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纳米定位测量机操作测量结果(英文) 被引量：14
1
作者 JAGER Gerd GRUNWALD Rainer +2 位作者 MANSKE Eberhard HAUSOTTE Tino FUβL Roland 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第2期81-84,共4页
伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供... 伊尔梅瑙工业大学过程测量和传感技术研究所研制了三维纳米定位和测量机 (NPMM ) .阿贝无偏设计使得该机器异常精确 .在整个 2 5mm× 2 5mm× 5mm的定位和测量域内 ,干涉测长系统分辨力可达 0 .1nm ,不确定度达 5～ 10nm .提供了纳米定位测量机的基本信息 ,介绍其操作模式 。 展开更多
关键词 纳米定位 纳米测量 激光干涉仪 控制系统 长距扫描探针技术
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基于激光干涉仪的FANUC系统VMC的定位精度检测与误差补偿 被引量：1
2
作者 周丽霞 周树强 覃琴 《机电工程技术》 2015年第10期94-96,122,共4页
利用英国雷尼绍公司生产的MLIO激光干涉仪,对配有FANUC 0i数控系统的立式加工中心进行误差数据采集,通过激光干涉仪配套软件绘制定位误差曲线,并生成误差补偿数据,将误差补偿数据输入FANUC 0i系统,可以显著提高机床的加工精度。
关键词 FANUC数控系统 激光干涉仪 误差补偿
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大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析 被引量：2
3
作者 宋楠 冯树龙 +3 位作者 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期258-264,共7页
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该... 尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该误差对刻划刀具运动轨迹的影响,并使用双频激光干涉仪测量刻划过程中刻划刀具运动的直线度误差。测量结果表明,金刚石刀具系统单向行程400 mm时,该误差约为200 nm,小于使用石英导轨承载刀具系统时的误差,同时在高频振动方面有明显改善。刻制一段79 gr/mm,400 mm×500 mm的中阶梯光栅,观察其衍射光斑并使用照度计检测得其不同位置杂散光强度为0.2‰~5‰,实验结果表明使用气浮导轨承载刻划刀具可以满足光栅刻划精度要求。 展开更多
关键词 光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统
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