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基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺 被引量:2
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作者 李燃灯 秦宗慧 周嘉 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期129-133,共5页
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光。再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝... 以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶进行背面曝光。再利用正面套刻的方法对第二层SU-8光刻胶进行曝光,显影得到双层微齿轮的胶模。最后,进行微电铸得到双层微齿轮型腔镶块。通过实验验证了双层微齿轮模具镶块制作的工艺流程,优化了其工艺参数,克服了底部曝光不足引起的问题,并对制作工艺过程中产生的涂胶不平整、前烘时胶层不稳定、热板加热不均以及接触式曝光破坏胶层表面等问题进行了研究。所制得的双层微齿轮胶模垂直度高,表面质量好,且套刻精度高。 展开更多
关键词 UV-LIGA 氧化铟锡(ito) 背面曝光 正面套刻 双层微齿轮 模具镶块
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基于复合膜修饰ITO电极的乙醇传感器研究 被引量:2
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作者 朱洋 邓世雄 +2 位作者 谢国明 甄生航 王艳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期19-21,共3页
利用羧基化的多壁碳纳米管(MWCNT)修饰氧化铟锡(ITO)电极,表面吸附一层普鲁士蓝(PB)作为电子介体制作一种新型的乙醇传感器。通过循环伏安法、计时电流法对传感器的性能进行表征和研究。结果表明:所制备传感器对乙醇具有明显的... 利用羧基化的多壁碳纳米管(MWCNT)修饰氧化铟锡(ITO)电极,表面吸附一层普鲁士蓝(PB)作为电子介体制作一种新型的乙醇传感器。通过循环伏安法、计时电流法对传感器的性能进行表征和研究。结果表明:所制备传感器对乙醇具有明显的电化学活性,线性范围为0.5-10mmol/L,在S/N=3的情况下,检出限为0.07mmol/L(R=0.9968)。该传感器制备简单、经济实用,具有良好的准确性、灵敏度及抗干扰能力。 展开更多
关键词 乙醇 多壁碳纳米管 普鲁士蓝 氧化铟锡 传感器
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透明吸波体综述
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作者 付云起 高冕 +2 位作者 陈强 廖敦微 郑月军 《微波学报》 CSCD 北大核心 2022年第3期1-7,共7页
吸波体是一种带有损耗特性的周期结构,能够吸收电磁波,将电磁能转化为热能,降低反射的电磁波能量。随着应用场景的特殊化,吸波体朝着特殊领域、特定功能、更具针对性的方向发展。由于各类含有光学窗口的应用环境对抗电磁干扰需求的不断... 吸波体是一种带有损耗特性的周期结构,能够吸收电磁波,将电磁能转化为热能,降低反射的电磁波能量。随着应用场景的特殊化,吸波体朝着特殊领域、特定功能、更具针对性的方向发展。由于各类含有光学窗口的应用环境对抗电磁干扰需求的不断提高,吸波体光学透明化成为研究的重点方向。为了对透明吸波体的发展状况有系统的认识,文章以制造材料为脉络梳理了近年来可见光透明吸波体的研究现状,包括氧化铟锡(ITO)、金属网栅、石墨烯等,综述了以它们为材料制备的透明吸波体优缺点以及发展趋势,最后对透明吸波体的未来发展进行了展望。 展开更多
关键词 透明吸波体 综述 宽带 氧化铟锡(ito) 金属网栅
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流动注射微型电化学发光池的研制及性能研究
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作者 田丙正 郭文英 屠一锋 《常熟理工学院学报》 2009年第4期52-55,共4页
报道了一种自行设计和研制的新型流动注射电化学发光(ECL)池,并对该流动注射电化学发光池的结构和性能进行了优化,在发光试剂鲁米诺浓度5×10^(-10)mol/L~5×10^(-8)mol/L范围内,检测池ECL强度随浓度呈现良好的线性关系,相关... 报道了一种自行设计和研制的新型流动注射电化学发光(ECL)池,并对该流动注射电化学发光池的结构和性能进行了优化,在发光试剂鲁米诺浓度5×10^(-10)mol/L~5×10^(-8)mol/L范围内,检测池ECL强度随浓度呈现良好的线性关系,相关系数为0.9998,检测下限可达10^(-10)mol/L.该器件可用于H_2O_2的流动注射检测,测定线性范围为1×10^(-4)至5×10^(-3)mol/L,相关系数为0.9993,检测下限为5×10^(-5)mol/L.考察该器件在评估葡萄(美国进口红提)籽核和肉质的抗氧化性能方面的应用,经换算得出它们的抗氧化性能;红提籽为121mgH_2O_2/g,红提肉为5.1mgH_2O_2/g.即红提籽的抗氧化能力明显强于红提肉.在实际样品测定中,该流动注射电化学发光池具有较好的重现性,它结合了电化学发光的高灵敏度和流动注射的实用性,操作方便. 展开更多
关键词 流动注射 微型检测池 电化学发光 鲁米诺 氧化铟锡(ito)
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纳米银自组装多层膜修饰铟锡氧化物(ITO)电极的制备及电化学研究 被引量:1
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作者 马建文 樊丽妃 +1 位作者 张英俊 任怀宇 《化工科技》 CAS 2009年第5期40-44,共5页
用3-氨基-三甲氧基硅烷对铟锡氧化物(ITO)导电玻璃进行修饰,以4,4-联吡啶为桥连配体,用层层自组装法制备纳米银多层膜。应用原子力显微镜、紫外可见光谱对其表征。用循环伏安法初步研究了碘离子在电极上的电化学行为。结果表明:电极对... 用3-氨基-三甲氧基硅烷对铟锡氧化物(ITO)导电玻璃进行修饰,以4,4-联吡啶为桥连配体,用层层自组装法制备纳米银多层膜。应用原子力显微镜、紫外可见光谱对其表征。用循环伏安法初步研究了碘离子在电极上的电化学行为。结果表明:电极对碘离子有很好的电化学响应,碘离子在(2×10^(-5)~5×10^(-4))mol/L浓度范围内与氧化峰电流呈良好的线性关系,最低检出限5×10^(-6)mol/L,线性相关性系数:R=0.999 24。 展开更多
关键词 纳米银 自组装 碘离子 铟锡氧化物(ito)
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Temperature Control System for Cell Continuous Observation under the Microscope
