凝土结构界面的损伤监测试验研究 被引量:5
9
作者 蒋田勇 肖敏 吴青霖 《实验力学》 CSCD 北大核心 2020年第4期616-628,共13页
型钢-混凝土结构连接界面的损伤监测具有重要实际意义。本文提出一种基于压电智能材料的型钢-混凝土结构界面损伤主动传感监测方法。在型钢上翼缘下表面连接件附近粘贴6套锆钛酸铅(Lead Zirconate Titanate, PZT)压电陶瓷片作为发射应... 型钢-混凝土结构连接界面的损伤监测具有重要实际意义。本文提出一种基于压电智能材料的型钢-混凝土结构界面损伤主动传感监测方法。在型钢上翼缘下表面连接件附近粘贴6套锆钛酸铅(Lead Zirconate Titanate, PZT)压电陶瓷片作为发射应力波的驱动器,并在翼缘板内对应位置处布设7个智能骨料传感器以采集经由损伤界面传来的响应信号。通过依次松动型钢-混凝土结构试件中对称布置的四颗螺栓,模拟连接界面的损伤状况,再对上述损伤状况下响应信号进行时域、频域以及小波包能量的对比分析。由试验结果分析可知,时域信号幅值、频域信号幅值以及小波包能量幅值都随着损伤状况的加剧出现了明显的降低,这主要是由于螺栓松动导致型钢与混凝土实际接触面积的减小,阻挡了应力波的传播。试验结果表明基于压电陶瓷的主动传感监测方法能够有效地监测和评价型钢-混凝土结构界面的损伤状况。 展开更多
关键词 界面损伤 压电陶瓷 主动传感监测 螺栓连接件 小波包能量
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Sol-Gel法制备PZT陶瓷超细粉的研究 被引量:1
10
作者 夏冬林 刘梅冬 +1 位作者 周学东 赵修建 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期331-334,共4页
以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,采用改进的Sol-Gel工艺,制备出结晶良好、化学组成精确、颗粒分散性好、粒径约为20~30nm的PZT超细粉。实验结果表明,Sol-Gel... 以乙酸铅(Pb(CH3COO)2·3H2O)、钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)、硝酸锆(Zr(NO3)4·5H2O)替代锆醇盐为原料,采用改进的Sol-Gel工艺,制备出结晶良好、化学组成精确、颗粒分散性好、粒径约为20~30nm的PZT超细粉。实验结果表明,Sol-Gel法制备的PZT粉末的合成温度比传统的固相反应法烧结温度低,在煅烧温度在550~700°C温度范围内,可制备出PZT陶瓷超细粉。 展开更多
关键词 锆钛酸铅(pzt) 陶瓷超细粉 SOL-GEL法
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PZT基复合材料的3D打印制备及其柔性传感性能研究 被引量:3
11
作者 沈书逸 李江 +3 位作者 徐倩倩 周科朝 张斗 张妍 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第4期526-530,共5页
为提高柔性可穿戴传感器的电信号输出能力,设计并制备了以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基体,锆钛酸铅(PZT)为压电相的0-3型压电复合材料。探究了不同固相含量对浆料流变性能的影响。结果表明,浆料的粘度与剪切模量随银修饰PZT质量分数(w(PZT)... 为提高柔性可穿戴传感器的电信号输出能力,设计并制备了以聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基体,锆钛酸铅(PZT)为压电相的0-3型压电复合材料。探究了不同固相含量对浆料流变性能的影响。结果表明,浆料的粘度与剪切模量随银修饰PZT质量分数(w(PZT))的增加而增加,w(PZT)=38%时浆料屈服点为398.1 Pa,具有最优的可打印性。在电信号测试中,经银修饰样品最大电压峰-峰可达20.54 V,约为未经银修饰样品最大电压峰-峰值的5倍。弯曲测试中,在长度之差ΔL=7 cm时,样品电压峰-峰值为55 mV,证明样品具备柔性传感性能。 展开更多
关键词 直写成型 锆钛酸铅(pzt) 0-3型压电复合材料 柔性 传感
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基于锆钛酸铅的低电压驱动MEMS电场传感器研究
12
作者 雷虎成 夏善红 +6 位作者 彭春荣 毋正伟 张洲威 刘俊 彭思敏 刘向明 高雅浩 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第1期150-157,共8页
该文提出一种基于锆钛酸铅(PZT)的低电压驱动微机电系统(MEMS)电场传感器。该传感器基于电荷感应原理,其敏感单元由固定电极和可动电极构成。固定电极与可动电极均为感应电极,同时两者又是屏蔽电极。在PZT压电材料的驱动下,可动电极产... 该文提出一种基于锆钛酸铅(PZT)的低电压驱动微机电系统(MEMS)电场传感器。该传感器基于电荷感应原理,其敏感单元由固定电极和可动电极构成。固定电极与可动电极均为感应电极,同时两者又是屏蔽电极。在PZT压电材料的驱动下,可动电极产生垂直于敏感芯片基底的振动并且与固定电极形成交互屏蔽,当存在待测电场时,分别在可动电极和固定电极上产生相位差为180°的感应电流信号。该文进行了传感器的设计和有限元仿真,提出敏感微结构的加工工艺流程,突破了基于PZT压电材料的可动电极MEMS工艺兼容制备技术,完成了敏感芯片制备,对传感器进行了性能测试。该传感器具有工作电压低的突出优点。实验测试表明,在0~50 kV/m电场强度范围内,采用1 V交流驱动电压,电场传感器的灵敏度为0.292 mV/(kV/m),线性度为2.89%。 展开更多
