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非晶硅薄膜太阳能电池的紫外激光刻蚀工艺 被引量:16
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作者 张超 张庆茂 +2 位作者 郭亮 吕启涛 吴煜文 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2751-2756,共6页
为提高电池的光电转换效率,通过改善激光刻蚀工艺,采用355nm紫外纳秒激光分别进行了ZnO:Al薄膜(AZO)刻蚀(P1)、非晶硅薄膜(α-Si)刻蚀(P2)和背电极刻蚀(P3)研究。采用万用表测量P1隔离电阻,采用电子扫描显微镜(SEM)和三维激光扫描仪测... 为提高电池的光电转换效率,通过改善激光刻蚀工艺,采用355nm紫外纳秒激光分别进行了ZnO:Al薄膜(AZO)刻蚀(P1)、非晶硅薄膜(α-Si)刻蚀(P2)和背电极刻蚀(P3)研究。采用万用表测量P1隔离电阻,采用电子扫描显微镜(SEM)和三维激光扫描仪测量刻槽的微结构和三维成像,激光拉曼散射光谱检测非晶硅薄膜刻蚀边缘的晶化。实验结果表明,当刻蚀速度600mm/s,重复频率40kHz,功率1.74W的紫外激光刻蚀ZnO:Al薄膜时,刻槽的隔离效果最佳,达20MΩ;紫外激光刻蚀能够有效地减小激光热效应引起的热影响和刻槽边缘的晶化范围,提高非晶硅薄膜电池的性能。 展开更多
关键词 激光刻蚀 非晶硅薄膜 热效应 隔离电阻 晶化
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Zr基大块非晶合金的激光焊接 被引量:12
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作者 叶斌 熊建钢 +1 位作者 李波 李志远 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期423-427,共5页
采用激光焊接技术,对Zr基大块非晶合金(BAA)Zr45Cu48Al7(原子数分数(%))进行了焊接实验,研究在激光焊接下不同工艺参量对焊接接头组织的影响,初步探讨了在焊接热循环过程中焊缝和热影响区的晶化行为。结果表明,在激光输出功率1200 W,焊... 采用激光焊接技术,对Zr基大块非晶合金(BAA)Zr45Cu48Al7(原子数分数(%))进行了焊接实验,研究在激光焊接下不同工艺参量对焊接接头组织的影响,初步探讨了在焊接热循环过程中焊缝和热影响区的晶化行为。结果表明,在激光输出功率1200 W,焊接速率8 m/min的条件下,成功地获得了无气孔和裂纹等缺陷的焊接接头。焊缝和热影响区均没有出现晶化现象,仍然保持非晶结构。而当激光输出功率不变,焊接速率分别为2 m/min,4 m/min的工艺条件下,焊接后的接头则出现了不同程度的晶化现象。利用光镜和微区X射线衍射(XRD)实验分析确定:2 m/min条件下焊缝和热影响区均出现了晶化现象,晶化相主要为ZrCu相和Zr38Cu36Al26相(5τ);4 m/min条件下焊缝未出现晶化现象而热影响区出现晶化,晶化相主要为ZrCu相和5τ相。 展开更多
关键词 激光技术 激光焊接 晶化 大块非晶合金
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非晶硅薄膜激光晶化及其结构分析 被引量:6
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作者 庞宏杰 王存山 +2 位作者 张凯舒 苏元军 裴继斌 《应用激光》 CSCD 北大核心 2007年第1期18-20,24,共4页
以射频(频率为13.6MHz)磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼光谱仪和高分辨透射电镜对激光晶化薄膜的组织结构进行了研究。结果表明:薄膜由非晶硅结构转变为微... 以射频(频率为13.6MHz)磁控溅射系统制备的非晶硅薄膜为前驱物,采用激光晶化技术实现从非晶硅薄膜到纳米晶硅薄膜的相变过程。采用拉曼光谱仪和高分辨透射电镜对激光晶化薄膜的组织结构进行了研究。结果表明:薄膜由非晶硅结构转变为微晶硅结构,微晶硅晶粒尺寸在纳米级。激光晶化存在一个最佳工艺参数,功率太高或太低都不利于晶化。 展开更多
关键词 非晶硅 薄膜 激光晶化 纳米微晶硅 结构
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用激光将廉价有机硅烷合成SiC纳米粉的研究 被引量:5
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作者 张滨 国玉军 +3 位作者 傅淑云 才庆魁 张世伟 巴德纯 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期93-96,共4页
