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题名激光冲击波驱动的新型微泵数值模拟
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作者
程华旸
熊良才
姜洪
车志刚
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机构
华中科技大学机械科学与工程学院
武汉光电国家实验室(筹)
北京航空制造工程研究所
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期81-86,共6页
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基金
国家自然科学基金(50975113)资助课题
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文摘
针对传统微泵结构复杂、制备困难等不足,提出了一种新型的基于激光冲击波力学效应的微泵驱动方法,使用该方法设计的微泵结构简单、易于制造、成本低,有利于微型化及与微机电系统(MEMS)集成。通过研究激光冲击波的力学模型,设计了无阀型微泵,并计算出其耦合模态。验证了该驱动方法的可行性;通过流固耦合仿真研究了激光的频率、占空比、功率密度、光斑直径等参数对微泵流量的影响,并进一步分析了流量的稳定性。研究结果表明,功率密度和光斑直径是影响流量的主要因素,占空比为0.6时微泵流量最大,微泵稳定工作后各脉冲流量相差不超过5%。
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关键词
光学制造
激光冲击波驱动
微泵
流固耦合
激光参数
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Keywords
laser fabrication
laser-induced shock waves actuated
micropump
fluid-structure interaction
parameter of laser
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TH323
[机械工程—机械制造及自动化]
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