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热膜式空气质量流量传感器的动态响应 被引量:12
1
作者 吴克刚 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期99-102,共4页
应用理论分析和试验的方法,研究了热膜式空气质量流量传感器的静态响应和动态响应特性。通过对传感器单元在非稳定气流情况下存在的热滞后现象的分析,推导出恒流和恒温测量法的时间常数表达式,并对影响时间常数的各种因素和测量补偿方... 应用理论分析和试验的方法,研究了热膜式空气质量流量传感器的静态响应和动态响应特性。通过对传感器单元在非稳定气流情况下存在的热滞后现象的分析,推导出恒流和恒温测量法的时间常数表达式,并对影响时间常数的各种因素和测量补偿方法进行了讨论。结果表明,恒温法的时间常数比恒流法小2g(Rr-1)倍;恒温法的动态响应取决于反馈效率,如果使反馈过程迅速有效,便可实现对热滞后的瞬时补偿;恒温法热膜式空气质量流量计不易污染,测量精度较高,动态响应好,使用方便。 展开更多
关键词 汽车工程 发动机 空气质量流量 热膜传感器 动态响应
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MEMS热膜式微型流量传感器的研制 被引量:9
2
作者 徐永青 吕树海 +1 位作者 徐爱东 徐淑静 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第4期228-231,共4页
针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得... 针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器。基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要测得两个温度传感器的温度差值,就能得到气体的流量。分析了该器件的原理并进行了ANSYS仿真,设计了器件的结构,进行MEMS工艺开发,制作出可实用化的产品。测试表明,该器件的测量量程达到0.5~200m3/h,精度1.5级,响应时间20ms,量程比1:400,显示该器件测量流量的功能达到了实用化水平。 展开更多
关键词 MEMS 流量传感器 热膜式 加热器 温度传感器
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基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制 被引量:8
3
作者 李艳杰 齐虹 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第5期82-84,共3页
基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,... 基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。 展开更多
关键词 芯片 热膜 流量传感器 微机电系统
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实用化壁面切应力测量技术的综述与展望 被引量:2
4
作者 高南 刘玄鹤 《空气动力学学报》 CSCD 北大核心 2023年第3期1-24,I0001,共25页
本文围绕“实用化”这一主题对低速条件下常用的壁面切应力测量方法进行综述。实用化壁面切应力测量技术指的是能够方便、可靠、经济地测量运载工具局部摩阻的方法。具体包括天平法、近壁速度法、普莱斯顿管法、图像法、热膜法等。在实... 本文围绕“实用化”这一主题对低速条件下常用的壁面切应力测量方法进行综述。实用化壁面切应力测量技术指的是能够方便、可靠、经济地测量运载工具局部摩阻的方法。具体包括天平法、近壁速度法、普莱斯顿管法、图像法、热膜法等。在实用化过程中,现有的测量方法展现出各自的优缺点,其中缺点包括:不便于安装、使用与维护;传感器对运载工具姿态、振动、加速度、温度变化等因素有过大的响应;传感器无法标定或标定结果不唯一;传感器结构强度弱、易损坏、易被污染或易氧化变性;传感器昂贵导致无法实现大规模部署,等等。这些缺点限制了实际应用。本文分析了多种方法的特点和局限性,介绍了应用案例,并评估了实用化潜力。本文重点介绍了新型双层热膜摩阻测量技术。该技术利用一种具有上、下两层金属膜的双层“三明治”热膜传感器测量壁面切应力,两层热膜在相同的温度下协同工作,这样下层热膜“封堵”了上层热膜产生的热量,使其仅传给流体,进而解决了困扰该技术发展的热损失问题。该方法可根据上层热膜的发热量直接计算壁面切应力的大小,这一“免标定”特性提高了测量的便利性及可靠性,令其具有良好的实用化前景。 展开更多
关键词 摩阻测量 MEMS传感器 微型天平 热膜传感器 免标定
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车用热膜式空气流量计分析与设计 被引量:5
5
作者 周景宇 文桂林 张邦基 《机械设计与制造》 北大核心 2012年第7期12-14,共3页
针对目前国内车用热膜式空气流量计设计较少的现状,以某款模拟电路样机为研究对象,在分析样机加热控制电路、检测电路及传感探头结构的基础上,对样机进行了实验。结果表明,样机能检测不同流量的气体,并具有一定的温度补偿功能。样机正... 针对目前国内车用热膜式空气流量计设计较少的现状,以某款模拟电路样机为研究对象,在分析样机加热控制电路、检测电路及传感探头结构的基础上,对样机进行了实验。结果表明,样机能检测不同流量的气体,并具有一定的温度补偿功能。样机正确反映了热膜式空气流量计的检测原理,直观显示了探头部分结构。同时,通过实验分析了模拟控制方法、检测电阻线性度等因素对样机热区性能的影响。最后,针对模拟控制电路存在的缺陷,基于汽车芯片提出一种数字化解决方案。研究为热膜式空气流量计的设计提供了参考,具有一定的工程意义和实用价值。 展开更多
关键词 热膜式空气流量计 控制电路 传感探头 汽车芯片
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溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列 被引量:4