采用激光诱导二甲基二乙氧基硅烷气相合成了SiC纳米陶瓷粉,对其合成工艺进行了研究,用多种分析手段对粉体进行了测试表征,同时对合成的非晶纳米SiC粉和初期晶化进行了探讨。实验结果表明:通过控制反应物蒸气流量,可对反应温... 采用激光诱导二甲基二乙氧基硅烷气相合成了SiC纳米陶瓷粉,对其合成工艺进行了研究,用多种分析手段对粉体进行了测试表征,同时对合成的非晶纳米SiC粉和初期晶化进行了探讨。实验结果表明:通过控制反应物蒸气流量,可对反应温度进行控制,从而实现对粉体组成、结构进行控制。在其他条件不变时,当反应物蒸气流量为700~820sccm时,可制得较为理想的平均粒径为10~15nm的非晶SiC纳米粉;非晶SiC纳米粉在1160℃氩气氛下晶化处理,开始晶化,由非晶SiC经固相反应得到β-SiC。 展开更多
关键词 激光合成 纳米粉 晶化 硅化硅
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平顶绿光晶化制备多晶硅薄膜 被引量:8
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作者 袁志军 楼祺洪 +3 位作者 周军 董景星 魏运荣 王之江 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期205-209,共5页
利用倍频Nd:YAG激光器使玻璃基底上沉积的非晶硅薄膜成功实现了晶化。YAG激光器的倍频绿光经蝇眼透镜阵列整形后得到一光强均匀分布的平顶光束,并用此光束对非晶硅薄膜进行扫描晶化处理。分别测量了激光晶化前后薄膜的拉曼谱和表面形... 利用倍频Nd:YAG激光器使玻璃基底上沉积的非晶硅薄膜成功实现了晶化。YAG激光器的倍频绿光经蝇眼透镜阵列整形后得到一光强均匀分布的平顶光束,并用此光束对非晶硅薄膜进行扫描晶化处理。分别测量了激光晶化前后薄膜的拉曼谱和表面形貌。测量结果表明,非晶硅实现了到多晶硅的相变,且晶化处理后表面起伏度明显增大。根据拉曼谱的数据计算了不同激光能量密度下薄膜的粒度大小和结晶度。结果表明,在一定能量密度(400--850mJ/cm^2)范围内,结晶膜的晶粒粒度和结晶度随激光能量密度升高而增大。然而能量密度大于1000mJ/cm^2后,检测不到明显的多晶硅特征峰。激光能量密度在850mJ/cm^2左右可得到最佳晶化效果。 展开更多
关键词 薄膜 多晶硅 激光晶化 倍频ND:YAG激光 平顶光束
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激光冲击诱导的奥氏体不锈钢表层纳晶化 被引量:7
6
作者 罗新民 马辉 +3 位作者 张静文 陈康敏 张永康 罗开玉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期240-245,共6页
采用输出波长1064 nm、脉冲宽度20 ns、光斑直径5 mm的调Q钕玻璃激光,对AISI-201不锈钢板表层进行激光冲击,用热场发射扫描电镜(TESEM)和透射电镜(TEM)分析了激光冲击后样品表面的微结构演变,分析了激光冲击诱导的纳晶化行为与形成... 采用输出波长1064 nm、脉冲宽度20 ns、光斑直径5 mm的调Q钕玻璃激光,对AISI-201不锈钢板表层进行激光冲击,用热场发射扫描电镜(TESEM)和透射电镜(TEM)分析了激光冲击后样品表面的微结构演变,分析了激光冲击诱导的纳晶化行为与形成机理及其对表面性能的影响。结果表明,在距表面300μm的冲击区范围内,激光冲击在AISI-201奥氏体不锈钢表面形成了直径为20-50 nm的纳米晶,在纳米晶周围观察到非晶组织;表面纳晶层的硬度比基体提高36%。分析认为纳晶化过程是激光冲击超高应变率和超高能量共同作用下的晶粒碎化与晶内缺陷交互作用的结果。 展开更多
关键词 激光技术 纳晶化 激光冲击 奥氏体不锈钢 超高应变率
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YAG激光晶化多晶硅 被引量:3
7
作者 刘建平 王海文 +5 位作者 李娟 张德坤 赵淑云 吴春亚 熊绍珍 张丽珠 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期1572-1576,共5页
报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的实验结果,其中主要针对以PECVD法制备的不同硅基薄膜(如非晶硅和微晶硅)为晶化前驱物,以及对激光能量的利用等问题进行了分析研究.实验发现,晶化需要基本的阈值能量流密度,而晶... 报道了采用YAG脉冲激光器对硅基薄膜进行晶化制备多晶硅的实验结果,其中主要针对以PECVD法制备的不同硅基薄膜(如非晶硅和微晶硅)为晶化前驱物,以及对激光能量的利用等问题进行了分析研究.实验发现,晶化需要基本的阈值能量流密度,而晶化硅基前驱物材料的结构,是决定此阈值的关键.延迟降温速率对激光晶化是一种较为有效的手段,并对所得的初步结果进行了讨论. 展开更多
