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大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
1
作者
王哲
徐学科
+6 位作者
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛...
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
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关键词
环形抛光
大型环抛机
抛光蜡盘
平面度测量
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职称材料
大型环抛机抛光盘初始型面质量检测技术研究
被引量：
1
2
作者
王伟峰
齐建伟
+1 位作者
张丹
谢磊
《黄河水利职业技术学院学报》
2022年第3期37-43,共7页
为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽...
为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽然能在很大程度上修正抛光盘的面型,促进被抛光产品的型面快速收敛,但是如果抛光盘存在“天然缺陷”,校正板的修正作用就达不到预期效果,进而导致产品抛光周期长、产品面型不理想等问题。
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关键词
大型环抛机
工业摄影测量
型面质量
大口径光学元件
测量原理
精度评定
压强分布
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职称材料
题名
大型环抛机蜡盘平面度的测量
被引量：
8
1
作者
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
上海恒益光学精密机械有限公司
华中科技大学光学与电子信息学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3048-3053,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.61605228)
文摘
针对大口径平面光学元件全频谱面形技术指标的高效率、高精度收敛,研究了环形抛光技术。考虑环抛机沥青蜡盘的平面度直接影响工件面形的收敛效率,本文利用准直激光束作为参考,设计研制了测量精度高,重复性精度达到±1μm的大型环抛机抛光蜡盘平面度测量专用装置。分析了环抛过程中蜡盘表面平面度和工件面型PV值之间的变化规律和相关性,根据测量数据得出了蜡盘平面度数据和工件面形的对应关系。实验显示:当平面度和面形曲线相差较大时,工件面形可快速收敛至1λ左右,并由粗抛向精抛工序快速过渡。提出的大型环抛机抛光蜡盘平面度监测装置实现了对湿滑胶体平面的高精度、快速测量,为环抛的确定性抛光工艺提供了重要的技术支持。
关键词
环形抛光
大型环抛机
抛光蜡盘
平面度测量
Keywords
continuous
polish
ing
large
continuous
polisher
pitch
lap
flatness
measurement
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
TN305.2 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
大型环抛机抛光盘初始型面质量检测技术研究
被引量：
1
2
作者
王伟峰
齐建伟
张丹
谢磊
机构
黄河水利职业技术学院
成都精密光学工程研究中心
出处
《黄河水利职业技术学院学报》
2022年第3期37-43,共7页
基金
河南省科技攻关项目:双目视觉工业摄影测量动态校准方法研究(222102220031)
河南省高等学校重点科研项目:基于无人机空地融合技术水利工程实景三维建模研究(21B420002)
2021年测绘地理信息职业教育研究课题:基于测绘地理信息类专业职业教育适应性研究与实践(2021CHZD02)。
文摘
为提高大型环抛机的抛光质量和效率,提出在产品抛光前,采用工业摄影测量技术对抛光盘初始型面质量进行检测。通过仿真校正板与抛光盘各部位的压强分布,分析了校正板与抛光盘之间的作用机理。结合抛光盘初始型面的分布趋势,发现校正板虽然能在很大程度上修正抛光盘的面型,促进被抛光产品的型面快速收敛,但是如果抛光盘存在“天然缺陷”,校正板的修正作用就达不到预期效果,进而导致产品抛光周期长、产品面型不理想等问题。
关键词
大型环抛机
工业摄影测量
型面质量
大口径光学元件
测量原理
精度评定
压强分布
Keywords
large
continuous
polisher
industrial
photogrammetry
surface
quality
large
-aperture
optical
element
principle
of
measurement
assessment
of
accuracy
distribution
of
pressure
分类号
P235 [天文地球—摄影测量与遥感]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大型环抛机蜡盘平面度的测量
王哲
徐学科
邵建达
顿爱欢
杨明红
范永涛
方媛媛
高文兰
刘方
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
8
下载PDF
职称材料
2
大型环抛机抛光盘初始型面质量检测技术研究
王伟峰
齐建伟
张丹
谢磊
《黄河水利职业技术学院学报》
2022
1
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职称材料
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