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作者 LI Yuan PENG Ming-qing +2 位作者 GONG Fang DIAO Qi-zhi LIU Bei-zhong 《Chinese Journal of Biomedical Engineering(English Edition)》 CSCD 2016年第1期31-38,共8页
This paper developes a tem perature control system in order to carry out a real time and continuous observation on living cells under the m icroscope. In this system, transparent indium tin oxid (ITO) conductive f... This paper developes a tem perature control system in order to carry out a real time and continuous observation on living cells under the m icroscope. In this system, transparent indium tin oxid (ITO) conductive film was used as a heater , tem perature was measured by the tem perature dependence of resistance behavior of the ITO film, C8051F340 single-clup was used as he control hardware core, and the m odified PID algorilhm and pulse width moclubtion (PW M ) were adopted as the key control softw are program s. The tem perature system had a sim ple structure w ithout added tem perature sensor, an uniform tem perature distribution with in ±1℃ on the ITO film surface and tem perature control precision of ±0.2℃ could be obtained. The system cou d m aintain a good grow th state for B H K -21 livhg cell under he microscope for 48 h. 展开更多
关键词 tanperature control conthuous observation hdiam th oxid ito m icroscope
原文传递
PVK/Alq_3复合薄膜的磁电阻效应
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作者 杨甜甜 刘昊 +1 位作者 胡权 王伟 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第1期30-33,共4页
使用匀胶法在ITO衬底上制备不同质量配比的聚乙烯基咔唑(PVK)/8-羟基喹啉铝(Alq3)复合薄膜,分别利用AFM和四探针法测量分析薄膜的成膜性能、表面形貌与低磁场强度电阻特性,研究分析在磁场下有机薄膜电阻效应的机理。研究发现PVK和Alq3... 使用匀胶法在ITO衬底上制备不同质量配比的聚乙烯基咔唑(PVK)/8-羟基喹啉铝(Alq3)复合薄膜,分别利用AFM和四探针法测量分析薄膜的成膜性能、表面形貌与低磁场强度电阻特性,研究分析在磁场下有机薄膜电阻效应的机理。研究发现PVK和Alq3的质量配比为4∶1时,PVK/Alq3材料成膜性好,薄膜表面均匀,电阻变化率达到-30.58%。分析其机理是外加磁场增强了薄膜内载流子的自旋极化,从而增加了极化子和单线态激子的形成概率。形成概率的增加提高了薄膜内载流子的迁移率,进而减小了薄膜的电阻值,导致了薄膜的电阻效应。 展开更多
关键词 聚乙烯基咔唑(PVK) 8-羟基喹啉铝(Alq3) 迁移率 电阻效应 氧化铟锡(ito)
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基于三维培养的细胞加热培养控制系统
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作者 蒋作敏 邹金成 张爱丽 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期200-206,共7页
针对目前热物理治疗的体外实验手段无法模拟动物体内的复杂环境而影响实验准确性的问题,设计并制作了一种可以基于三维培养下的细胞进行热物理实验的加热实验平台.该平台可以同时针对贴壁细胞及三维细胞进行细胞加热实验,且在加热过程... 针对目前热物理治疗的体外实验手段无法模拟动物体内的复杂环境而影响实验准确性的问题,设计并制作了一种可以基于三维培养下的细胞进行热物理实验的加热实验平台.该平台可以同时针对贴壁细胞及三维细胞进行细胞加热实验,且在加热过程中能够实时对细胞的生长状态进行观察.实验结果表明,该加热培养系统可以保持温度均匀、控制精确,同时适用于三维水凝胶进行细胞加热实验,是一种有效的三维细胞加热培养手段. 展开更多
关键词 氧化铟锡导电玻璃 热物理治疗 海藻酸钠 三维培养
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基于ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片的快速制备 被引量:1
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作者 廖红华 廖宇 +1 位作者 易金桥 黄勇 《湖北民族学院学报(自然科学版)》 CAS 2009年第3期320-323,共4页
提出了一种基于ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片的快速制备新方法.该方法采用Protel软件绘制低电压电泳芯片沟道的形状,利用电路板加工技术加工沟道模具,并采用PDMS整体浇注方法制备芯片微沟道;采用光刻、湿法刻蚀等微加工技术方法对... 提出了一种基于ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片的快速制备新方法.该方法采用Protel软件绘制低电压电泳芯片沟道的形状,利用电路板加工技术加工沟道模具,并采用PDMS整体浇注方法制备芯片微沟道;采用光刻、湿法刻蚀等微加工技术方法对ITO导电玻璃进行加工,并制备出ITO阵列电极.最后经修饰、封装等工序得到基于ITO玻璃-PDMS复合式低电压电泳芯片.实验表明:采用该方法制备的ITO阵列电极线条清晰,沟道侧壁陡直、表面光滑.同时,采用该方法制备芯片周期短,不需要昂贵的制作设备. 展开更多
关键词 电路板 低电压电泳芯片 快速制备 ito玻璃-PDMS
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