6
作者 马炳和 傅博 +2 位作者 李建强 邓进军 董拴成 《航空学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期2147-2152,共6页
为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在... 为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量,提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构,并介绍了其制作工艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底,在衬底上溅射沉积金属镍膜,并用剥离工艺成型热敏电阻元件阵列及其引线区底膜。然后在引线区底膜上电镀沉积铜膜,再剥离成型铜引线。通过电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜膜,使得引线电阻远小于热敏元件阻值,有利于减小引线的热敏干扰。经热敏性能测试,其电阻温度系数达到3.6×10-3/℃以上,线性度优于0.7%,并且热敏响应速度极快;结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效性,并且获得了较好的测量重复性。该传感器阵列结构简单,工艺成本和复杂度较低,提高了用于非平面应用时柔性热膜元件与引线间的连接可靠性,为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供了新手段。 展开更多
关键词 溅射 电镀 微成型 热膜传感器 柔性 剪应力
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热膜式无线风速廓线仪 被引量:4
7
作者 陈智 郭旺 +2 位作者 宣传忠 张永 武佩 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期99-102,110,共5页
针对目前常用的压差式风速廓线仪测量误差大、移动不便等问题,设计了一种热膜式无线风速廓线仪,并在风蚀风洞中进行了标定。该测试系统可实现多点数据采集和无线传输,具有结构简单、性能可靠、便于携带安装、抗污染和测速范围宽等优点... 针对目前常用的压差式风速廓线仪测量误差大、移动不便等问题,设计了一种热膜式无线风速廓线仪,并在风蚀风洞中进行了标定。该测试系统可实现多点数据采集和无线传输,具有结构简单、性能可靠、便于携带安装、抗污染和测速范围宽等优点。结果表明,经过标定后的热膜式无线风速廓线仪标定误差在0.379 8 m/s以内,所测试的风速廓线呈指数分布,符合近地表风速垂直分布规律。 展开更多
关键词 风蚀 风洞 风速廓线仪 热膜传感器 标定
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Turbulent boundary layer control with a spanwise array of DBD plasma actuators 被引量:2
8
作者 Yueqiang LI Chao GAO +4 位作者 Bin WU Yushuai WANG Haibo ZHENG Ming XUE Yuling WANG 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期30-37,共8页
The turbulent boundary layer control on NACA 0012 airfoil with Mach number ranging from 0.3 to 0.5 by a spanwise array of dielectric barrier discharge(DBD)plasma actuators by hot-film sensor technology is investigated... The turbulent boundary layer control on NACA 0012 airfoil with Mach number ranging from 0.3 to 0.5 by a spanwise array of dielectric barrier discharge(DBD)plasma actuators by hot-film sensor technology is investigated.Due to temperature change mainly caused through heat produced along with plasma will lead to measurement error of shear stress measured by hot-film sensor,the correction method that takes account of the change measured by another sensor is used and works well.In order to achieve the value of shear stress change,we combine computational fluid dynamics computation with experiment to calibrate the hot-film sensor.To test the stability of the hot-film sensor,seven repeated measurements of shear stress at Ma=0.3 are conducted and show that confidence interval of hot-film sensor measurement is from−0.18 to 0.18 Pa and the root mean square is 0.11 Pa giving a relative error 0.5%over all Mach numbers in this experiment.The research on the turbulent boundary layer control with DBD plasma actuators demonstrates that the control makes shear stress increase by about 6%over the three Mach numbers,which is thought to be reliable through comparing it with the relative error 0.5%,and the value is hardly affected by burst frequency and excitation voltage. 展开更多