关键词 YAG脉冲激光 激光晶化 微晶硅
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准分子激光诱导非晶硅晶化制备多晶硅薄膜晶体管 被引量:5
8
作者 戴永兵 邹雪城 +3 位作者 徐重阳 李兴教 沈荷生 张志明 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2000年第5期343-346,共4页
讨论了用准分子激光诱导非晶硅晶化法制备多晶硅薄膜晶体管的结构与工艺优化问题。用 Xe Cl准分子激光器对 PECVD法生长的非晶硅薄膜进行了诱导晶化处理 ,成功制备了多晶硅薄膜晶体管 ,获得最大场效应迁移率为 1 4.5cm2 /V· s,亚... 讨论了用准分子激光诱导非晶硅晶化法制备多晶硅薄膜晶体管的结构与工艺优化问题。用 Xe Cl准分子激光器对 PECVD法生长的非晶硅薄膜进行了诱导晶化处理 ,成功制备了多晶硅薄膜晶体管 ,获得最大场效应迁移率为 1 4.5cm2 /V· s,亚阈值斜率为 1 .9V/dec,开关电流比为 1 .0× 1 0 6的器件性能。 展开更多
关键词 准分子激光 非晶硅 晶化 多晶硅薄膜晶体管
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不同形态和热历史条件下Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)非晶合金的晶化行为 被引量:6
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作者 胡桥 林鑫 +2 位作者 杨高林 黄卫东 李金富 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1467-1473,共7页
研究了不同形态Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)非晶合金(块体和粉末)在不同升温和冷却条件下的晶化行为.发现Zr_(55)Al_(10)-Ni_5Cu_(30)在不同热历史下的晶化行为有较大差别.对于块体非晶合金,在常规热处理条件下,合金的升温和冷却速率较低... 研究了不同形态Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)非晶合金(块体和粉末)在不同升温和冷却条件下的晶化行为.发现Zr_(55)Al_(10)-Ni_5Cu_(30)在不同热历史下的晶化行为有较大差别.对于块体非晶合金,在常规热处理条件下,合金的升温和冷却速率较低,Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)块体非晶合金在初始晶化温度Tx以上开始晶化,形成CuZr_2纳米晶.随着热处理温度的升高,晶粒尺寸增大,当热处理最终温度超过熔点后,合金在随炉冷却过程中形成了粗大的CuZr_2板条+板条间(CuZr_2)+(Zr,Cu,Al,Ni)共晶组织;在激光熔凝条件下,合金的升温和冷却速率较高,Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)块体非晶合金随单点熔凝次数的增加,晶化效应逐渐累加,热影响区中逐渐出现微米级球晶的弥散析出,并长大,随后失稳形成沿熔池边界带状分布,尺寸可达几百微米的等轴晶.对于粉末非晶合金,由于Zr_(55)Al_(10)Ni_5Cu_(30)非晶粉末的冷却强度不如块体非晶,冷却速率较块体低,造成粉末颗粒在激光熔凝过程中晶化为微米级的等轴枝晶,并随着激光能量的升高,等轴枝晶尺寸增大. 展开更多
关键词 非晶合金 热历史 热处理 激光 晶化
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Comparative study of microstructure and corrosion resistance of electroless Ni-W-P coatings treated by laser and furnace-annealing 被引量:6
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作者 刘宏 郭荣新 +2 位作者 宗云 何冰清 刘铸 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第6期1024-1031,共8页