关键词 电场传感器 锆钛酸铅 低电压驱动 微机电系统
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用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化 被引量:3
13
作者 娄利飞 杨银堂 李跃进 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第4期453-455,共3页
采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL... 采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL:4drops(4滴HF溶液)配比的腐蚀液在室温下对未结晶的PZT压电薄膜进行了湿法腐蚀微细加工;然后,对图形化好的压电薄膜进行再结晶的热处理,实验结果表明这种方法可用于压电薄膜微器件的制备。 展开更多
关键词 锆钛酸铅(pzt) 压电薄膜 微传感器 湿法化学刻蚀
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压电多层膜悬臂梁受力的有限元仿真 被引量:3
14
作者 李苏洋 夏鸿建 +1 位作者 张晓伟 陈显锋 《机械设计与制造》 北大核心 2021年第7期255-258,263,共5页
采用有限元软件ABAQUS6.14对压电多层膜悬臂梁进行了仿真模拟,在自由端受集中载荷下,预测薄膜结构对悬臂梁曲率半径和自由端及中心固定端等效应力的影响。结果表明自由端受到的载荷越大,则各层所对应的自由端和中心固定端的等效应力越大... 采用有限元软件ABAQUS6.14对压电多层膜悬臂梁进行了仿真模拟,在自由端受集中载荷下,预测薄膜结构对悬臂梁曲率半径和自由端及中心固定端等效应力的影响。结果表明自由端受到的载荷越大,则各层所对应的自由端和中心固定端的等效应力越大,而中性层曲率半径则越小。薄膜厚度越厚,自由端和固定端各层的等效应力越小,而各层的中性层曲率半径越大。同时将数值解与解析解进行比较,以验证有限元模型的正确性。仿真结果与解析解吻合良好,为后续MEMS微悬臂梁器件的结构优化和加工工艺提供可靠依据。 展开更多
关键词 压电多层悬臂梁 锆钛酸铅(pzt) 微机电系统(MEMS Micro-Eletronics Mechanical System) ABAQUS软件 中性层 曲率半径
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颗粒分散型纳米复合材料的研究 被引量:2
15
作者 严继康 甘国友 +1 位作者 杜景红 孙加林 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期118-121,共4页
采用溶胶-凝胶法制备了粒径为30~50nm 锆钛酸铅 PZT 纳米压电粉体。将 PZT 纳米粉分散于环氧树脂中得到具有0-3连通性的颗粒分散型纳米复合材料。讨论了影响 PZT 纳米粉体合成、纳米粉体分散均匀性和压电复合材料性能的主要因素,包括 ... 采用溶胶-凝胶法制备了粒径为30~50nm 锆钛酸铅 PZT 纳米压电粉体。将 PZT 纳米粉分散于环氧树脂中得到具有0-3连通性的颗粒分散型纳米复合材料。讨论了影响 PZT 纳米粉体合成、纳米粉体分散均匀性和压电复合材料性能的主要因素,包括 pH 值、粘度、超声波分散与柠檬酸三铵分散、PZT 纳米粉的含量等。 展开更多
关键词 0-3型纳米复合材料锆钛酸铅pzt
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三种铁电阴极材料电子发射性能试验研究 被引量:2
16
作者 陈忠道 张树人 +1 位作者 郭曙光 蔡雪梅 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期177-180,共4页
本文采用锆钛酸铅、钛酸铋钠和钛酸钡三种不同铁电阴极材料,进行了电子发射试验,测定了电子发射电流密度,并对其在电子发射试验时的波形进行了分析讨论。结果认为:锆钛酸铅材料的电子发射电流密度略优于其他两种材料,但从无铅化角度来讲... 本文采用锆钛酸铅、钛酸铋钠和钛酸钡三种不同铁电阴极材料,进行了电子发射试验,测定了电子发射电流密度,并对其在电子发射试验时的波形进行了分析讨论。结果认为:锆钛酸铅材料的电子发射电流密度略优于其他两种材料,但从无铅化角度来讲,钛酸钡与钛酸铋钠材料将有望取代现有的锆钛酸铅铁电阴极材料。 展开更多
关键词 铁电阴极材料 锆钛酸铅 钛酸铋钠 钛酸钡 电子发射
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ITO衬底上PZT膜的性能研究 被引量:1
17