关键词 turbulent boundary layer control DBD plasma actuators hot-film sensor
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基于STM8的热膜式流量计信号处理和自动标定系统
9
作者 刘伟 王德福 《计算机与网络》 2014年第6期66-69,共4页
热膜式空气流量计具有尺寸小、灵敏性好、可靠性高、响应时间短等优点。它采用热膜传感单元与外围电路协同工作的模式。采用stm8l151单片机为核心的数字化电路能够很好的控制热膜上加热器的工作温度,将热膜产生的信号进行滤波和放大。... 热膜式空气流量计具有尺寸小、灵敏性好、可靠性高、响应时间短等优点。它采用热膜传感单元与外围电路协同工作的模式。采用stm8l151单片机为核心的数字化电路能够很好的控制热膜上加热器的工作温度,将热膜产生的信号进行滤波和放大。配合采用LabVIEW编制的上位机控制界面,实现流量计的快速自动标定。 展开更多
关键词 热膜 流量计 STM8 人机界面 STM8
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基于静动态分离的MAF传感器动态非线性建模 被引量:4
10
作者 张进 徐科军 +3 位作者 王肖芬 滕勤 谈建 张媛媛 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期280-286,共7页
热膜式空气质量流量传感器广泛用于汽车发动机,但是,在有些工况下,传感器的动态响应速度不能满足控制的要求。在研究中发现,传感器的动态特性有明显的非线性。本文基于传感器的静态和动态实验,提出了基于静动态分离的Hammer-stein两步... 热膜式空气质量流量传感器广泛用于汽车发动机,但是,在有些工况下,传感器的动态响应速度不能满足控制的要求。在研究中发现,传感器的动态特性有明显的非线性。本文基于传感器的静态和动态实验,提出了基于静动态分离的Hammer-stein两步法的动态非线性建模方法,建立了大小流量和正负阶跃统一的数学模型,更加准确地描述传感器的动态非线性特性。 展开更多
关键词 热膜式空气质量流量传感器 HAMMERSTEIN模型 动态非线性 辨识
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微型热膜传感器的水下壁面剪应力标定研究 被引量:3
11
作者 李晓莹 李雁冰 +1 位作者 马炳和 王雷涛 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第10期11-13,16,共4页
针对水下壁面剪应力的测量需求,建立了恒流模式下微型热膜传感器的剪应力测量与标定的数学模型,设计采用了扁薄矩形水槽剪应力发生装置,并在0 ~5 Pa范围内对传感器进行了测量标定实验.实验结果验证了测量与标定模型的正确性,标定实验... 针对水下壁面剪应力的测量需求,建立了恒流模式下微型热膜传感器的剪应力测量与标定的数学模型,设计采用了扁薄矩形水槽剪应力发生装置,并在0 ~5 Pa范围内对传感器进行了测量标定实验.实验结果验证了测量与标定模型的正确性,标定实验的确定系数均超过了0.995,均方差保持在10-4量级,呈现良好的重复性与一致性,为水下壁面剪应力的测量应用奠定了重要基础. 展开更多
关键词 微型热膜传感器 水下壁面剪应力 标定 恒流模式
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基于Hammerstein模型的MAF传感器的动态非线性建模 被引量:2
12
作者 张媛媛 徐科军 张进 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2008年第4期68-73,共6页
改进了热膜式空气质量流量(MAF)传感器的静动态标定实验。基于Hammerstein模型描述MAF传感器。采用多项式回归分析建立其静态非线性环节的模型。针对动态线性环节,分别采用基于ARMAX、ARX、OE的模型进行建模。通过误差平方和的比较,确... 改进了热膜式空气质量流量(MAF)传感器的静动态标定实验。基于Hammerstein模型描述MAF传感器。采用多项式回归分析建立其静态非线性环节的模型。针对动态线性环节,分别采用基于ARMAX、ARX、OE的模型进行建模。通过误差平方和的比较,确定利用基于输出误差(OE)模型的预报误差法所建立的模型的精度最高。再分别根据不同幅值输入时的实验数据,建立相应的多个模型,比较误差平方和,最终确定误差平方和最小的模型为传感器的模型。该模型精度高且适应性好,实现了MAF传感器在不同工况下模型的统一。 展开更多
关键词 HAMMERSTEIN模型 热膜式空气质量流量传感器 预报误差法 最小二乘法 多项式回归分析
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Experimental Research on Boundary Shear Stress in Typical Meandering Channel 被引量:1
13
作者 CHEN Kai-hua XIA Yun-feng +2 位作者 ZHANG Shi-zhao WEN Yun-cheng XU Hua 《China Ocean Engineering》 SCIE EI CSCD 2018年第3期365-373,共9页