A comparative study of amorphous electroless Ni-W-P coatings on mild steel substrate treated by a high power diode laser and furnace annealing was presented.Effects of different laser operating parameters and furnace-... A comparative study of amorphous electroless Ni-W-P coatings on mild steel substrate treated by a high power diode laser and furnace annealing was presented.Effects of different laser operating parameters and furnace-annealing conditions on microstructures,in terms of crystallisation,pores formation and grain growth,were investigated using SEM/EDX and XRD. Corrosion behaviours of these coatings before and after various treatments were evaluated with anodic polarisation in 0.5 mol/L H2SO4 solution.The results show that the furnace-annealing produces either a mixture of nanocrystallined Ni and amorphous phases or precipitated Ni3P phase distributed in nanocrystallined Ni-based matrix,depending on annealing temperatures,whilst the laser treatment under the operating conditions only produces nanocrystallined Ni-based matrix with Ni3P precipitates.Corrosion performance of the coatings treated by both the laser and the furnace-annealing is dependent on the annealing temperature and laser operating conditions.Corrosion mechanisms of various treated-coatings were discussed in the consideration of phase constitutes and proportion,grain sizes of both Ni and Ni3P phases,pores formation and residual stresses. 展开更多
关键词 electroless Ni-W-P coating laser-treatment ANNEALING nano-crystallization corrosion
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形状记忆PCL/CB复合材料的制备及其光致弯曲变形行为
11
作者 田光明 张鑫 +3 位作者 李明财 唐文强 马建华 杨东 《西安工程大学学报》 CAS 2024年第1期70-76,共7页
为了制备具有远程可控变形且性能优越的形状记忆聚合物,采用巯基-烯点击化学法制备了PCL/CB复合材料,并用FTIR、DSC、1 H NMR和DMA对复合材料的结构、热性能以及形状记忆特性等进行表征。结果表明:交联复合材料薄膜的热转变温度为50℃,... 为了制备具有远程可控变形且性能优越的形状记忆聚合物,采用巯基-烯点击化学法制备了PCL/CB复合材料,并用FTIR、DSC、1 H NMR和DMA对复合材料的结构、热性能以及形状记忆特性等进行表征。结果表明:交联复合材料薄膜的热转变温度为50℃,且当预拉伸的复合材料薄膜受到100 mW/cm^(2)强度的激光照射时,CB颗粒吸收激光光子而产生光热转换且由于各向异性链松弛和应变能释放,致使上层薄膜在受到激光照射时,结晶熔融发生形状记忆效应而收缩,与此同时下层薄膜仍然处于玻璃态,上层薄膜的收缩力使PCL/CB复合材料薄膜朝着激光照射方向发生弯曲变形。同时,弯曲角度可以通过薄膜预拉伸应变量、激光照射时间以及薄膜厚度3个参数进行调控;当预拉伸应变为300%、薄膜厚度为0.4 mm时,最大弯曲角为164°。这种具备局部可编程行为的PCL/CB复合薄膜可为光响应SMP的变形模式提供新思路。 展开更多