作者 陈汉松 李金华 李坤 《江苏石油化工学院学报》 1999年第3期48-51,共4页
用Sol- Gel 锆钛酸铅(PZT) 溶胶, 在CVD 法沉积生成的掺锡氧化铟(ITO) / 玻璃衬底上旋转涂胶成膜。经快速热退火(RTA) 处理后, 用X 射线衍射(XRD) 测试了膜的结晶取向, 用RT66A 测试了膜的电... 用Sol- Gel 锆钛酸铅(PZT) 溶胶, 在CVD 法沉积生成的掺锡氧化铟(ITO) / 玻璃衬底上旋转涂胶成膜。经快速热退火(RTA) 处理后, 用X 射线衍射(XRD) 测试了膜的结晶取向, 用RT66A 测试了膜的电学性能。结果表明, Sol- Gel PZT膜在CVD 法生长的ITO 衬底上能正常结晶, 但结晶温度比在Pt 衬底上略高, 结晶取向以< 110 > 为主取向。ITO 衬底上厚度为0-64 μm 的PZT 膜的漏电约为5 ×10 - 7 A/m m2 , 比Pt 衬底上高不到一个数量级。8 V 时膜的有效介电常数Kef 约1 380 , 剩余极化强度Pr= 13 μC/cm2 , 与Pt 衬底上无明显差别。CVDITO/ 玻璃衬底可取代昂贵的Pt 衬底作铁电薄膜的性能研究。 展开更多
关键词 锆钛酸铅 掺锡氧化铟 铁电薄膜 衬底 ITO 薄膜
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管道在超声内检测声场作用下的PZT电信号模拟 被引量:2
18
作者 徐广丽 占霖勇 +1 位作者 汪冉 蔡亮学 《油气储运》 CAS 北大核心 2021年第12期1370-1377,共8页
管道缺陷与检测信号之间的精确关联是超声内检测回波信号分析的关键,而检测时声电信号在发射、传播、接收过程中的敏感性为关联的精确度带来极大挑战,通过数值模拟分析PZT(Lead Zirconate Titanate)正压电效应是研究检测信号特征的有效... 管道缺陷与检测信号之间的精确关联是超声内检测回波信号分析的关键,而检测时声电信号在发射、传播、接收过程中的敏感性为关联的精确度带来极大挑战,通过数值模拟分析PZT(Lead Zirconate Titanate)正压电效应是研究检测信号特征的有效途径。采用COMSOL软件建立探头的有限元分析模型,从探头阵列声场模拟结果中提取回波数据作为模型的初始激励载荷进行模拟,并利用超声内检测实验结果对比验证了有限元模型的准确性。结果表明:表面回波与一次底面回波最大峰值之比的模拟结果与实测数据误差为1.36%,可见新建模型精度较高;内壁面缺陷深度对PZT电信号频谱图中二峰幅值有显著影响,二者之间可建立有效关联;基于电信号模拟结果,在回波时域图中提取表面回波最大波谷点、一次底面回波的最大波峰点为特征点,则管道壁厚检测结果的最大误差仅为3.95%。研究结果可为超声内检测器国产化提供参考。 展开更多
关键词 管道 缺陷 压电超声 内检测 正压电效应 pzt 有限元模型
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用于非制冷热释电红外探测器的PZT铁电薄膜研究 被引量:2
19
作者 王忠华 李振豪 +2 位作者 普朝光 杨培志 林猷慎 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期1223-1229,共7页
采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层,在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜... 采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层,在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜.采用在450℃预退火,575℃后退火的快速分级退火方法对PZT铁电薄膜进行热处理.PZT铁电薄膜获得了较好的热释电性能,热释电系数、介电常数、介电损耗和探测度优值因子分别为P=2.3×10-8C·cm-2·K-1,ε=500,tanδ=0.02,Fd=0.94×10-5Pa-0.5. 展开更多
关键词 非制冷热释电红外探测器 pzt 籽晶层 快速分级退火
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流延硅基PZT厚膜工艺研究 被引量:1
20
作者 林州 赵宏锦 +3 位作者 任天令 刘理天 左如忠 李龙土 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2001年第6期449-452,共4页
研究了基于流延技术制备硅基锆钛酸铅 (PZT)厚膜的工艺。考虑衬底特性对厚膜品质的影响 ,在不同的种子层上分别制备了 PZT厚膜 ,测试工艺结果 ,证实了种子层的作用。分析了高温烧结时间对流延 PZT厚膜品质的影响 ,确定了最优高温烧结时... 研究了基于流延技术制备硅基锆钛酸铅 (PZT)厚膜的工艺。考虑衬底特性对厚膜品质的影响 ,在不同的种子层上分别制备了 PZT厚膜 ,测试工艺结果 ,证实了种子层的作用。分析了高温烧结时间对流延 PZT厚膜品质的影响 ,确定了最优高温烧结时间。文章提出的硅基 展开更多
关键词 流延 锆钛酸铅 厚膜 铁电材料 硅基
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