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磁控溅射离子束流密度的研究 被引量：7
1
作者 徐均琪 杭凌侠 蔡长龙 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期74-76,共3页
磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用。磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况 ,直接决定着薄膜质量的优劣。本文通过对比研究了普通磁控溅射 (MS)和非平衡磁控溅射 (UBMS)两种工作模式下 ,氩气流量、负偏压等工艺参... 磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用。磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况 ,直接决定着薄膜质量的优劣。本文通过对比研究了普通磁控溅射 (MS)和非平衡磁控溅射 (UBMS)两种工作模式下 ,氩气流量、负偏压等工艺参数对离子束流密度大小的影响 ,测试了基片架附近的离子密度 ,分析讨论了测试结果。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 离子束流密度 氩气 磁通量
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换流站机具施工人员安全防护研究 被引量：4
2
作者 蔡焕青 邵瑰玮 +5 位作者 陈怡 闵绚 孔晨华 蔡维丽 张业茂 刘红太 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期86-91,98,共7页
直流输电工程与交流输变电工程不同,直流设备周围的电场为直流静电场和空间离子流场的综合场。但是,目前,国内直流输电工程的检修作业人员安全防护基本参照同等电压等级的交流输变电工程进行。当现场使用大型机具进行带电施工和检修时,... 直流输电工程与交流输变电工程不同,直流设备周围的电场为直流静电场和空间离子流场的综合场。但是,目前,国内直流输电工程的检修作业人员安全防护基本参照同等电压等级的交流输变电工程进行。当现场使用大型机具进行带电施工和检修时,由于机具的进入,作业现场的直流综合场和空间离子流分布会影响检修作业人员的安全防护效果。因此,笔者针对直流换流站的现场实际布置情况,对换流站典型施工区域有/无机具条件下的直流合成电场和离子流密度进行了测试。测试结果表明,有大型机具存在时,由于机具本体的屏蔽作用,直流合成电场和离子流密度一般较无机具时有所降低;站内各区域地面和2 m高处的直流合成电场强度均小于240 kV/m,站内各区域因空间离子流存在而引起的离子流密度小于1 000 nA/m2(除穿墙套管外的区域,离子流密度普遍低于100 nA/m2)。因此,站内机具施工人员可不采取额外安全防护措施对直流合成电场和离子流进行防护。 展开更多
关键词 直流合成电场 离子流密度 _+500 kV换流站 安全防护
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离子能流密度对类金刚石薄膜成膜的影响 被引量：4
3
作者 严学俭 梁风 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2000年第2期140-144,147,共6页
着重讨论了离子轰击能量影响类金刚石薄膜成膜过程的机理 ,特别引入了离子能流密度即在单位时间内成膜表面的单位面积上接收到的离子轰击能量的概念 ,这就能更加正确地解释离子轰击在成膜过程中所起的作用。采用了具有特色的等离子体分... 着重讨论了离子轰击能量影响类金刚石薄膜成膜过程的机理 ,特别引入了离子能流密度即在单位时间内成膜表面的单位面积上接收到的离子轰击能量的概念 ,这就能更加正确地解释离子轰击在成膜过程中所起的作用。采用了具有特色的等离子体分解碳氢化合物结合高能离子轰击基片的方法制备类金刚石薄膜。这种兼有PVD和CVD各自优点的PCVD方法 ,能独立地分别调节轰击基片的离子能量和离子流密度。实验结果表明 ,存在一个离子能流密度的阈值。超过该阈值 ,才能得到结构致密、均匀 ,与基片结合强度好 ,硬度很高的类金刚石薄膜 ,扫描电镜对膜层形貌的显微成像和维氏硬度测试展示了离子能流密度对成膜的影响。作为佐证 ,还对薄膜进行了喇曼光谱测试和分析。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 离子轰击 能流密度 薄膜制备
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特高海拔地区±500kV直流输电线路导线选择 被引量：3
4
作者 周刚 李力 刘仲全 《电力建设》 2009年第10期12-16,共5页
根据直流输电线路线下地面合成电场、地面离子流密度、无线电干扰场强、电晕可听噪声等控制指标,对3000～5300m特高海拔地区直流输电线路采用不同分裂导线进行相关计算,建议特高海拔地区±500kV直流输电线路极导线采用6×LGJ-30... 根据直流输电线路线下地面合成电场、地面离子流密度、无线电干扰场强、电晕可听噪声等控制指标,对3000～5300m特高海拔地区直流输电线路采用不同分裂导线进行相关计算,建议特高海拔地区±500kV直流输电线路极导线采用6×LGJ-300/40钢芯铝绞线。 展开更多
关键词 特高海拔 无线电干扰 可听噪声 合成场强 离子流密度
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雾霾颗粒对高压直流输电线路电磁环境的影响机理研究 被引量：1
5
作者 多布杰 何阳 +4 位作者 高磊 扎央 李德华 李刘刚 杨帆 《电工技术》 2021年第4期94-96,共3页
研究了雾霾影响下的高压直流输电线路合成场强和离子流密度的计算方法。建立了考虑雾霾荷电的高压直流输电线路离子流场计算模型,计算了不同空气污染等级下直流输电线地面合成场强和离子流密度。结果表明,雾霾天气下的地面合成场强和离... 研究了雾霾影响下的高压直流输电线路合成场强和离子流密度的计算方法。建立了考虑雾霾荷电的高压直流输电线路离子流场计算模型,计算了不同空气污染等级下直流输电线地面合成场强和离子流密度。结果表明,雾霾天气下的地面合成场强和离子流密度的最大值相对于正常天气增加;地面合成场强的最大值随着污染程度的增加而增大;雾霾天气下的离子流密度最大值均增加,但是增加幅度较合成场强小。 展开更多
关键词 雾霾 电磁环境 合成场强 离子流密度
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