关键词 PCL/CB复合材料 形状记忆 巯基-烯点击化学 激光 结晶熔融 弯曲变形
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超快激光在玻璃内部诱导选择性晶化技术研究进展 被引量:4
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作者 张博 王卓 +1 位作者 孙轲 邱建荣 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期1033-1045,共13页
近几年迅速发展的光量子技术对全无机透明介质内部先进功能结构的制造提出了更高的要求。利用超快激光与物质相互作用,选择性修饰玻璃网络并快速产生功能各异的微晶结构无疑为制造各种新型光子元件提供了一种重要手段。首先介绍了超快... 近几年迅速发展的光量子技术对全无机透明介质内部先进功能结构的制造提出了更高的要求。利用超快激光与物质相互作用,选择性修饰玻璃网络并快速产生功能各异的微晶结构无疑为制造各种新型光子元件提供了一种重要手段。首先介绍了超快激光选择性晶化的基本原理以及该技术所需要的激光参数和材料特性,比较了该技术与传统晶化方法的优势与局限,重点讨论了在不同类型玻璃材料中诱导功能晶体结构的新现象、新机制、新应用,包括超快激光诱导的非线性晶体、晶体型纳米光栅、量子点等前沿领域的最新成果。最后提出了对超快激光选择性晶化加工的展望。 展开更多
关键词 超快激光 玻璃 选择性晶化 微纳制造
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488nm连续激光晶化本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究 被引量:5
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作者 段国平 陈俊领 +1 位作者 韩俊鹤 黄明举 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1657-1661,共5页
利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514nm波长与488nm波长对样品的晶化效果进行了比... 利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514nm波长与488nm波长对样品的晶化效果进行了比较.测试结果显示:激光照射时间60s,激光功率密度在1.57×105 W/cm2时,能实现非晶硅向多晶硅的转变,在功率密度达到2.7 56×105 W/cm2时,有非晶开始向单晶转变,随着激光功率密度的继续增加,晶化结果仍为单晶;在功率密度为2.362×105 W/cm2下,60s照射时间晶化效果较好;在功率密度为2.756×105 W/cm2和照射时间为60s的条件下,用488nm波长比514nm波长的激光晶化本征非晶硅薄膜效果较好,并均为单晶态. 展开更多
关键词 喇曼光谱 单晶硅 激光晶化 多晶硅 本征非晶硅
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FeSiB非晶薄带激光焊接头组织及晶化行为 被引量:5
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作者 龚玉兵 王善林 +2 位作者 李宏祥 张子阳 陈玉华 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期927-934,共8页
采用脉冲激光焊接技术成功实现FeSiB非晶带材的搭接,并通过热处理方法分析接头晶化行为。利用扫描电子显微镜SEM、X射线衍射仪XRD、差示扫描热仪DSC和透射电镜TEM等研究不同功率对激光焊缝成形、组织特征及晶化行为的影响。结果表明:当... 采用脉冲激光焊接技术成功实现FeSiB非晶带材的搭接,并通过热处理方法分析接头晶化行为。利用扫描电子显微镜SEM、X射线衍射仪XRD、差示扫描热仪DSC和透射电镜TEM等研究不同功率对激光焊缝成形、组织特征及晶化行为的影响。结果表明:当功率低于4.8 W时,焊缝表面粗糙、熔宽小;当功率高于9.6 W时,焊缝存在微裂纹;当功率为7.2W时,焊缝成形良好,未见焊接缺陷。随着功率的增加,接头抗拉强度先升高后降低,最高拉伸强度为410 MPa,断裂方式为解理断裂;接头组织主要由非晶相、树枝晶、白色颗粒状的结晶相组成;接头晶化过程中先析出α-Fe(Si)相,再析出Fe_2B相。 展开更多
