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全自动提拉单晶炉系统控制技术 被引量：4
1
作者 李金 何晔 +6 位作者 佘建军 付昌禄 宋晓佳 母江东 邓力 何根华 陈川贵 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期140-143,共4页
详细阐述了一种全新单晶炉自动控制系统,该系统采用工业控制计算机为数据控制核心,上称重控制传感器进行晶体数据采集,利用感应加热或电阻加热方式控制单晶炉温场。通过对单晶炉控制系统特性研究和热场模型的正确推导,有效解决了系统温... 详细阐述了一种全新单晶炉自动控制系统,该系统采用工业控制计算机为数据控制核心,上称重控制传感器进行晶体数据采集,利用感应加热或电阻加热方式控制单晶炉温场。通过对单晶炉控制系统特性研究和热场模型的正确推导,有效解决了系统温场及晶体结晶过程中引发的大滞后及系统非线性控制问题。试验结果表明,该系统控制稳定可靠,各项性能指标均达到国际先进水平。 展开更多
关键词 晶体生长 单晶炉 上称重
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