A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the... A novel instrument named Micro-Electro-Mechanical System(MEMS) flexible hot-film shear stress sensor was used to study the boundary shear stress distribution in the generalized natural meandering open channel, and the mean sidewall shear stress distribution along the meandering channel, and the lateral boundary shear stress distribution in the typical cross-section of the meandering channel was analysed. Based on the measurement of the boundary shear stress, a semi-empirical semi-theoretical computing approach of the boundary shear stress was derived including the effects of the secondary flow, sidewall roughness factor, eddy viscosity and the additional Reynolds stress, and more importantly, for the first time, it combined the effects of the cross-section central angle and the Reynolds number into the expressions. Afterwards, a comparison between the previous research and this study was developed. Following the result, we found that the semi-empirical semi-theoretical boundary shear stress distribution algorithm can predict the boundary shear stress distribution precisely. Finally, a single factor analysis was conducted on the relationship between the average sidewall shear stress on the convex and concave bank and the flow rate, water depth, slope ratio,or the cross-section central angle of the open channel bend. The functional relationship with each of the above factors was established, and then the distance from the location of the extreme sidewall shear stress to the bottom of the open channel was deduced based on the statistical theory. 展开更多
关键词 boundary shear stress flume physical model river bend MEMS flexible hot-film shear stress sensor
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热膜式气体流量传感器异物污染流场仿真分析 被引量:2
14
作者 袁昌荣 孙中圣 李小宁 《机械制造与自动化》 2017年第4期89-91,共3页
为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系,通过试验分析了芯片表面污染物分布情况,建立了异物堆积模拟示意图。采用fluent流体分析软件,研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化。通过分析可知,当有异物堆... 为研究MEMS热膜式流量传感器异物污染后的测量精度变化与污染程度的关系,通过试验分析了芯片表面污染物分布情况,建立了异物堆积模拟示意图。采用fluent流体分析软件,研究了异物堆积后MEMS芯片表面流速的变化。通过分析可知,当有异物堆积时,芯片表面附近区域流速会发生变化,比无异物堆积时变小,且速度差随入口速度的增加而增加。 展开更多
关键词 气动 MEMS热膜式流量传感器 异物堆积 流速变化
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温度场对热膜式气体流量传感器颗粒物沉积影响 被引量:1
15
作者 孙中圣 孙建强 李小宁 《机电一体化》 2017年第5期22-29,共8页
根据热膜式气体质量-流量传感器结构特点,基于流体动力学、颗粒动力学以及传热学基本原理,建立热膜式气体质量-流量传感器流场-温度场耦合有限元模型,通过给定求解条件对热膜式流量传感器流场和温度场进行数值模拟。在求解得出流场和温... 根据热膜式气体质量-流量传感器结构特点,基于流体动力学、颗粒动力学以及传热学基本原理,建立热膜式气体质量-流量传感器流场-温度场耦合有限元模型,通过给定求解条件对热膜式流量传感器流场和温度场进行数值模拟。在求解得出流场和温度场基础上加入颗粒物离散相,用拉格朗日粒子追踪模型(DPM)追踪固相颗粒物的运动轨迹和最终状态,从而计算出粒子沉积率。在热膜芯片发热电阻加热和不加热两种情况下,研究了热泳力和布朗力对热膜芯片上颗粒物沉积的影响。得出结论:温度场对进口速度小于3 m/s、粒径小于3μm粒子在热膜芯片上的沉积有削弱作用,而对其他情况下的颗粒物粒子沉积作用影响不显著;进口速度和粒径是显著影响热膜芯片上粒子沉积的因素。 展开更多
关键词 热膜式流量传感器 温度场 热-流耦合 颗粒沉积