关键词 FeSiB非晶带材 激光焊接 晶化行为 显微组织
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尺寸可控的纳米硅的生长模型和实验验证 被引量:5
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作者 刘艳松 陈铠 +7 位作者 乔峰 黄信凡 韩培 高钱波 马忠元 李伟 徐骏 陈坤基 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期5403-5408,共6页
基于经典热力学理论,对a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构或a-Si:H/a-SiNx多层膜结构中纳米硅成核,以及从球形到鼓形的生长过程进行了研究.建立了限制性晶化理论模型:在纳米硅生长过程中,由于界面能增大将导致生长停止,给出限制性晶化条... 基于经典热力学理论,对a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构或a-Si:H/a-SiNx多层膜结构中纳米硅成核,以及从球形到鼓形的生长过程进行了研究.建立了限制性晶化理论模型:在纳米硅生长过程中,由于界面能增大将导致生长停止,给出限制性晶化条件——a-Si:H子层厚度小于34nm.在激光晶化和常规热退火两种方法形成的a-SiNx/nc-Si/a-SiNx三明治结构和nc-Si/a-SiNx多层膜结构中验证了该理论模型. 展开更多
关键词 非晶硅 纳米硅 激光辐照 结晶
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2A02航空铝合金激光冲击诱导的表层纳米化 被引量:5
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作者 张静文 罗新民 +2 位作者 马辉 陈康敏 张永康 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期22-26,共5页
采用输出波长为1064 nm、脉冲宽度为20 ns的调Q钕玻璃激光,对2A02航空铝合金板表层进行了激光冲击,用透射电镜及其高分辨像的傅里叶过滤像分析了激光冲击后样品表面的微结构演变,研究了激光冲击诱导的纳晶化行为与形成机理及其对表面性... 采用输出波长为1064 nm、脉冲宽度为20 ns的调Q钕玻璃激光,对2A02航空铝合金板表层进行了激光冲击,用透射电镜及其高分辨像的傅里叶过滤像分析了激光冲击后样品表面的微结构演变,研究了激光冲击诱导的纳晶化行为与形成机理及其对表面性能的影响。结果表明,激光冲击能在2A02航空铝合金板表面形成直径为~100 nm的纳米晶;表面纳晶层的硬度比基体提高54.5%。分析认为2A02铝合金表面纳晶化过程是激光冲击超高应变率和超高能量共同作用下由位错和空位等非平衡缺陷诱导的晶粒分化过程。 展开更多
关键词 铝合金 激光冲击 超高应变率 纳晶化 傅里叶过滤像(IFFT) 高分辨电子显微术(HREM)
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激光熔覆钴基合金时的钢基表层结晶机制 被引量:2
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作者 尚丽娟 才庆魁 +1 位作者 刘常升 李启东 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期54-57,共4页
采用激光熔覆工艺在 2 0钢基体上获得了 2 0 4Co合金涂层。应用剥离法借助光镜、电镜、波谱仪及X射线衍射仪对基体表层及相关部位的组织及成分分布进行了分析研究。结果表明 :在本试验条件下 ,钢基表层的结晶机制为平面外延方式生长和... 采用激光熔覆工艺在 2 0钢基体上获得了 2 0 4Co合金涂层。应用剥离法借助光镜、电镜、波谱仪及X射线衍射仪对基体表层及相关部位的组织及成分分布进行了分析研究。结果表明 :在本试验条件下 ,钢基表层的结晶机制为平面外延方式生长和胞状螺型位错方式生长 ;增加能量输入有利于向后一方向发展 ,并使热影响区组织粗化 ,甚至产生显微裂纹 ;尽管扩散层碳贫化 ,但其它合金元素的固溶和孪晶亚结构使之强化 ,而且钴、铬使之具有良好的耐蚀性。 展开更多
关键词 激光熔覆 钢表层 螺型位错 外延生长 结晶
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碳化硅薄膜脉冲激光晶化特性研究 被引量:4
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作者 于威 何杰 +3 位作者 孙运涛 朱海丰 韩理 傅广生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1930-1934,共5页
