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Ni-Cr桥膜换能元的制备 被引量：11
1
作者 解瑞珍 任小明 +3 位作者 王可暄 薛艳 彭志明 卢斌 《含能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期584-587,共4页
为了制作出阻值一致性好,发火电压低的金属桥膜换能元,对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索,并对制作的换能元参数进行了测试。结果显示随着溅射功率的减小,薄膜的沉积速率减小,成膜致密性提高;在一定范围内,... 为了制作出阻值一致性好,发火电压低的金属桥膜换能元,对Ni-Cr薄膜换能元制作过程中的薄膜溅射、刻蚀等工艺进行了探索,并对制作的换能元参数进行了测试。结果显示随着溅射功率的减小,薄膜的沉积速率减小,成膜致密性提高;在一定范围内,刻蚀液中高氯酸所占的比例越大,刻蚀用时越短。制作的Ni-Cr薄膜换能元电阻的一致性较好,在47μF电容情况下发火电压均值为6.67 V。 展开更多
关键词 物理化学 火工品 Ni-Cr薄膜 溅射 刻蚀 换能元 发火电压
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