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题名斜角入射沉积TiO_2薄膜的光学特性和表面粗糙度
被引量：11
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作者
潘永强
杭凌侠
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机构
西安工业大学光电工程学院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期180-184,共5页
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基金
陕西省教育厅专项科研计划项目(2010JK586)资助课题
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文摘
采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜,研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填充密度和表面粗糙度,并比较了不同膜层厚度下薄膜表面粗糙度与入射沉积角之间的关系。研究结果表明,随着入射沉积角的增加,TiO2薄膜的透射率增加,透射峰值向短波移动,薄膜的填充密度从入射沉积角0°时的0.801降低到入射沉积角为75°时的0.341;薄膜的表面粗糙度随着入射沉积角的增加而增加,当入射沉积角为75°时,薄膜的表面粗糙度略高于基底的表面粗糙度。在沉积入射角不变时,随着膜层厚度的增加,膜层的表面粗糙度降低。
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关键词
薄膜
二氧化钛薄膜
入射沉积角
光学特性
表面粗糙度
填充密度
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Keywords
thin films
titanium dioxide thin films
incident deposition angle
optical properties
surface roughness
packing density
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分类号
O484.41
[理学—固体物理]
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