采用XeCl准分子激光对非晶碳化硅 (a SiC)薄膜的脉冲激光晶化特性进行了研究 .通过原子力显微镜 (AFM)和Raman光谱技术对退火前后薄膜样品的形貌、结构及物相特性进行了分析 .结果表明 ,选用合适的激光能量采用激光退火技术能够实现a Si... 采用XeCl准分子激光对非晶碳化硅 (a SiC)薄膜的脉冲激光晶化特性进行了研究 .通过原子力显微镜 (AFM)和Raman光谱技术对退火前后薄膜样品的形貌、结构及物相特性进行了分析 .结果表明 ,选用合适的激光能量采用激光退火技术能够实现a SiC薄膜的纳米晶化 .退火薄膜中的纳米颗粒大小随着激光能量密度的增加而增大 ;Raman谱分析结果显示了退火后的薄膜的晶态结构特性并给出了伴随退火过程存在的物相分凝现象 .根据以上结果并结合激光退火特性 ,对a 展开更多
关键词 碳化硅薄膜 激光退火 晶化 半导体材料 晶体结构分析 拉曼光谱分析
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激光干涉结晶技术制备二维有序分布纳米硅阵列 被引量:4
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作者 邹和成 乔峰 +6 位作者 吴良才 黄信凡 李鑫 韩培高 马忠元 李伟 陈坤基 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期3646-3650,共5页
利用结合移相光栅掩模(PSGM)的激光结晶技术在超薄a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构样品中制备出二维有序分布的纳米硅阵列.原始样品是用等离子体增强化学气相淀积法生长.a-Si:H层厚为10nm,a-SiNx为50nm,衬底材料为SiO2/Si或熔凝石英.原... 利用结合移相光栅掩模(PSGM)的激光结晶技术在超薄a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构样品中制备出二维有序分布的纳米硅阵列.原始样品是用等离子体增强化学气相淀积法生长.a-Si:H层厚为10nm,a-SiNx为50nm,衬底材料为SiO2/Si或熔凝石英.原子力显微镜、剖面透射电子显微镜、高分辨透射电子显微镜对样品表面形貌和微结构的观测结果表明,采用该方法可以在原始淀积的a-Si:H层中得到位置可控的晶化区域:每个晶化区域直径约250nm,具有同PSGM一致的2μm周期;晶化区域内形成的纳米硅颗粒尺寸接近原始淀积的a-Si:H层厚,且晶粒的择优取向为<111>. 展开更多
关键词 结晶技术 纳米硅 激光干涉 阵列 分布 有序 二维 制备 高分辨透射电子显微镜 化学气相淀积法 等离子体增强 SINX 原子力显微镜 三明治结构 晶化区 SI02 衬底材料 观测结果 表面形貌 颗粒尺寸 择优取向 样品 原始 微结构
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化学沉积非晶态Ni-W-P合金激光晶化组织与耐磨性的关系 被引量:3
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作者 刘宏 郭荣新 +3 位作者 卞建胜 钟浩 巩芳 李太宗 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期42-47,52,共7页
用XRD定量分析法研究化学沉积非晶态Ni-W-P合金激光晶化前后的显微组织特征。通过硬度测试、磨损实验、金相和SEM研究镀层的磨损行为。结果表明:在不同的扫描速率下,均发生Ni3P相的晶化反应;随扫描速率的降低,镀层的晶化程度增加,但均... 用XRD定量分析法研究化学沉积非晶态Ni-W-P合金激光晶化前后的显微组织特征。通过硬度测试、磨损实验、金相和SEM研究镀层的磨损行为。结果表明:在不同的扫描速率下,均发生Ni3P相的晶化反应;随扫描速率的降低,镀层的晶化程度增加,但均未达到完全晶化;扫描速率为7mm/s时,镀层的晶化程度为73.0%。在发生Ni3P晶化反应的临界扫描速率(10mm/s)下,析出的Ni3P晶粒尺寸大于Ni;扫描速率降低时,两相的尺寸特征向相反的方向演变,但均保持在纳米级范畴。激光晶化前后镀层的硬度和耐磨性受其晶化程度,Ni及Ni3P相的尺寸、数量影响,7mm/s时主要表现为黏着磨损,8mm/s时以磨粒磨损为主。具有适宜的晶化程度、合适的晶粒尺寸,镀层的耐磨性才能得到改善。 展开更多
关键词 激光晶化 化学沉积 晶化程度 晶粒尺寸 耐磨性
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