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油污对热膜式气体流量传感器测量精度影响研究
16
作者 王杨 孙中圣 +1 位作者 袁昌荣 李小宁 《机械设计与制造工程》 2021年第10期90-94,共5页
为探究油污对热膜式气体流量传感器测量精度的影响,建立了传感器内部流道的三维几何模型以及基于厚度和位置分布的油污模型,仿真分析了不同流量条件下油污厚度和位置对传感器测量值的影响。进行了分阶段油污自然沉积试验,分析了各油污... 为探究油污对热膜式气体流量传感器测量精度的影响,建立了传感器内部流道的三维几何模型以及基于厚度和位置分布的油污模型,仿真分析了不同流量条件下油污厚度和位置对传感器测量值的影响。进行了分阶段油污自然沉积试验,分析了各油污污染阶段传感器精度的变化。仿真和实验结果表明:油污沉积在传感器芯片中间电阻上时,对传感器测量精度的影响显著,随着油污厚度的增加,传感器的测量误差逐渐增大。 展开更多
关键词 热膜式气体流量传感器 油污沉积 测量精度
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基于参数变化粒子群算法的MAF传感器建模
17
作者 张媛媛 徐科军 张进 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期890-894,共5页
在用Hammerstein模型描述热膜式空气质量流量(MAF)传感器时,应用多项式回归分析建立其静态非线性环节的模型,应用参数线性变化的粒子群优化(PSO)算法建立其动态线性环节的模型。文章给出PSO算法的适应度函数及算法流程,并说明了参数设... 在用Hammerstein模型描述热膜式空气质量流量(MAF)传感器时,应用多项式回归分析建立其静态非线性环节的模型,应用参数线性变化的粒子群优化(PSO)算法建立其动态线性环节的模型。文章给出PSO算法的适应度函数及算法流程,并说明了参数设置的方法。研究表明,与基本粒子群算法相比,参数线性变化粒子群算法的建模精度及收敛速度有很大提高。应用参数变化粒子群算法进行传感器动态建模是非常有效的。 展开更多
关键词 热膜式空气质量流量传感器 HAMMERSTEIN模型 粒子群算法
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免标定壁面剪应力测量技术研究
18
作者 刘丹 《科技创新与应用》 2023年第34期188-192,共5页
剪应力传感器的标定是一个极其复杂且易受环境影响的过程。因此,免标定壁面剪应力测量技术是一个很有前景的研究方向。该文介绍这种无需标定即可测量局部壁面剪应力大小和方向的技术的研究状况。该技术使用2个尺寸相同的双层热膜传感器... 剪应力传感器的标定是一个极其复杂且易受环境影响的过程。因此,免标定壁面剪应力测量技术是一个很有前景的研究方向。该文介绍这种无需标定即可测量局部壁面剪应力大小和方向的技术的研究状况。该技术使用2个尺寸相同的双层热膜传感器,彼此靠近并垂直放置,形成V形。实验证明,该方法能够以合理的精度测量壁面剪应力矢量,且无需标定。 展开更多
关键词 剪应力 标定 热膜传感器 方向灵敏度 温度差
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污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响 被引量:3
19
作者 袁昌荣 孙中圣 李小宁 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期367-376,共10页
为了预测污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响,研究传感器精度下降机理。首先,分析传感器测量原理,建立传感器电压输出理论数学模型,并基于绕流理论推导气体流经污染物后流速公式;然后,搭建污染物颗粒累积试验平台,进行长时间颗粒... 为了预测污染物对热膜式气体流量传感器精度的影响,研究传感器精度下降机理。首先,分析传感器测量原理,建立传感器电压输出理论数学模型,并基于绕流理论推导气体流经污染物后流速公式;然后,搭建污染物颗粒累积试验平台,进行长时间颗粒累积试验,验证理论模型合理性。研究结果表明:传感器的输出电压与所测气体流速、基底隔膜厚度以及导热系数有关;气体流速下降幅度随污染物高度增加而增大,随污染物与加热电阻中心距离增加而减小;污染物颗粒主要围绕热膜电阻周边呈“U”型分布,热膜电阻上方基本无累积,说明传感器精度下降主要是由热膜电阻前端累积的污染物改变气流流速所致;传感器电压输出理论计算值和试验测量值相吻合,证实了理论模型的合理性。 展开更多
关键词 热膜式 气体流量传感器 芯片污染 累积厚度 精度
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全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化 被引量:9
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作者 马炳和 赵建国 +1 位作者 邓进军 苑伟政 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1971-1977,共7页
为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从... 为了测量飞机、流体管腔等气动面上的温度、剪应力等流场参数分布,以镍作为热敏材料,利用MEMS微加工技术在聚酰亚胺衬底上制作出了一种全柔性的热膜微传感器阵列。该传感器阵列的整体厚度薄(100μm以内)、软性可弯,可以紧贴曲型壁面从边界层底部实现非破坏性的动态流场参数测量。设计了器件阵列结构,研发了基于溅射成型与退火热处理的微加工工艺。结合工艺与测试实验,系统地分析了氩气压强、衬底温度、溅射功率、退火温度等工艺参数对电阻温度系数的影响规律。为了获得更高的器件灵敏度,通过优化工艺参数提高了柔性热膜微传感器的电阻温度系数,使其达到了4.64×10-3/℃,并且保持了好的线性度。 展开更多
关键词 柔性热膜传感器阵列 电阻温度系数 微加工
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